BEANS欧州調査－1：Leti - MMC Joint Workshop

EANSプロジェクトでは、関連技術の最新動向を調査し、研究開発推進へ反映することを目的に調査活動を推進していますが、今回6月8日～12日の5日間で欧州の主要研究機関4カ所、VTT：フィンランド、Fraunhofer ISC：ドイツ、IMEC：ベルギー、Leti：フランスを訪問し、調査してきました。
その第一弾としてLeti - MMC Joint Workshopについて報告します。

マイクロマシンセンターとフランスの研究機関CEA/Letiは昨秋、Micro-Nano領域の技術開発において連携して推進する旨の協定を結びました。今回その第1回目の活動として6月11～12日フランス・グルノーブルのMinatecにおいて、Leti - MMC Joint Workshopが開催され参加してきましたので報告します。

・参加者30名
（日本：9名、フィンランドVTT：2名、ドイツFraunhofer：1名、イタリアSTマイ
クロ：2名、スイス：1名、残りはLeti関係者）
・日本からの参加者（敬称略）
　藤田博之（東京大学生産技術研究所）
　安達千波矢（九州大学未来化学創造センター）
　岡野克哉（NEDO技術開発機構）
　浅野由香（経済産業省）
　八尋正幸（九州先端科学技術研究所）
　中田安一（リンテック（株））
　田中雅彦（住友精密工業（株）、STS（英国出向））
　片白雅浩（（財）マイクロマシンセンター）
　安達淳治（BEANS研究所）
・プログラム
June 11, 2009
　・Components / specific applications.
　　Philippe Robert : Overview of MEMS　activities/products at Léti
　　中田安一: Micro-Nano Solutions at Lintec
　　片白雅浩: Optical Applications at OLYMPUS
　・Integration, Packaging & Reliability.
　　Gilles Poupon : The strategy of MEMS packaging and 3D integration at
Léti
　　Didier Bloch: MEMS Reliability studies
　　安達淳治: Unique Packaging Solutions at Panasonic
　　田中雅彦: Development Activities for MEMS & IC Packaging SPP and STS

　・Standardization in the MEMS processes.
　　François Perruchot : Towards  generic process flows for MEMS
　　安達淳治: Current Status and Strategy of Standardization in MEMS
　・Advanced components and NEMS.
　　Philippe Andreucci : Development of NEMS  and the nanoVLSI Alliance
　　安達淳治: Novel Fabrication Technology for 3D Nano-structures
　　安達千波矢: Advancement in OLED application: Display and Lighting
　　八尋正幸: Nanostructured Organic Semiconductors

June, 12, 2009
　・Federating projects / collaborations.
　　Leti CEO：Outlines of Leti in MicroNano Technology
　　浅野由香:METI's　INNOVATION POLICY
　　藤田博之: BEANS Project: Hetero-functional Integrated Device
Technologies
　　André Rouzaud: Projects of More than Moore Devices in FP7
　・Dicussion　Roundtable
　・ST　Microelectronics  Crolles　のCMOSライン見学
　・Letiの200mmMEMSラインの見学（4,000㎡）

・日本からは企業の技術とアプリケーション紹介、標準化への取り組み、BEANSプロジェクトの紹介と研究内容について10のプレゼンテーションを行いました。

・Letiは高いSiプロセス技術を有しており、その強みを生かし、More Mooreを推進するとともに、More than Mooreでは、他の研究機関とアライアンスを組み進めています。
・Heterogeneous  Technology Alliance
　Leti、Fraunhofer研究所、VTT、CSEMによる異分野融合技術開発
・NanoVLSI　Alliance
　Leti、Caltech
　バイオ、センシング分野のNEMS開発

この活動の中で、日本とのアライアンス構築を標榜しており、その対象がMMC、BEANS研究所です。
今回は最後のディスカッションの結果、以下の３項目について協力関係を構築するための活動を開始することとしました。
１．Surface Functionalization
　　（Bio, Chemical Sensingに向けた表面改質、修飾）
２．有機デバイス用バリア層、封止技術
　　（水分、酸素のバリアー技術とその性能評価）
　　有機デバイスとMEMSの融合デバイスの可能性を探る
　　（例えばフォトクロミック材料の展開など）
　　バイオデバイスへの有機半導体の適用
３．MEMS分野の国際標準化
　　（材料評価、デバイス、プロセスの標準化）

　　　　　　　　写真　参加者とMinatec

（安達淳治）