JCK MEMS/NEMS 2023 参加報告

9月17日（日）から9月20日（水）に韓国済州島Ocean Suites Jeju HotelのCanola Hall & Cherry Hall で開催されましたJCK MEMS/NEMS 2023に防衛装備庁安全保障技術研究推進制度の成果報告のため参加しましたので、報告致します。JCK MEMS/NEMSは日本―中国－韓国のMEMS/NEMS（Micro Electro Mechanical Systems / Nano Electro Mechanical Systems）に関するジョイントの会議で、今回が第14回目になります。 日本、韓国、中国の順に持ち回りで開催しており、新型コロナのため、2019年の旭川での開催以来4年ぶりに日本、中国、韓国から研究者が集まっての本格的な対面での会議になりました。

ジェネラルチェアはKIMM(Korea Institute of Machinery & Materials)のDr. Jeongdai Joで、参加者は約60名でした。以下に示す日本、中国、韓国から各1件のプレナリートークと17件の招待講演（日本:3件、中国:4件、韓国:10件）、8件の口頭発表（日本:5件、中国:0件、韓国:3件）、19件のポスター発表（日本:5件、中国:5件、韓国:9件）の計47件の発表があり、MEMS/NEMS分野の最新の研究発表に関して活発な議論がなされました。日本のプレナリートークは富山県立大学の下山学長による「MEMSピエゾ抵抗力センサの応用」でした。

【プレナリートーク】
① Application of MEMS piezo-resistive force sensors (President. Isao Shimoyama, Toyama Prefectural University, JAPAN)
② Empowering MEMS: A journey towards self-powered MEMS technologies (Prof. Jeju National University, KOREA)
③ MEMS techniques towards self-powered sensing and human-machine interaction (Prof. Huicong Liu, Soochow University, CHINA)

国別の発表では韓国22件、日本13件、中国9件で、地元の韓国からの参加者が多いのは当然のことながら、中国からの参加者が少し少なく、何件かはビデオ発表になっていました。詳細のプログラムは以下のURLに記載されていますが、各種センサの応用、パッケージング、加工技術に関する幅広い技術の発表が行われました。韓国、中国のプレナリートークを含め、エネルギーハーベスター関連の発表が少し多かった気がします。

https://www.jckmemsnems2023.com/program

富山県立大学の下山学長のプレナリートークの様子、会場及びポスター発表の様子、集合写真を写真1～写真4にそれぞれ示します。

 

 写真1　下山学長のプレナリートークの様子

 

　　　　　　　写真2　会場の様子

 

　　　　　写真3　ポスター発表の様子

　　　　　　　　写真4　集合写真

今回私は、防衛装備庁が実施する安全保障技術研究推進制度JPJ004596 の委託事業「量子干渉効果による小型時計用発振器の高安定化の基礎研究（HS-ULPAC : High Stability Ultra Low Power Atomic Clock ）」におけるMEMS技術を活用した耐振動性を有する新しい小型原子時計量子部の試作成果（Development of miniaturized vibration-resistant physics package for chip-scale atomic clock）について口頭発表し、HS-ULPACの技術力の高さをアピールして、研究成果の広報ができたと考えます。

また、テクニカルツアーして、KIER(Korea Institute of Energy Research)の地域組織あるJGRC(Jeju Global Research Center)を訪問ました。済州島には韓国初の陸上及び洋上風力発電機が建設されており、JGRCは陸上・海上の新エネルギーと再生可能エネルギー源を組み合わせたコア技術の開発、統合実証プラットフォームの構築、技術開発のためのグローバル人材の試験・交流・育成の3つの目標を掲げて設立されました。JGRCの概要の説明を受けるとともに、大型風洞や加速腐食試験機等を見学しました。

次回のJCK MEMS/NEMS 2024は2024年9月中旬に中国の成都市で開催されることがアナウンスされました。

　　　　　　　　　　　　　（MEMSシステム開発センター長　武田　宗久）

新年のご挨拶（MMC／NMEMS 2022年10大ニュース）

　新年あけましておめでとうございます。
　本年もMEMS・スマートセンシング技術の開発や普及に真摯に取り組み、国の目指す Society5.0 の実現に向けて微力ながらも貢献してまいりますので、引き続きご指導、ご鞭撻の程、よろしくお願い申し上げます。

　昨年は1月にマイクロマシンセンターの創立30周年を迎え、MEMSの過去30年を振り返るとともに、今後20年の展望をいたしました。それに従い、DX、GXの流れも踏まえつつ、新たなプロジェクトの模索などを行ってきましたが、コロナ禍もなかなか終息を見ず、ロシアによるウクライナ侵攻や急速な為替変動など、我々を取り巻く環境は引き続き厳しいものがあり、その道筋は容易なものではありませんでした。
　それでも、JEITAが12月に発表した「電子情報産業の世界生産見通し」によれば、2023年の世界生産は3.5兆ドルを超え、過去最高を更新する見通しとなっています。この明るい兆しのもと、当センターは今年もDX、GXの推進に不可欠な各種MEMSセンサの開発の一環として、非侵襲で血中成分を計測するBaMBIプロジェクトや、小型原子時計の基礎研究であるHS-ULPACプロジェクトなどを推進するとともに、「環境調和型MEMS（EfriM）」のインフラ・防災分野等への適用や、ウェルビーイング社会の実現に資する「感情・共感センシングシステム」などの新プロジェクト化を目指してまいります。
　一方、昨年秋から当センターはこれまでの経済産業省産業機械課様に代わって情報産業課様の所管法人となりましたので、半導体の一部としてのMEMS（半導体全体の3～4％と規模は小さいものの）という新たな認識にも立って、その振興を図ってまいりたいと思います。当センターの有するMEMSミニファンドリーとしてのMNOIC（マイクロナノ・オープンイノベーションセンター）においても、MEMSの研究支援や工程受託などを継続して行いつつも、我が国半導体業界再興の末端を担うべく、最先端の設計・製造技術を磨いていく所存です。

　さて、当センターでは通算33回目にあたるマイクロナノ分野の展示会である「MEMSセンシング＆ネットワークシステム展2023」を2月1日から3日にかけて東京ビッグサイトで開催いたします。今回もセンターの活動紹介、MNOICの紹介、研究開発報告とともに、各種セミナーを開催し、興味深い様々な技術報告を行います。セミナーの冒頭には新たに所管いただく経済産業省情報産業課長様に半導体戦略関連のご講演をお願いしております。是非、多くの皆様にご来場いただき、今後のMEMSの発展のために当センターに対するご指導・ご支援を賜れれば幸いです。

　皆様方には以下のマイクロマシンセンターの2022年の10大ニュースをご覧いただき、このような私どもの活動状況をご賢察いただければ幸いです。

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マイクロマシンセンター／NMEMS技術研究機構
2022年10大ニュース
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１．2022年1月にMMC創立30周年を迎え、記念誌を発行
（「MEMSの過去30年と今後20年の技術展望」を収載）
　2022年1月23日に当センターは創立30周年を迎えました。毎年MEMS産業を取り巻く各種環境などを取り上げて、産業動向調査報告を行っていますが、昨年は当センター30周年ということもあり、これから益々のMEMS技術・産業の発展に資するため、過去30年を振り返り、この先20年を展望するという形の調査報告書を作成し「30周年記念誌」として3月に刊行し、会員法人の皆様と関係各所に配布いたしました。

2．MEMSセンシング＆ネットワークシステム展2022
の中で「MMC創立30周年記念講演会」を開催
（パネルディスカッションに神永氏、江刺氏、下山氏、金丸氏がご登壇）
　2022年1月28日にMEMSセンシング＆ネットワークシステム展2022の中でMEMSの過去30年の歴史と今後20年の技術展望をテーマとした創立30周年の記念講演会を開催しました。午前中の第一部では主に学生や若手技術者向けに「TIA-MEMSウィンターセミナー　MEMS講習会」を開催するとともに、午後の第二部では、MMC30周年特別企画として、30年の歴史をMEMSなどの微細加工、製造技術の進歩とともに振り返り、未来へ続いていくために必要なことを、産業界、大学、国立研究所を代表する方々による基調講演とパネルディスカッションで展望しました。

3．MNOICの活動
　現行製品の継続した製造や実用化に向けたサンプルの試作などを請負う工程受託の急増に加えて、産総研と連携した研究受託や企業ユーザの研究支援など、将来のMEMS産業活性化に向けた取組み案件も着実に増加しています。2022年MEMS研究開発支援事業は約120件を獲得し堅調に推移しました。
　本年の顧客のご利用傾向としましては人の流れの回復基調を反映してかクリーンルーム立入り利用を含む研究支援コースの新規契約10件を獲得し、利用増加しました。

4．コロナ禍の中もMEMS展を継続して開催
　1月28日から30日の3日間に亘り「MEMSセンシング＆ネットワークシステム展」を開催しました。今回で通算32回目の展示会となりました。今回の展示会はセンターが設立30周年を迎えるにあたり、例年通りのセンター、MEMS協議会、MNOIC、技術研究PJのブース展示のほかに、特別展示として今後20年のMEMS技術の展望として、MEMSの応用が期待される12分野と、予測されるMEMSデバイス・技術の展示紹介も行いました。

5．HS-ULPAC、BaMBIを順調に継続
HS-ULPAC
　移動体に搭載可能な高精度原子時計を実現するため、周波数変動要因を根本から解明するとともにプロトタイプを試作して実証・評価しています。MMCでは2022年度は最終評価に向け、
ＭEMSガスセル、実験室モデル量子部、プロトタイプ真空断熱型量子部の2次試作を行っています。
BaMBI
　2019年に始動した3年間のNEDO委託事業の結果、ステージゲートを通過し、2022年度からは事業化を目的とした株式会社タニタ主導の2年間の助成事業に進んでいます。非侵襲の血糖・脂質のディテクタ開発も順調に推移しています。

6．SNIFを終了
　2019年に始動したNEDO委託事業を2021年10月からオムロン主導の研究開発に切り替え、2022年6月に計画通り小型ウェアラブル計測端末の動作モデルの構築を終え、研究開発を終了しました。今後も医科歯科大学が中心となって、この成果の実用化に向けて、連携先などを募ってまいります。

7．活発なSSN研究会活動により次期プロジェクトの立案が進む
　新規国プロ獲得を目指して、SSN研究会のWG9において「環境調和型MEMS（EfriM : Environment friendly MEMS）」、WG10において「感情センシングPF」活動を推進し、NEDO先導研究や内閣府次期SIPのRFIへの提案を行うとともに、関連技術のブラッシュアップを行って、新規国プロの公募に応募すべく準備を進めています。
　WG9（EfriM-WG）では、2022年度は農業、インフラ、防災に関する3回の応用分野のWGを開催し、2022年度中にNEDO先導研究等への提案を予定しています。
　WG10（感情センシングWG）では、センサーフュージョンによる特徴量抽出アルゴリズム、生体信号による感情推定、脳波・脳活動センサ、共感状態の推定等に取組んでいる研究者をメンバーに迎え、感情センシングプラットフォームの価値、社会実装の実現に向けた枠組み等について議論を進めていきます。

8．国際標準化全体会議開催 及び 新規標準化委託事業の開始
　IEC（国際電気標準会議）/TC47（半導体分野技術委員会）の国際標準化全体会議が、10月31日から11 月4日まで、サンフランシスコのHilton San Francisco Union Square Hotelで開催され、SC47F（MEMS分野）と、TC47/WG7（半導体デバイス エネルギーハーベスタ、エネルギー変換・伝送分野）に関する会議に参加しました。久しぶりの対面会議であったこともあり、各国主査等と会議前後の時間に交流を図ることができ、充実した会議となりました。
　また、経済産業省「令和 4年度省エネルギー 等に関する国際標準の獲得・普及促進事業委託費」に、マイクロマシンセンター、兵庫県立大学、神戸大学と東京大学が共同で提案しました「振動発電エネルギーハーベスタの信頼性評価に関する国際標準化」が採択され、国際規格の開発を開始しました。

9．国際交流活動を徐々に再開
　新型コロナの影響で制限されていた国際交流活動に関しては、マイクロマシンサミットが3年連続で延期になる等、未だ影響は残っていますが、各国の入国制限が緩和され、国際会議もオンライン開催からハイブリッド開催に移行されだして徐々に再開の兆しが見えてきました。
　4月のMEMSエンジニアフォーラムにもMMCとして出展いたしましたし、MMCでも海外アフィリエートであるスペインカタルーニャ州政府貿易投資事務所と連携して、IOT Solution World Congressのアンバサダーになる等国際交流活動を徐々に再開しました。

10．役員改選による新体制始動と経済産業省の所管課が変更
　2022年度は当センター役員の改選期にあたり、理事長を2期4年にわたりお務めいただいたデンソー株式会社元取締役副社長の山中康司様がご退任され、7月に開催しました理事会において、株式会社日立製作所執行役常務の鈴木教洋様が理事長にご就任されました。
　また、当センターは、設立以来経済産業省製造産業局産業機械課の所管団体でありましたが、同省の組織規定類の改正に伴い、商務情報政策局情報産業課の所管団体に変更となり、半導体・デジタル産業戦略の末端を担っていくこととなります。

MEMSセンシング＆ネットワークシステム展2022 開催報告 （2022年1月26-28日）

　マイクロマシンセンター（MMC）は、2022年1月26日から28日までの3日間、東京ビッグサイトで開催された「MEMSセンシング＆ネットワークシステム展」に出展しました。

写真１　MMC展示ブース

　MMCブースでは、技術研究プロジェクトとして、2019年度から開始した「量子干渉効果による小型時計用発振器の高安定化の基礎研究（HS-ULPAC:High Stability Ultra Low Powe Atomic Clock）」と2020度から開始した「環境調和型MEMS技術の研究開発に関する戦略策定（EfriM: Environment friendly MEMS）」、今年度から自主検討を始めた「感情センシング・フィードバックシステムの戦略策定」の紹介を初め、今年度で研究を終了した「超高効率データ抽出機能を有する学習型スマートセンシングシステム(LbSS：Learning based Smart Sensing System)の研究開発」、今年度で研究を終了する「薄膜ナノ増強蛍光による経皮ガス成分の超高感度バイオ計測端末の開発」を展示し、自社事業として、MNOIC事業、標準化事業、SSN研究会の概要などを展示しました。
　また、ブース入口には「マイクロマシンセンター　活動の歩み」として、前述の５つのプロジェクトを含む、1991年のマイクロマシン技術研究開発プロジェクトからほぼ30年間に渡る研究開発PJの歴史を展示紹介しました。あわせて2022年1月でマイクロマシンセンターは設立30年を迎えるにあたり、今後20年のMEMS技術の展望として、MEMSの応用が期待される12分野と、予測されるMEMSデバイス・技術の展示紹介いたしました。

写真２　活動の歩みと今後20年のMEMS技術の展望

　展示会では、各種講演会も開催いたしました。1月26日は特別シンポジウム「MEMS次世代テクノロジーフォーラム」、1月27日は午前中に研究開発プロジェクト、午後にSSN研究会公開シンポジウム、1月28日はMEMS協議会「MMC創立30周年記念講演会」を開催しました。

●1月26日10:30-12:30：
　特別シンポジウム「MEMS次世代テクノロジーフォーラム」＠東3ホール

　本シンポジウムでは、MEMSの実用化・応用先として期待される次世代テクノロジー（5G、IoT、ロボット、AI、バイオ、自動運転など）にフォーカスし、次世代MEMS市場、最先端のMEMS技術が社会および産業に貢献するビジョンや方向性について、最新情報を報告しました。
　まず「現実・仮想空間を融合させる次世代無線通信技術の動向と課題」と題して、東工大　岡田先生から、VIDEO録画にて、第5世代移動体通信システム(5G)をはじめとする次世代無線通信技術の最新動向を解説されました。
　次に村田製作所　吉田部長から、「MEMS技術とデバイスで進歩する社会」として、主に村田製作所で開発したMEMSの事例をあげ、同社での取り組みを紹介しました。
　3番目の講演は、「活かせるデータを取得するためのセンサと高性能化におけるMEMS技術の活躍」というタイトルで、産業技術総合研究所のセンシングシステム研究センター副研究センター長の山下 健一氏からセンシングシステムとして活用し続けるため必要なMEMS技術について、報告されました。
　本シンポジウム最後は「住友精密グループが提供する ”MEMSソリューション”」と題して、住友精密の宮島室長から、住友精密グループの力を結集した“MEMSソリューション”提供推進の構想について紹介しました。

写真３　特別シンポジウム

●１月27日10：30～12：00：
　研究開発プロジェクト成果報告会＠102会議室

　防衛装備庁の委託で2019年度から開始した「量子干渉効果による小型時計用発振器の高安定化の基礎研究」の研究センター長であるMMC池上氏から「小型高安定で超低消費電力な原子時計の基礎研究」と題して目標を実現するために克服又は解明すべき要素課題の明示と、解決のための技術確立について報告頂き、次にNEDOプロジェクトで実施中の「血中成分の非侵襲連続超高感度計測デバイス及び行動変容促進システムの研究開発」の概要について電気通信大学の菅准教授とタニタの蔦谷氏から報告頂き、最後に今年度研究を終了した「超高効率データ抽出機能を有する学習型スマートセンシングシステムの研究開発と実証実験成果」と題して東京都市大学藤田教授から最新の研究成果が報告されました。

写真４　研究開発プロジェクト成果報告会

●1月27日13:30-15:30：SSN研究会公開シンポジウム＠102会議室

　感情センシングと環境調和型MEMSの研究開発シンポジウム（SSN研究会公開シンポジウム）では、セッション1-1ではMMCブースで紹介している環境調和型MEMS(EfriM)に関して、「環境調和型MEMS (EfriM: Environment Friendly MEMS) が切り拓く未来」と題して、その概要、ユースケース、開発戦略案等について、プロジェクトリーダーである藤田博之キャノンメディカルシステムズ（株）先端研究所名誉所長／東京都市大学教授からご講演頂き、次のセッション1-2では「次世代MEMS技術を基盤としたデジタルトランスフォーメーション」と題して、柔軟素材・液体金属を用いたウエアラブルセンサの開発とその応用について、太田裕貴横浜国立大学大学院工学研究院准教授からご講演頂きました。
　さらに、セッション2-1では、「感情推定技術とその応用」と題して、接客スタッフの生産性向上のためのウエアラブルセンサやカメラを使ったQoE （Quality of Experience）評価システム、トレーニングシステム、現場支援システムの開発について、佐藤洋産総研人間情報インタラクション研究部門研究部門長からご講演頂き、最後のセッション2-2では、MMCブースで紹介している感情センシングに関して、「生体センシングによる人の感情推定と今後の展望」と題して、心拍・脳波等からラッセルの円環指標をつかって感情を推定する手法やその応用として人とロボットの心地よい距離等について、菅谷みどり芝浦工業大学工学部教授よりご講演頂きました。

写真５　SSN研究会公開シンポジウム

　2022年度は、2023年2月1日（水）～3日（金）、東京ビッグサイト、東ホールで「MEMSセンシング＆ネットワークシステム展2023」の開催を予定しております。

（MEMS協議会　八嶋　昇）

新年のご挨拶（MMC／NMEMS 2021年10大ニュース）

　新年あけましておめでとうございます。

　当センターは本年1月に創立30周年を迎えます。国プロのマイクロマシンの研究開発からスタートし、これまで20ほどの国・NEDOプロを推進してまいりました。また同じく10周年となりますMNOIC（マイクロナノ・オープンイノベーションセンター）では、民間企業等のMEMS研究を支援し、工程を受託するなど、日本のMEMS技術や産業の発展に一定の貢献ができたのではないかと思っております。

　本年もコロナ禍による経済の不透明感は続くと見られており、急激に需要が回復しようとする自動車や情報機器に半導体供給が追い付かないなどの状況はありますものの、国が推進しておりますグリーン成長戦略やデジタル・トランスフォーメーション（DX）において、フィジカル空間をサイバー空間に変換するためのゲートともなる各種MEMSセンサへの期待は益々高まっています。

　当センターでは引き続きNEDOプロにおいて非侵襲で血中成分を計測するBaMBIプロジェクトや、防衛装備庁の委託事業で小型原子時計の基礎研究であるHS-ULPACプロジェクトなどを推進していますが、次の課題として政府のグリーン＆デジタルにも応えるべく、広大な空間を測る技術と今まで測ってこなかったものを測るという技術に挑戦しようと考えています。
　前者が「環境調和型MEMS（EfriM : Environment friendly MEMS）」と呼ぶもので、インフラ、防災、農業分野において、広く環境に無害なMEMSセンサを配置し、それぞれの分野の課題を解決しようというものです。
　後者は人間の5感の次に来る「感情センシング」により、IoH（Internet of Human）システムを構築し、オフィスや作業環境での生産性や快適性、さらには介護分野などに資するフィードバックを与えようというものです。これらも含め当センターでは常に新たな研究開発プロジェクトの提案を目指し、さらなる検討を続けてまいります。

　さて、当センターでは通算32回目にあたるマイクロナノ分野の展示会である「MEMSセンシング＆ネットワークシステム展2022」を1月26日から28日にかけて東京ビッグサイトで開催いたします。ここでは、MEMSの過去30年の歴史と今後20年の技術展望をテーマとした創立30周年の記念講演会を実施いたします。是非、多くの皆様にご来場いただき、今後のMEMSの発展のために当センターに対するご指導・ご支援を賜れれば幸いです。

　また、皆様方には以下のマイクロマシンセンターの2021年の10大ニュースをご覧いただき、私どもの活動状況をご賢察いただければ幸いです。

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MMC／NMEMS　2021年　10大ニュース
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１．2020年以上に厳しかった2021年のコロナ禍の中でも、業務を滞ることなく実施
　2020年以上に厳しかった2021年のコロナ禍の中でも、新型コロナウイルス感染症に伴う緊急事態宣言やまん延防止等重点措置が発出されるなか、当センターの業務を滞ることなく実施するため、理事会、委員会等をweb、書面により開催しました。　また、職員への感染を防止するため、基本的な感染対策を施しつつ、在宅勤務、時差通勤を実施しました。

2．LbSS、数々の成果を上げて5年半の研究開発が終了、次への展開へ向けて始動
　2016年から開始した「超高効率データ抽出機能を有する学習型スマートセンシングシステムの研究開発（LbSS）」プロジェクトが、実証実験でのシステム検証を終え、9月30日をもって終了しました。　また、「NEDO IoT推進のための横断技術開発プロジェクト」成果報告会では、5年半の研究成果として、13テーマの技術成果資料・デモ動画及び基調講演の公開を実施し、IoT横断プロジェクト全体の成果・普及を図ることができました。
現在は、LbSS研究成果のヒトセンシングへの展開を調査しています。
　 ■ この成果は、国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）の委託業務の結果得られたものです。

3．「節目の年」2022年を迎えるにあたり、イベントや記念誌を企画・制作、あわせてMEMS技術の歴史と今後20年の進展予測をまとめる
　2022年にマイクロマシンセンター設立30周年、MEMS協議会15周年、MNOIC10周年という「節目の年」を迎えるにあたり、セミナーイベントや記念誌の企画・制作を行うとともに、「マイクロマシンセンター産業動向調査委員会」では、MEMS技術の進展の歴史と、今後20年のMEMS関連技術の進展を予測した調査を実施しました。

4．EfriMは開発戦略をまとめて3月に事業終了、SSN研究会「EfriM-WG」を立ち上げ、プロジェクト化に向け本格始動
　一般財団法人機械システム振興協会の「令和2年度イノベーション戦略策定事業」の委託事業として実施し、昨年3月終了した「環境調和型MEMS（EfriM*）技術の研究開発に関する戦略策定」の成果を基に、SSN研究会**のWGとして「EfriM-WG」を立ち上げ、15企業、9大学、6研究機関・財団の49名の会員を集め、プロジェクト化に向けた活動を本格始動しました。
　　　　　* EfriM : Environment friendly MEMS
　　　　　** SSN研究会：スマートセンシング＆ネットワーク
　　　　　　　（Smart Sensing & Network）研究会

5．MNOIC設立10年で事業成熟、工程受託コースなど定期利用が定着
　2011年に設立し10年経過したマイクロナノ・オープンイノベーションセンター（MNOIC）の利用件数が2021年末で1,300件を超え、産学連携によるマイクロナノ分野のイノベーション実現の場として定着しています。特に近年は、MNOICが研究支援によって開発したサンプルや技術を実用化するために、仕様書に基づいてMNOICの研究員が試作を行う、工程受託コースの利用が急増しています。

6．HS-ULPAC中間を無事終了
　防衛装備庁の「令和元年度安全保障技術研究推進制度（JPJ004596）」の委託事業として実施している「量子干渉効果による小型時計用発振器の高安定化の基礎研究（HS-ULPAC*）」の中間評価審査会が11月12日に開催されました。一部新型コロナの影響で中間目標の達成が年度末に延びるものもありますが、ほとんどが中間目標を達成するとともに当初予定していなかった画期的な副次的成果が出ていることを報告し、無事に終了しました。
　　　　　　*HS-ULPAC :　High Stability Ultra Low Power Atomic Clock

7．BaMBIが、NEDOステージゲートを受審し、来年度からのフェーズBに向けて検討を開始
　NEDOの「IoT社会実現のための革新的センシング技術開発」の中で、2019年度に採択され、研究開発進めてきたテーマ「血中成分の非侵襲連続超高感度計測デバイス及び行動変容促進システムの研究開発（BaMBI*）」は、この11月2日にステージゲート審査を受審しました。本事業は、フェーズAの委託3年間を経てステージゲートをクリアすれば、その後の2年間はフェーズBの助成事業として実用化に向けて加速していくことになりますが、本テーマはフェーズAの目標を全て達成できる見込みで、審査結果を待つばかりです。
*BaMBI : Non-ivasive Blood analytic Monitor for Behavior Improvement System

8．MEMS関連標準化についてオンラインで国際会議で規格案審議を推進、関係者がIEC1906賞を受賞、新標準化事業の開始など、活発に活動
　コロナ禍中、オンラインながらも、5月に「IEC（国際電気標準会議）TC47（半導体分野技術委員会）/SC47E（個別半導体デバイス）WG1（半導体センサ分野）、TC47/SC47F（MEMS分野）、TC47/WG7」、10月に「IEC/TC47　国際標準化全体会議」に出席し、活発な議論を交わし、規格案審議を着実に前進させることができました。また、当センターが取り纏めている標準化活動で活躍して頂いた2名の方が、IEC1906 賞を受賞されました。標準化事業では、経済産業省の委託事業で、「薄膜圧電MEMSデバイスの寿命試験及び多方向折り曲げ信頼性法に関する国際標準化」が採択され、国際規格の開発を開始しました。

9．技術研究組合ＮＭＥＭＳ技術研究機構の理事長に、東京都市大学の藤田教授が就任
　今仲行一理事長が2021年２月に急逝されました。ご冥福をお祈り申し上げます。
　組合の３月に開催された理事会において、東京都市大学の藤田博之教授が理事長にご就任されました。

10．SNIFがNEDOプロジェクトとしては終了するも、将来の実用化へ向け、今後の研究開発は着実に履行　
　2019年度にBaMBIとともにスタートした革新的センシングのプロジェクト「薄膜ナノ増強蛍光による経皮ガス成分の超高感度バイオ計測端末の開発（SNIF*）」として推進されてきましたが、参加企業の社内体制変更により、残念ながらNEDO受託事業としては2021年度上期までとなりました。ただ、東京医科歯科大学とNMEMS組合で2022年半ばまでフェーズAの研究開発は着実に履行し、将来の実用化への道を繋ぐこととしています。
　　　*SNIF: Skin volatile biosensor based on Nano-Integrated Fluorometry

第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム MNOIC出展のご報告 （2021年11月9日～11日)

　第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウムが、2021年11月9日から11日までの3日間にわたってオンライン開催され、マイクロマシンセンターMNOICがオンライン技術展示に出展しましたのでここにご報告いたします。

　本シンポジウムは、一般社団法人電気学会のセンサ・マイクロマシン部門が主催し、応用物理学会、日本機械学会、化学とマイクロ・ナノシステム学会の協力により行われる合同シンポジウムで、第38回を数える今回は、”Future Technologies from Himeji 2021 Online” の一環として開催されました。発表件数は、本シンポジウムの206件をはじめ、全体で484件を数え、環境・医用・バイオセンシングシステム、エネルギーハーベスタなどの注目すべき発表が行われ、838名の参加者による技術交流が行われました。

　技術展示のセッションでは、オンライン会議ツールを用いたバーチャルミーティングに加え、技術プレゼンテーションと展示コンテンツのバーチャル見学ツアーが行われました。オンライン展示出展のメリットとしては、訪問者のご承諾により情報交換実績やご興味をいただいた展示コンテンツ情報をデジタルデータで入手できることが挙げられます。今回の出展で、マイクロマシンセンターは、MNOICのMEMS研究開発支援サービスと国家プロジェクト参画によるプロセス技術の開発状況についてご紹介し、1日当たり約70名様程度のアクセスと、合計約30件の情報交換データを電子情報で入手しました。

　以下、出展内容について簡単にご紹介いたします。
MNOICのMEMS研究開発試作支援サービスは、国立研究開発法人産業技術総合研究所殿 (茨城県つくば市) の8/12インチウェハ対応MEMS研究開発拠点を活用して展開する事業で、2011年のサービス開始以来500件を超える試作契約実績をいただいており、研究開発初期段階から製品開発に至る幅広い試作開発をサポートしております。技術展示コンテンツとして、MEMS研究開発拠点の8/12インチMEMSラインと、触覚センサ、X線デバイス、国家プロジェクト成果であるAlN（窒化アルミニウム）圧電薄膜振動センサなどのMEMSデバイスの試作例をご紹介いたしました。MNOICでは試作開発のご希望を常時受け付けておりますので、私どもの窓口をご訪問下さるようお願い申し上げます。

　ご参考までに、次回は2022年11月14日から16日まで、徳島県のアスティとくしまにて開催されることが公表されました。

（MNOIC　原田　武）

SSN研究会WG（EfriM）キックオフミーティング開催報告

　2021年6月23日（水）15：00～17：00にオンラインにて「SSN研究会WG（EfriM）キックオフミーティング」を開催致しました。

　一般財団法人マイクロマシンセンターでは、昨年度に一般財団法人機械システム振興協会からの委託を受け、今後発展が期待される屋外IoTのキー技術となる「環境調和型MEMS（EfriM : Environment friendly MEMS)技術の研究開発に関する戦略策定」事業を実施致しました。

　本ミーティングはこの成果を基に今後プロジェクト化を図っていくために、SSN（Smart Sensing & Network)研究会の新たなWGとして立ち上げましたEfriM-WGのキックオフミーティングで、以下に示すプログラムのように、長谷川専務理事の主催者挨拶の後、EfriM関連の4件の基調講演とEfriM-WGの進め方に関して説明を行いました。　

【プログラム】

15:00～15:05　（１）主催者挨拶
　　　　　　　　 長谷川 英一【(一財)マイクロマシンセンター　専務理事】　
15:05～16:45　（２）基調講演（講演20分、質疑応答5分）
15:05～15:30　　①「EfriMとは」
　　　　　　　　　藤田 博之氏【キヤノンメディカルシステムズ㈱先端研究
　　　　　　　　　　　　　　　所 名誉所長(EfriMプロジェクトリーダー)】
15:30～15:55　　②「インフラ分野のEfriM」
　　　　　　　　　塩谷 智基氏【京都大学インフラ先端技術産学共同講座　
　　　　　　　　　　　　　　　特定教授】　
15:55～16:20　　③「災害分野のEfriM」
　　　　　　　　　酒井 直樹氏【防災科学技術研究所先端的研究施設利活用
　　　　　　　　　　　　　　　センター　副センター長】
16:20～16:45　　④「農業・畜産分野のEfriM」
　　　　　　　　　伊藤 寿浩氏【東京大学大学院工学研究科　精密工学専攻　
　　　　　　　　　　　　　　　教授】(EfriMサブプロジェクトリーダー)】
16:45～17:00　（３）SSN研究会EfriM-WGの進め方

　以下に、本キックオフミーティングの内容に関して、簡単に紹介致します。

　先ず、主催者挨拶として、長谷川専務理事から、創立30年を迎えるマイクロマシンセンターがこれまで実施してきた各種プロジェクトに関して簡単に説明を行うとともに、この次のMEMSとして、屋外に広範囲にばら撒いたMEMSを普及させるためには、EfriMが必要であり、プロジェクト化を図るために、今般SSN研究会に新たにEfriM-WGを立ち上げた旨の説明を行いました。この技術は内閣府の第6期総合科学・イノベーション基本計画で謳う「国民の安全と安心を確保する持続可能で強靭な社会」や昨今話題になっているグリーン・デジタル化にも資する技術であり、本日はEfriMの調査研究のプロジェクトリーダーをお務め頂いた藤田先生からEfriM全体の説明を頂き、インフラ、災害、農業分野の各分野で議論のリードを頂いた塩谷先生、酒井先生、伊藤先生からそれぞれの分野のEfriMの説明を頂くことにしていますので、この技術に関心を持って頂いて、是非WGに参加して一緒にプロジェクト化を図って頂くようにお願い致しました。（図1）

　　図1　長谷川専務理事の主催者挨拶の様子

　次に、基調講演として、先ず、藤田先生より、EfriMとはどのようなもので、どのような技術が必要かについてご紹介頂きました。EfriMは自然に還る材料や自然に固定化（有害な材料を環境に流出しないように環境に無害な材料で包んでしまうこと）する材料を使って、低炭素な製造技術で作製し、屋外の広範囲にばら撒いて、環境を見守る用途に用いるものです。また、自然に還るあるいは固定化する材料で構成されているため、寿命がきた後も回収せずに、自然に放置しておくことが可能になるものです。昨年実施致しました調査研究では、EfriMに適したインフラ、災害、農業分野におけるユースケース、自然に還る材料や自然の中に固定化する材料・デバイス及び省エネ型製造技術を抽出するとともに、それらを組み合わせたシナリオを検討して、その絞込みとブラッシュアップにより、インフラ、災害、農業分野での有望な6つのEfriMセンシングシステムを選出したことが報告されました。また、これら6つのEfriMの研究開発のために必要な横断的技術を環境固定化技術、環境に還る技術及び共通基盤技術の3つの項目に整理するとともに、緊急時のみで使うシステムなのか、農作物の収穫など例えば半年間使うものなのか、あるいはコンクリート構造物モニタリングのように数十年にわたって使い続けるシステムなのかというような時間遷移を考慮した開発戦略としてまとめたことが紹介されました。（図2）

　　　　図2　藤田先生の講演の様子

　次に、塩谷先生からはインフラの点検結果の概要及び保全フェーズ（初期、予防、事後）の説明があり、現状は表面状態だけしか計測できていないため、緊急対策としての事後保全しかできない課題があることが紹介されました。センサをインフラ構造物の内部にEfriMとして組み込むことができれば、調査・測量、設計、材料・施工、検査、維持管理というインフラ構造物建設のあらゆるフェーズで、内部状態を含めたリアルデジタルツインを実現できる。つまり、建設フェーズを一気通貫させるセンシング技術による外部情報と内部情報の統合により、本当の建設DXが実現できることが示され、EfriMへの期待が述べられました。（図3）

 

　　　　　図3　塩谷先生の講演の様子

　続いて、酒井先生からは2016年の熊本地震災害や土砂災害・地盤災害事例及びそこでのモニタリング事例の紹介があり、現状では定点での観測ができるのみで、広範囲な災害の予兆を検出できるようなセンシングシステムは存在しないとともに、災害が発生した場合に流出したセンサを回収することは困難なことが紹介されました。従って、環境に調和し、回収が不要なEfriMを広範囲に設置することができれば、経験と勘に頼っていた防災のデジタル化が図れ、さらに住民目線の防災が可能になることが示されるなど、EfriMへの期待が述べられました。（図4）

　　　　　図4　酒井先生の講演の様子

　最後に伊藤先生からは、農業の高収益化・完全無人化・高収量化・高品質化の具体的な課題、スマート農業の問題点、MEMSへの期待から、土に還るEfriMにより生物農薬・ロボットトラクタを用いたスマート農業が加速できることが紹介されました。また、畜産に関しては、ムーンショットの「牛ルーメンマイクロバイオーム完全制御によるメタン80％削減に向けた新たな家畜生産システムの実現」、JST-CRESTの「安全・安心のためのアニマルウオッチセンサの開発」及び内閣府SIPの「生体センシング技術を活用した次世代精密家畜個体管理システムの開発」等の紹介から、ピル型EfriMへの期待が述べられました。（図5）

　　　　　図5　伊藤先生の講演の様子

　以上4件の基調講演の後、事務局よりSSN研究会EfriM-WGの進め方についての説明とEfriM-WGへの勧誘（7/7締切）が行われました（図6）。

　　　　　図6　EfriM-WGの進め方

　今回はインフラ、災害、農業分野でのEfriMの開発戦略について紹介しましたが、EfriM自体は環境に調和して、回収を不要にする新たなIoTを実現するものですので、今回の3分野に限らず、他の分野も含めて広くプロジェクト化を模索していきたいと存じますので、ご関心のある方は下記へお問合せお願い申し上げます。

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一般財団法人マイクロマシンセンター　MEMS協議会
SSN研究会　EfriM-WG 事務局　武田／藤井　
E-mail： seminar1@mmc.or.jp
〒101-0026 東京都千代田区神田佐久間河岸67 MBR99ビル6階
Tel: 03-5835-1870 http://www.mmc.or.jp/

　　　　　　　　（MEMS協議会SSN研究会EfriM-WG担当　武田　宗久）

新年のご挨拶（MMC／NMEMS 2020年10大ニュース）

　新年あけましておめでとうございます。

　昨年は新型コロナウイルスの感染拡大を受け、日本経済は急速に悪化し4-6月期のGDPは過去最大のマイナス成長となりました。また5月の緊急事態宣言の解除を受けて7-9月期のGDPはプラスに転じましたものの、感染者の推移から、先行きの不透明感も年を越えてしまいました。
　MEMS市場も同様に不透明感はございますが、医療や通信などの分野は成長を続けております。コロナ禍でニーズの高まった非接触体温計や人工呼吸器、各種検査機器などに対応して、マイクロボロメータ、圧力センサ、流量計、マイクロ流路などの医療用MEMSの需要は増加しております。

　マイクロマシンセンター／NMEMS技術研究機構においても、医療・ヘルスケア用MEMSの研究開発として、新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）の委託事業で「血中成分の非侵襲連続超高感度計測デバイス及び行動変容促進システムの研究開発（BaMBI）」と、「薄膜ナノ増強蛍光による経皮ガス成分の超高感度バイオ計測端末の開発（SNIF）」を実施しております。
　また、防衛装備庁の委託事業で実施しております「量子干渉効果による小型時計用発振器の高安定化の基礎研究（HS-ULPAC）」は衛星搭載原子時計の性能レベルを小型低消費電力で実現するための研究開発ではありますが、モビリティや通信分野のみならず医療・ヘルスケアを含む多様な分野での応用が可能な課題と考えております。

　これらの研究開発を支えるMEMS試作ファンドリである「マイクロナノ・オープンイノベーションセンター（MNOIC）」は今年10年目を迎えます。企業・ベンチャー、国研・大学によるMEMSの研究・試作並びに少量生産に活用いただいており、2011年の開設当初と比較し、近年では約5倍の年間80件以上の研究・工程の受託をし、フル稼働の状態にあります。

　加えて昨年から一般財団法人機械システム振興協会の委託事業で、SDGsに資する環境調和型MEMS(EfriM：Environment friendly MEMS)を実現するための戦略策定事業も実施しております。

　本年も当センターはMEMSを活かしたソサエティー5.0やデジタル・トランスフォーメーションの実現を目指し、MEMSの基盤技術検討から応用まで幅広い研究開発を行ってまいりますので、引き続きご指導、ご鞭撻の程、よろしくお願い申し上げます。

　皆様方には以下のマイクロマシンセンターの2020年の10大ニュースをご覧いただき、このような私どもの活動状況をご賢察いただければ幸いです。

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MMC／NMEMS　2020年　10大ニュース
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１．コロナ禍で多くのイベント等が中止になる中も、職員が無事に業務を推進
　未曽有の新型コロナウイルス感染症の拡大を防止するため、理事会、委員会等を書面、Webによる開催方法に変更しました。また、職員の感染防止対策として在宅勤務、時差通勤の導入などを実施し、1年間業務を無事に遂行できました。

２．年に2回のMEMS展開催
　例年開催しておりますMEMS センシング& ネットワークシステム展を、2020 年1月29日(水)～31日(金）にMEMS展2020として、2020年12月8日(水)～10日(金）をMEMS展2021として開催しました。2020は5万人、2021は1万人の来場者数となりましたが、当センターが併催した各種シンポジウ等は好評裡に実施できました。

３．LbSSの実証試験が着実に進展
　　振動発電はCEATECアワードのオープン部門グランプリを獲得
　LbSSプロジェクトは最終年度に差し掛かり、多くの成果を上げつつ、最後の実証試験に取り組んでいます。その中で開発した「コインサイズの振動発電器」が、世界最高レベルのエネルギー回収効率93％を達成しつつ、10月のCEATEC 2020 ONLINEでCEATEC AWARD 2020オープン部門グランプリを受賞しました。
　 この成果は、国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)の委託業務の結果得られたものです。
　　https://www.nedo.go.jp/news/press/AA5_101370.html

４．EfriMの検討が着々と進む
　機械システム振興協会からの受託により、環境調和型MEMS（EfriM：Environment friendly MEMS）に関する新たな研究開発戦略策定を行っています。これまでの屋内設置や機器内部への搭載が主であったMEMSデバイスをインフラ・災害・農業モニタリング分野等の屋外や自然環境に広く設置し、回収が不要で、環境に放置されても自然に還ったり、有害とならなかったりするMEMSシステムの開発とその低炭素負荷での製造や利用を目指してまいります。

５．HS-ULPACが順調に始動
　測位衛星搭載の原子時計と同等の性能を有し、且つ手のひらサイズで低消費電力の小型原子時計を実現するための基礎研究として、原子時計の安定性を阻害する各種周波数変動要因を根本から解明するとともに、自動車等の移動体に搭載可能な耐振性を有するプロトタイプを試作して、その性能を車載環境で実証・評価する研究開発を本格的に開始しました。
　本研究開発は、防衛装備庁が実施する安全保障技術研究推進制度JPJ004596の支援を受けたものです。

６．BaMBI、SNIFの研究開発がコロナで厳しい中も進展
　ヘルスケア系の革新的センシングの開発を目指す、BaMBIとSNIFの両プロジェクトは、コロナ禍のため、一部研究サイトへの立入制限や、装置の導入や利用の停滞などが起こり、研究開発自体にもやや遅れが生じています。これに対して、主にWeb会議の活用により、技術推進研究会等を頻繁に実施することで、毎回、研究サイトごとの課題、問題点を含む研究進捗の共有を行い、迅速な研究開発の実施に努めています。

７．MNOIC事業が前年度より回復基調
　国立研究開発法人産業技術総合研究所様ご協力のもと、研究支援、研究受託、工程受託コースなどのMNOIC試作支援事業がコロナの中でも比較的順調に推移しました。本年度の12月時点で、工程受託コースでは7件の新規契約を獲得し、継続案件を含めて合計86機関の顧客様にMEMSデバイス開発の支援で貢献いたしました。また、MNOICの技術スタッフが、前述のHS-ULPACやBaMBIなどの国家プロジェクトに研究員として参画し、新デバイスの試作開発を通して新しいプロセス技術の腕を磨いて参りました。

８．標準化活動の会議が中止になる中も着実に前進
　4月に国際標準「圧電MEMSデバイスのセンサ特性信頼性試験方法」を発行、9月～12月に3件の新規格を提案するなどの成果を上げています。またコロナ禍のため11月にオンラインで開催されたIEC（国際電気標準会議）／TC47（半導体分野技術委員会）国際標準化全体会議に出席して、既提案の改訂説明や新規提案などを積極的に行いました。

９．センサ＆IoTコンソーシアムの事務局活動を遂行
　生体情報センサを初めとした各種センサとIoT技術を利用した快適な生活・社会空間の創出を目指す当該コンソーシアムの事務局業務が、2020年4月から当センターに移管されました。例年実施されている公開シンポジウムも今年は「バイオメディカル計測と健康医療センシング」をテーマとして、無事12月にWeb開催することができ、180名を超える参加者がありました。

１０．産業動向調査報告「MEMSトップ企業の事業戦略とSDGsへの対応」が好評
　毎年MEMS産業を取り巻く各種環境などを取り上げて、産業動向調査報告を行っていますが、昨年はSDGsに対して、大手MEMS企業がどのような取組みをしているのか等を中心に分析をしました。また、MEMSがどのようにSDGsに貢献できるかについて議論し、その内容をまとめた報告書を作成し、会員企業にご提供いたしました。MEMS展2021でもその内容に注目が集まりました。

第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム参加報告（11月19日-21日）

　第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウムが、2019年11月19日から21日までの3日間にわたって静岡県浜松市のアクトシティ浜松で開催され、マイクロマシンセンターが技術展示に出展してきましたのでここにご報告いたします。

　本シンポジウムは、一般社団法人電気学会E部門の主催で行われる、当該分野における日本最大級の学術シンポジウムで、日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門主催の「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」、応用物理学会集積化MEMS技術研究会主催の「集積化MEMSシンポジウム」、化学とマイクロ・ナノシステム学会主催の研究会と、また一般社団法人エレクトロニクス実装学会連携セッションとの同時開催により、”Future Technologies from HAMAMATSU” の一環として開催されました。発表件数は、本シンポジウムの263件を始め、全体で582件を数え、高機能の物理・化学・イメージセンサデバイス、トランスデューサ、エネルギーハーベスタ、最先端パッケージング技術などの注目すべき発表が行われ、1,000名を超える参加者による熱心な技術交流が行われました。

　今回、マイクロマシンセンターは、本シンポジウムの技術展示コーナーにおいて、センサネットワークシステム用基盤技術としてのパッケージング技術の研究開発成果とMEMS研究開発支援サービスについて出展いたしました。

（1）インフラモニタリングセンサネットワークシステム用パッケージング技術
マイクロマシンセンターのマイクロナノ･オープンイノベーションセンター (MNOIC)は、国立研究開発法人新エネルギー･産業技術総合開発機構 (NEDO) 殿から技術研究組合NMEMS技術研究機構が受託した国家プロジェクト「道路インフラ状態モニタリング用センサシステム (RIMS) 研究開発」に参画して、インフラモニタリング用無線センサ端末の高耐久性パッケージング技術を開発しました。試作開発品として、屋外の過酷な環境での長年月の使用に耐える耐候性に優れた透光性セラミックスと特殊グレードのポリカーボネート樹脂材料からなる2種類のパッケージと高気密性封止センサ端末を出展し、センサデバイスの実装評価に携わる多くの研究機関や開発メーカーの方々にご興味を持っていただきました。本技術は主として物理・光・電磁センサの実装に役立つ基盤技術で、原理検証から実証評価までの各段階でお役に立てるものと考えております。

（2）MEMS研究開発試作支援サービス
マイクロマシンセンターの主要事業のひとつであるMNOICが担当するMEMS研究開発試作支援サービスの活動状況を展示いたしました。本事業は国立研究開発法人産業技術総合研究所殿 (茨城県つくば市) の8/12インチ対応MEMS研究開発拠点を利用して展開する事業で、2011年の創設以来400件を超える試作契約実績をいただいており、研究開発初期段階から製品開発に至る幅広い試作開発をサポートしております。技術展示では、MEMS研究開発拠点の8/12インチMEMSラインと、触覚センサ、圧電型振動センサ、マイクロ流路などのMEMSデバイスの試作例をご紹介いたしました。前項でご紹介したパッケージング技術も含めて、MNOICでは試作開発のご希望を常時受け付けておりますので、私どもの窓口をご訪問下さるようお願い申し上げます。

写真1　展示会場と説明風景

（MNOIC　原田　武）

SENSOR EXPO JAPAN 2019（2019年9月11日-13日）報告

　SENSOR EXPO JAPAN 2019は、フジサンケイ ビジネスアイ様の主催で、一般社団法人 次世代センサ協議会様の特別共催を得て、測定計測展、第15回総合試験機器展、地盤技術フォーラム2019、第21回自動認識総合展と同時開催されました。本展示会では、経済産業省 製造産業局 産業機械課 課長補佐 池田秀俊様による基調講演「我が国製造業の課題と展望」を始めとして、製品･技術発表会、次世代センサフォーラム展示、技術発表会、次世代センサ総合シンポジウムといった盛り沢山の企画が催され、出展団体63団体、ご来場者（3日間の合計）7,416名の皆様による熱心な技術交流が行われました。

　今回、マイクロマシンセンターは3つのテーマについて出展いたしました。
（1） 道路インフラモニタリング用センサ端末パッケージング技術開発成果
国立研究開発法人新エネルギー･産業技術総合開発機構 (NEDO) 殿から技術研究組合NMEMS技術研究機構が受託した国家プロジェクト「道路インフラ状態モニタリング用センサシステム (RIMS) 研究開発」に参画したマイクロマシンセンターのマイクロナノ･オープンイノベーションセンター (MNOIC) が開発したモニタリングシステム用無線センサ端末の高耐久性パッケージング技術として、セラミックスとポリカーボネート樹脂材料からなる新しい高気密性封止パッケージの試作品を出展いたしました。センサのメーカー様とユーザー様から、センサとシステムの実用化時期や価格など、熱心なご質問と技術資料の請求をいただきました。国家プロジェクト終了後は参画企業の自主事業に移行したセンサ及びセンサネットワークシステムの開発に弾みを付けたいと考えております。

（2）MNOICのMEMS研究開発試作支援サービス
マイクロマシンセンターの主要事業のひとつであるMNOICが担当するMEMS研究開発試作支援サービスの活動状況を展示いたしました。本事業は茨城県つくば市にある国立研究開発法人産業技術総合研究所殿の8/12インチ対応MEMSデバイス試作ラインをお借りして展開する事業で、年々右肩上がりのご利用契約をいただいております。MEMSセンサを開発課題としてお持ちのお客様から熱心なご質問をいただき、具体的な打ち合わせもさせていただきました。MNOICでは試作開発のご希望を随時受け付けておりますので、思い立ったらご遠慮なく、私どもの窓口にご連絡をお願い申し上げます。

（3）MEMSセンサ＆ネットワークシステム展のご紹介
本展示会はマイクロマシンセンターがJTBコミュニケーションデザイン様と共同で主催する展示会で、2020年1月29日から31日の3日間にわたって、今回の展示会と同じ東京ビッグサイトの西2ホールで実施されます。1990年開始の「マイクロマシン展」から継続開催してきた展示会で、最近はビジネス志向の展示会「MEMSセンサ＆ネットワークシステム展」に名前を変えて実施しています。出展申込締切日は9月30日ですが、それ以降でもお申し込みは可能ですので、是非出展のご検討をよろしくお願い申し上げます。
お申込みサイトURL: https://application.jcdbizmatch.jp/jp/nanotech2020/MEMS

 

展示会場と説明風景

（MNOIC　原田　武）

Smart Sensing 2019出展報告 （6月5日～7日）

　センシング技術で価値創造する新社会プラットフォームの展示会として、2019年6月5日から7日までの3日間にわたって東京ビッグサイト西4ホールで開催された、株式会社JTBコミュニケーションデザイン殿主催のSmart Sensing 2019に出展してきましたのでここに報告いたします。
　Smart Sensing 2019は、電子機器トータルソリューション展2019のひとつとして、JPCA Show、マイクロエレクトロニクスショー、JISSO PROTEC 、有機デバイス総合展、WIRE Japan Show、JEP/TEP Showと同時開催され、センサとその材料、プロセス、実装、応用にご興味のある方には非常に楽しみな展示会となっています。本展示会は、IoT社会におけるキー要素であるセンサとセンシング技術を主なテーマとする今回で3回目の新しい展示会ですが、出展団体が81団体で、初回から比べて2倍以上に増加し、今回の来場者は、初日が14,217名、2日目が15,354名、最終日が14,539名、合計44,110名となり、初回の6倍以上に増加した熱意ある参加者の皆様で賑わいました。

　今回、マイクロマシンセンターは3つのテーマについて出展いたしました。

（1） 道路インフラモニタリング用センサ端末パッケージング技術開発成果
国立研究開発法人新エネルギー･産業技術総合開発機構 (NEDO) 殿から技術研究組合NMEMS技術研究機構が受託した国家プロジェクト「道路インフラ状態モニタリング用センサシステム (RIMS) 研究開発」の一環として、そのメンバーであるマイクロマシンセンターのマイクロナノ･オープンイノベーションセンター (MNOIC) が開発したモニタリングシステム用無線センサ端末の高耐久性パッケージング技術を出展いたしました。高耐久性セラミックスと高耐候性ポリカーボネート樹脂材料からなり、高気密性封止材料で接合封止した2種類のパッケージの試作品を展示したところ、同様のニーズを持つメーカーの方々から熱心なご質問と技術資料の請求をいただき、インフラモニタリングセンサネットワークの市場ニーズが十分あることを感じました。

（2）MNOICのMEMS研究開発試作支援サービス
マイクロマシンセンターの主要事業のひとつであるMNOICが担当するMEMS研究開発試作支援サービスの活動状況を展示いたしました。本事業は茨城県つくば市にある国立研究開発法人産業技術総合研究所（産総研）殿の8/12インチ対応MEMSデバイス試作ラインをお借りして展開する事業で、年々右肩上がりのご利用契約をいただいております。MEMSセンサを開発課題としてお持ちのお客様から熱心なご質問をいただきました。MEMSデバイスを製品化されているメーカー様でも、デバイス開発の初期段階ではご自分の会社の生産ラインを使用する余裕はなく、デバイス試作のアウトソーシングが必要になっているご様子です。

（3）MEMSセンサ＆ネットワークシステム展のご紹介
　本展示会はマイクロマシンセンターがJTBコミュニケーションデザイン様と共同で主催する展示会で、2020年1月29日から31日の3日間にわたって、今回の展示会と同じ東京ビッグサイト西2ホールで実施されます。1990年から開始した「マイクロマシン展」以来、30年間にわたって継続開催してきた展示会で、最近はその発展形態としてビジネス志向の展示会「MEMSセンサ＆ネットワークシステム展」に生まれ変わりました。Smart Sensing 2019にご興味のあるお客さまには、ぜひご出展、ご参加をお願いしたい展示会です。

写真1　展示説明風景

（MNOIC　原田　武）