第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム報告

電気学会センサ・マイクロマシン部門主催、第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウムが2011年9月26日（月）、27日（火）の2日間の日程で東京　タワーホール船堀にて開催されました。会場のタワーホール船堀は都営新宿線船堀駅前にある江戸川区のシンボル施設です。

本シンポジウムは日本機械学会マイクロ・ナノ工学専門会議主催第3回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」，応用物理学会集積化MEMS技術研究会主催第3回「集積化MEMSシンポジウム」と同時開催されました．電気系、機械系と物理系の研究者が集い討議を行う場として，一昨年より3つのシンポジウムが相互に参加可能で、同会場にて同時開催されています．

講演は招待講演4件， 口頭発表81 件，ポスター発表79件であり，講演は集積化MEMSの応用と実用化、マイクロシステム、バイオメディカルデバイス、ナノバイオ、セルオンチップ、材料、設計・評価、プロセスと応用、光MEMS、センサシステムと高機能実装、フィジカルセンシングシステム、フィジカルセンサ、最先端MEMS実装技術、ケミカルセンサ、新プロセス、バイオ計測について、同時開催のシンポジウムと合わせて5つのパラレル･セッション形式で行われました．

BEANSプロジェクトからも以下の口頭発表 3件，ポスター発表 9件の合計12件もの大量発表がありました．またポスター展示会場には今回も恒例の展示ブースが設営され、BEANSプロジェクトも参加して来場者にアピールしました。

口頭発表（3件）

A2-3 等価回路設計手法によるVB-FET の特性評価　　　植木真治, 西森勇貴, 今本浩史, 久保田智広, 杉山正和, 寒川誠二, 橋口原 /BEANS 研究所


B2-3 材料結合性ペプチド分子をインターフェースとしたナノカーボン表面への機能性ナノ粒子の固定化　　　嶋田友一郎1, 杉山正和1, 鈴木瑞明2, 梅津光央3, /1 東京大学,BEANSプロジェクト, 2 BEANSプロジェクト, 3 東北大学,BEANSプロジェクト　

C3-4 フェムト秒レーザアシストエッチングによるナノ流路形成技術とバクテリウム培養デバイスへの応用　　脇岡寛之1, 額賀理2, 田端和仁3, 久保田智広4, 寒川誠二4, 山本敏2, 杉山正和3, /1 BEANS 研究所, 2 フジクラ, 3 東京大学, 4 東北大学

ポスター発表(9件)

P1-16 大気圧プラズマ化学輸送法を用いたシリコン膜の特性評価　　　内藤皓貴1, 横山吉典1, 紺野伸顕1, 徳永隆志1, 伊藤寿浩2　/1 BEANS 研究所, 2 BEANS 研究所,産業技術総合研究所


P1-17 ダイコーティング法による繊維状基材へのナノ薄膜形成と太陽電池試作　　　今井孝彦1, 柴山学久2, 伊藤寿浩1,3 /1 BEANS 研究所, 2 古河電気工業, 3 産業技術総合研究所

P1-18 Three-Dimensional Photolithography Technology of Fiber Substrate　　　Zhang Yi1,2, Uchiyama Shogo1,3, Hayase Masanori1,3,Jian Lu1,2, Ohtomo Akihiro1,4, Takagi Hideki1,2, Itoh Toshihiro1,2 /1 NEDO BEANS Project, 2 National Institute of Advanced Industrail Science and Technology, 3 Tokyo University of Science, 4 Toshiba Machine

P1-19 マイクロカンチレバーアレイを用いたフレキシブルデバイス用接点構造の開発　　山下崇博1, Khumpuang Sommawan2, 三宅晃司2, 伊藤寿浩2 /1 ＢＥＡＮＳプロジェクト, 2 産業技術総合研究所

P1-20 リールツーリール熱ローラーインプリントによる製織ガイド連続成形　　　大友明宏1,2, 銘苅春隆1,3, 高木秀樹1,3, 小久保光典1,2,後藤博史1,2/1 ＢＥＡＮＳプロジェクト, 2 東芝機械, 3 産業技術総合研究所


P1-21 第一原理電子状態計算による中性粒子ビーム生成メカニズムの解析　　　渡辺尚貴1, 大塚晋吾1, 岩崎拓也1, 小野耕平1, 入江康郎2,植木真治2, 額賀理3, 杉山正和4, 久保田智広5, 寒川誠二5 /1 みずほ情報総研, 2 BEANS プロジェクト, 3 フジクラ, 4 東京大学, 5 東北大学

P1-22 中性粒子ビーム生成におけるアパーチャ構造とエッチング特性解析　　　大塚晋吾1, 渡辺尚貴1, 岩崎拓也1, 小野耕平1, 入江康郎2, 植木真治2, 額賀理3, 杉山正和4, 久保田智広5, 寒川誠二5 /1 みずほ情報総研, 2 BEANSプロジェクト, 3 フジクラ,4 東京大学, 5 東北大学

P1-23 大気圧プラズマシミュレーションによる安定放電条件の検討　　　新田仁1, 浅海和雄1, 入江康郎2, 横山吉典2, 徳永隆志2 /1 みずほ情報総研, 2 BEANS研究所

P1-24 マイクロ液滴形成シミュレーション　　　谷村直樹1, 山崎昇1, 竹内昌治2 /1 みずほ情報総研, 2 BEANS研究所

　　　　

なお今回、BEANSプロジェクトからは残念ながら受賞を逃しましたが、各賞受賞者は以下のとおりです．

五十嵐賞■細胞ファイバーによるセンチメートルスケール三次元組織の構築/東京大学　尾上弘晃

奨励賞■Bidirectional Microtubule Transport Implicated by Selective Coating of Kinesin and Dynein in a Closed Chamber/京都大学　Nagendra Kumar Kamisetty■Ag合金ミラーを用いた可視光広帯域MEMSファブリ・ペローチューナブルフィルタ/セイコーエプソン 廣久保望■好中球活性評価に基づく潜在性乳房炎診断デバイス/筑波大学　木村翔平

最優秀技術論文賞■遠赤外線検出器応用をめざしたＧｅウェハの常温直接接合/東京大学　日暮栄治、倉山竜二、王英輝、須賀唯知、澤山慶博、土井靖生、情報通信研究機構　寳迫巌

優秀技術論文賞■電磁駆動型２軸可動MEMS グレーティングと近赤外低コヒーレンス干渉法を用いた３次元形状計測への応用/山形県工業技術センター　渡部善幸、高橋義行、阿部泰、岩松新之輔、矢作徹、小林誠也、今野俊介、佐藤敏幸■涙液成分の動的変化に対するコンタクトレンズ型バイオセンサの評価/東京医科歯科大学　工藤寛之、初明星、宮島久美子、荒川貴博、佐野研二、望月學、三林浩二、日本大学平沼義貴、平松秀

最優秀ポスター賞■リング型振動子とPZT 薄膜を用いた3 軸ジャイロの試作評価/住友精密工業(株)　荒木隆太、内納亮平、森口孝文

最優秀技術展示賞■立山科学グループ 立山マシン株式会社

なお来年度は10月22日～24日に北九州市において開催されます．