MEMSセンシング＆ネットワークシステム展2026 開催報告 （2026年1月28日～1月30日）

　マイクロマシンセンター（MMC）は、2026年1月28日（水）から1月30日（金）までの3日間、東京ビッグサイトで開催された「MEMSセンシング＆ネットワークシステム展」を主催しました。
　MMCブースでは、研究開発プロジェクトとして「メタサーフェスSiハイパースペクトル赤外光センシングデバイス (MESH: Metasurface Si Hyperspectral Infrared Sensing Device)」、「MEMS事業者連携委員会」の紹介を始め、MNOIC事業、標準化事業、調査研究事業のパネルなどを展示しました。

写真1　MMC展示ブース

　ブース展示とともに例年どおり各種講演会も開催いたしました。1月28日は特別シンポジウム「MEMS・半導体次世代テクノロジーフォーラム」、1月29日は午前にTIA-MEMSウインターセミナー／MEMS講習会、午後にSSN研究会公開シンポジウム、MEMS協議会フォーラムを開催しました。

●1月28日10:30～12:30
　特別シンポジウム「MEMS・半導体次世代テクノロジーフォーラム」
　＠西１ホール　シーズ＆ニーズセミナーB

　本シンポジウムでは、MEMS、センサの実用化・応用先として期待される次世代テクノロジー（半導体、5G、IoT、DX、ロボット、AIなど）にフォーカス。経産省、大学、国研、企業のそれぞれのお立場から、MEMS・半導体に関する政策動向、研究開発動向などについてご紹介いただきました。

　まず「我が国の半導体政策について」と題して、経済産業省情報産業課デバイス・半導体戦略室 室長補佐 西嶋健人様から、我が国はAIやDXを支える半導体を戦略上の重要物資と位置付け、経済安全保障の観点から国内供給能力の確保を重視しており、具体的には、既存の生産基盤強化、ラピダス等による次世代技術確立、将来技術開発の3ステップを推進中で、2030年度までに10兆円超を支援し、設計や人材育成、装置・素材を含む自律的なデジタルエコシステムの構築と官民投資の拡大を目指しているとのお話がありました。特にMEMSに関連しては、「センサー類やMEMS等も含めて、我が国の経済安全保障上、重要な電子部品について、我が国の自律性・不可欠性を高める取組を検討する」との立場をお話しいただきました。

　次に東京科学大学 総合研究院 生体材料工学研究所 センサ医工学分野 教授の三林浩二様から「血液中VOCマーカーのウェアラブル・バイオセンシング」として、三林教授が提唱されている血液情報を非侵襲で取得する次世代ウェアラブル技術についてのお話がありました。物理情報の計測に留まる現状に対し、呼気や皮膚から放出される生体ガスに着目し、肝臓の酵素による高い選択性と光計測を組み合わせ、代謝状態を示すアセトン等を測る「バイオスニファ」を開発し、特に汗の影響が少なく血流豊富な耳道での計測により、日常的な健康管理や疾患診断への活用が期待されている技術であるとの報告がありました。

　3番目の講演は、「MEMSパイロットラインを起点にした先端PKG、3D集積への取組展開」というタイトルで、産業技術総合研究所　ハイブリッド機能集積研究部門　研究部門長　薬師寺啓様から、2025年に発足したこの部門において300mmウエハによるハイブリッド接合等の次世代技術の推進と既存のMEMSパイロットラインを拡張し試作から評価まで一貫して支援する新世代ハイブリッドパッケージ拠点の整備を行ったとのお話がありました。さらに産業競争力の強化を目指して設計・製造の横連携を促すために設立した新コンソーシアム「新世代半導体集積システム技術コンソーシアム」のご紹介もございました。

　本フォーラム最後は「自動車用センサの現在と将来展望」と題して、株式会社ミライズテクノロジーズ　センサ研究開発部　部長　和戸弘幸様から、自動運転用半導体の現状と展望のお話をいただきました。同社はトヨタグループのR&D中核として、パワー・センサ・SoCの開発を推進し、自動運転がAI主導へ進化する中、夜間安全のための低コストサーマルカメラや、GPS補完のための高精度IMU、運転者の状態を検知する生体センサを開発されており、それらセンサ群の重要性を解説いただきました。また、次世代車載SoC開発に注力する自動車用先端SoC技術研究組合についてもご紹介がありました。

写真2　特別シンポジウム

●1月29日10:30～12:00
　TIA MEMS ウインターセミナー/MEMS講習会
　＠会議棟１０２会議室

　例年どおり、主に学生や若手技術者向けにTIAの次世代人材育成事業に協力して実施するTIA-MEMSウインターセミナー／MEMS講習会を開催しました。

　まず「マイクロ工学技術で拓く生体模倣システム」と題して、早稲田大学理工学術院基幹理工学部　教授　森本雄矢様から、近年進められているマイクロ加工技術やマイクロ流体デバイス技術を基盤として、バイオや医療などとの異分野融合のうち、特にハイドロゲルのマイクロ加工技術に焦点を当て、細胞とデバイスを融合したバイオハイブリッドシステムの最新の研究事例をご紹介いただきました。

　次に「MEMS技術を用いた複合触覚デバイス」と題して、新潟大学工学部　准教授 寒川雅之様からMEMS技術を用いた接触、すべり、振動、温冷を複合的に計測する触覚センサ・提示デバイスの開発についてのご紹介並びに質感計測や触診データ化など感性・ヒューマンインタフェース分野への応用と両技術の統合のビジョンについてご説明がありました。

　3番目の講演は、「MEMSマイクロフォンのモノづくりとコトづくり」題して、日清紡マイクロデバイス株式会社　モジュール開発本部　フェロー 口地博行様から、AI の進歩とIoT の普及により音響センサとして使用される機会が増えてきているMEMSマイクロフォンの、工業用途や医療機器など新たな応用領域に適した技術開発とアプリケーション事例についてご紹介いただきました。

写真3　TIAウインターセミナー

●1月29日13:30～15:30
　SSN研究会公開シンポジウム「マイクロナノが支えるフロンティア領域」
　＠会議棟１０２会議室

　フロンティア領域とは、日本の「次の飯のタネ」となるような先端技術領域であり、2040年以降の新産業の創出を目指し、新たな取組みが進んでいます。本シンポジウムでは経産省担当官から直接その取組みを展望いただくとともに、産学よりブレインテック、量子センサという2つのフロンティア技術の最新動向についてご講演をいただきました。

　1番目の講演として「フロンティア領域の探索・育成による新産業創出に向けて」というタイトルで経済産業省イノベーション・環境局イノベーション政策課課長補佐 菅 真央様から、日本の将来を担うフロンティア領域の探索と育成に関する施策についてご講演いただきました。2025年度はブレイン・ニューロテックや量子センシングなど6領域を重点領域と選定し、民間だけでは投資が難しい中長期的な先端技術に対して、国が「次なる飯の種」として予算を投じ、従来の委託研究型だけでなく、成果に応じた懸賞金型事業も導入し、産学官やスタートアップと連携しながら、トライ・アンド・エラーを許容する柔軟な体制で社会実装を加速させていくとのお話がありました。

　次に「健康・環境にたずさわる微生物利用・制御のためのイメージングおよびデバイス開発」というタイトルで筑波大学生命環境系教授　 野村暢彦様から、微生物・動物細胞を極めて低侵襲に観察・診断するため世界最高水準の単一光子検出技術（超伝導転移端センサ（TES））を取り入れた光量子顕微鏡など最先端イメージング技術とそれに付随するデバイス技術のご紹介がありました。

　3番目の講演では「AIとニューロテックの融合によるブレイン・マシーン・インタフェースとデジタルツイン神経科学」というタイトルで株式会社アラヤ NeuroAI事業部 ペルソナチームリーダー 濱田 太陽様から、生成AIの発展により人と機械、脳とネットワークが融合する新たな情報基盤が生まれつつあり、そこで注目されているブレイン・マシン・インタフェース（BMI）とデジタルツイン神経科学のインパクトとその課題についてご紹介いただきました。

写真4　 SSN研究開発公開シンポジウム
「マイクロナノが支えるフロンティア領域」

●1月29日15:45～16:30
　MEMS協議会フォーラム
　＠会議棟１０２会議室

本フォーラムでは、我が国MEMS産業の再興を目指して議論を続けているMEMS事業者連携委員会の取組みを中心に、MEMS協議会活動の全容の紹介が行われました。　

「我が国MEMS産業の再興に向けて～MMCの研究開発／委員会活動より～」というタイトルで、弊センター専務理事 長谷川 英一から、日本のMEMS産業の再興に向けた戦略と展望について紹介がありました。かつて世界シェアの2割を誇った日本が現在は1割以下まで落ち込んでいる現状を受け、MEMSを経済安全保障に関わる重要技術として政府の半導体戦略に位置づけていただくことの重要性について説明がありました。具体的には、官民一体となった研究開発プロジェクトの獲得を目指す方針を示し、また、国内のファウンドリ拠点の拡充や人材育成、スタートアップ支援を通じて、国際的な競争力を回復させようというMEMS事業者連携委員会の取り組みなどが紹介されました。

写真5　MEMS協議会フォーラム

　各講演会の会場は満席となり、今回の講演テーマに対する関心の高さがうかがえました。
2026年度は2026年12月16日～18日、東京ビッグサイト西・南ホールで開催を予定しております。

（MEMS協議会　八嶋　昇）

新年のご挨拶（MMC 2025年10大ニュース）

あけましておめでとうございます。

　OECDの最新見通しによれば、2026年の世界経済はトランプ関税や地政学的緊張の影響を受け、成長率は2.9％に鈍化すると予測されています。日本は2025年に成長率1.3％を記録しましたが、高市総理の下での積極的な財政政策や賃上げを背景に、2026年も0.9％のプラス成長を維持する見通しとされています。
　そのような中において、世界の半導体はWSTSの25年12月予測によれば、AI需要を見越したデータセンター投資に連動する形でメモリー製品やGPUなどのロジック製品が半導体市場の成長を牽引し、全半導体では26.3%増の9,754億ドルに、そのうちのSensor & Actuator（MEMSとほぼ同義）は8.7%増の227億ドルに拡大するであろうとされています。我が国政府も経済安全保障の強化、社会課題の解決と持続的な経済成長の実現に向けては、半導体・AI分野が必須であるとしています。

　経済産業省が2025年5月に公開した「半導体・デジタル産業戦略の現状と今後」においては、電子部品やMEMS等も含めて官民で政策のアプローチを検討していくとされております。2023年に当センター内に設置した「MEMS事業者連携委員会」においては、我が国のMEMS再興に向けて国からの支援を確保するべく政策提案に向けての活動を行っています。

　また昨年防衛イノベーション科学技術研究所から受託した「FuMEMTex（テキスタイルと小型デバイスの融合に関する検討役務）」では多機能センサのテキスタイルプラットフォームへの実装に向けた技術のフィージビリティスタディを実施して、有望な技術等を見出す先導研究を行っています。
　さらにMNOIC（マイクロナノ・オープンイノベーションセンター）は、企業からのMEMS製品の工程受託が堅調で、大学・研究機関からの研究受託や企業向け試作支援も増加し、2025年度の事業収入も過去最高となる見込みです。

　さて、当センターでは通算36回目にあたるマイクロナノ分野の展示会である「MEMSセンシング＆ネットワークシステム展2026」を1月28日から1月30日にかけて東京ビッグサイトで開催いたします。
　今回も当センターやMNOICの事業紹介の展示に加え、各種セミナーを開催し、興味深い様々な技術報告を行います。セミナーの冒頭には経済産業省の情報産業課デバイス・半導体戦略室様より半導体・デジタル戦略関連のご講演を、また「マイクロナノが支えるフロンティア領域」のセミナーでは経済産業省のイノベーション政策課様を中心にテクノロジーインテリジェンス、量子センシング、ブレインテックについてのご講演をお願いしております。是非、多くの皆様にご来場いただき、さらなるMEMSの発展のために当センターに対するご指導・ご支援を賜れれば幸いです。

　皆様方には以下のマイクロマシンセンターの2025年の10大ニュースをご覧いただき、このような私どもの活動状況をご賢察いただければ幸いです。

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マイクロマシンセンター
2025年10大ニュース
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１．MEMS事業者連携委員会でMEMS技術の戦略的な重要性など活発な意見交換を実施
　2023年度に始動した「MEMS事業者連携委員会」では、我が国MEMS事業者の再興に向けて議論を行っています。2025年度第1回の委員会では、経済安全保障、人材、ファウンドリ・研究拠点、アプリケーション、研究開発について、前年度に引き続き議論を行いました。第2回では経済安全保障と研究開発に課題を絞り込み、AIロボティクスやフロンティア領域においてもMEMS/マイクロナノ技術は戦略的に重要であることなどの議論がなされました。2月19日開催の第3回において政策提言に向けてのとりまとめを行います。

２．防衛イノベーション科学技術研究所の革新型ブレークスルー研究で「テキスタイルと小型デバイスの融合に関する検討役務（FuMEMTex）」を受託
　受託した「FuMEMTex」について、多機能センサのテキスタイルプラットフォームへの実装に向けた先行技術の調査や国際ワークショップの開催などにより、フィージビリティスタディを実施して、11月に中間報告を終えました。今後、2026年度以降の本格研究に結び付けるべく、引き続き先導研究に力を入れてまいります。

３．未来社会におけるMEMSセンシングデバイスの市場動向及び技術動向調査
　日本のMEMS開発戦略を策定するために、2024年度にNEDOのAI・ロボット部から受託した「未来社会におけるMEMSセンシングデバイスの市場動向及び技術動向調査（SiM ：Study of innovative MEMS for coming society）」として、2035年の社会像からのバックキャスト並びにMEMSの市場及び技術動向からのフォアキャストを基にして、モビリティ、製造・ロボット、ヘルスケアの3分野におけるMEMS研究開発戦略を策定しました。今後、この戦略を基に、研究開発プロジェクト化を目指していきます。

４．MNOIC事業が堅調に推移
　MNOIC（マイクロナノ・オープンイノベーションセンター）は、企業からのMEMS製品の工程受託が堅調で、大学・研究機関からの研究受託や企業向け試作支援も増加し、2025年度の事業収入も過去最高となる見込みです。その一方で持続可能な成長に向けたMEMS製造装置の更新などのインフラ整備にも努めていきます。

５．産業動向調査委員会「フロンティア領域とMEMS/マイクロナノ技術」の調査に着手
　経産省/NEDO事業であるフロンティア育成事業で提示されました、フロンティア領域・技術シーズからMEMS/マイクロナノ技術の貢献が期待されるものを抽出し、それらの開発動向と将来展望についての調査に着手しました。その一環としてMEMS展の中で1月29日に「マイクロナノが支えるフロンティア領域」と題するセミナーを開催します。

６．NEDO先導研究プログラムMESHの開発は順調に推移
　電気通信大学、産総研、当センターで実施中の「メタサーフェスSiハイパースペクトル赤外光センシングデバイス（MESH：Meta Surface Si Hyper spectral infrared light sensing device）」ではプロセス開発並びに試作が計画どおりに進捗しており、当センターではメタサーフェスの試作やマイクロ工学系との融合等を担当しています。チームとしては2026年度以降の研究継続に向けて、研究開発のとりまとめに注力しています。

７．MEMS展2025は盛況裡に終了
　　（MEMS展2026は2026年1月28日～30日開催）
　「MEMSセンシング＆ネットワークシステム展2025」を2025年1月29日～31日に、東京ビッグサイトで開催し盛況の内に閉幕しました。来場者は42,089名に上りました。MMCブースでは、各種事業の展示を行いましたが、特に上述のSiM調査の成果パネルへの反響は高いものとなりました。また会議棟で開催した各セミナーはいずれも満席となり、関心の高さがうかがえました。MEMS展2026も1月28日～30日、東京ビッグサイト西2ホールで開催を予定しておりますので、奮ってのご参加よろしくお願いいたします。

８．MEMS協議会・海外調査報告会の開催や第28回国際マイクロマシンサミット2025への参加等、国際交流事業を活発化
　海外調査報告会を3月26日にハイブリッドで開催し、200名以上の方にご参加いただき、PNT Technologiesの山下雅樹氏を特別講師とし「タイミングデバイスの世界動向」の特別講演をいただくとともに、MMC事務局からはIEEE MEMS2024、2025やAPCOT2024等の国際会議報告や標準化国際会議報告などを行いました。また、国際マイクロマシンサミット（2025年6月2日～5日、モントリオール）には東京大学伊藤寿浩教授をチーフデリゲイトとして参加しています。そのほかにも国内外の国際会議等に積極的に参加し、国際交流事業を活発に実施しました。

９． MEMSの国際標準化事業を積極的に推進

（１）フレキシブルMEMSデバイスの国際標準化に関し「IEC1906賞」受賞

IEC TC47/SC47F（MEMS）国内審議団体である当センターが組成したフレキシブルMEMSデバイスに関する国際規格起案検討委員会委員である近畿大学 宍戸 信之准教授がフレキシブルMEMSデバイスの信頼性試験法に関する国際規格制定への貢献が認められ、「IEC1906賞」を受賞されました。

（２）IEC TC47国際標準化全体会議が東京で開催

IEC TC47（半導体分野技術委員会）の国際標準化全体会議が、11月17日～21日に東京で開催され、SC47F（MEMS分野）に関する会議に当センターは国際幹事として参加しました。TC47/SC47F/ WG1-3&MT1会議には各国から33名（日本5名、韓国19名、中国7名、他2名）が参加し、国際規格制定に向け審議を前進させることができました。

１０．マイクロマシンセンター/MEMS協議会で官民の積極的な交流を実施
　2025年度、日立製作所の 鮫嶋茂稔 執行役常務（CTO） がマイクロマシンセンター理事長に就任され、新体制が始動しました。6月にはMEMS協議会・推進委員会、12月にはMEMS懇話会を開催し、経済産業省、NEDO、産総研と会員企業の委員との間で、我が国MEMS産業の再興などを中心に、活発な意見交換を行いました。

MEMSセンシング＆ネットワークシステム展2025 開催報告 （2025年1月29日～1月31日）

　マイクロマシンセンター（MMC）は、2025年1月29日（水）から1月31日（金）までの3日間、東京ビッグサイトで開催された「MEMSセンシング＆ネットワークシステム展」を主催しました。
　MMCブースでは、研究開発プロジェクトとして「未来社会におけるMEMSセンシングデバイスの市場動向及び技術動向調査（中間報告）(SiM: Study of innovative MEMS for coming society)」、「メタサーフェスSiハイパースペクトル赤外光センシングデバイス (MESH: Metasurface Si Hyperspectral Infrared Sensing Device)」、「MEMS事業者連携委員会」の紹介を始め、MNOIC事業、標準化事業、調査研究事業などを展示しました。

写真1　MMC展示ブース

　ブース展示とともに例年通り各種講演会も開催いたしました。1月29日は特別シンポジウム「MEMS・半導体次世代テクノロジーフォーラム」、1月30日は午前にTIA-MEMSウインターセミナー／MEMS講習会、午後に研究開発プロジェクト／SSN研究会公開シンポジウム、MEMS協議会フォーラムを開催しました。

●1月29日10:15～12:15
　特別シンポジウム「MEMS・半導体次世代テクノロジーフォーラム」
　＠東５ホール　シーズ＆ニーズセミナーA

　本シンポジウムでは、MEMS、センサの実用化・応用先として期待される次世代テクノロジー（半導体、5G、IoT、DX、ロボット、AIなど）にフォーカス。次世代MEMS・半導体市場、最先端のMEMS・半導体技術が社会および産業に貢献するビジョンや方向性について、政策動向や最新情報を報告しました。

　まず「半導体・デジタル産業戦略の現状と今後」と題して、経済産業省情報産業課デバイス・半導体戦略室 室長 清水英路様から、我が国半導体産業復活の基本戦略として、我が国の半導体の安定的な供給に向けた先端半導体の製造基盤確保についてと経済安保推進法に基づく先端電子部品サプライチェーンの強靭化について説明がありました。またパッケージ技術、AI半導体設計技術など技術開発の重要性と人材育成の必要性についても説明がありました。さらに国としては経済安全保障の観点から半導体、電子部品に広げてきた支援策をさらにMEMSにも広げていきたい旨のお話もありました。

　次に富山大学下山勲学長の代理で、富山大学准教授 野田堅太郎様から「MEMS × エッジ処理チップ一体化で広がるアプリケーション」として、MEMSで収集した大量のデータをエッジ処理して特徴データだけを抽出する機能を一体化チップとして構築できると、様々なアプリケーションに適用することが可能であると、インフラモニタリング、モーションキャプチャ、血流測定等の例を挙げて紹介いただきました。

　3番目の講演は、「センシングシステムの研究開発動向」というタイトルで、産業技術総合研究所センシングシステム研究センター副研究センター長 吉田学様から、産総研で開発してきたセンシング技術、センサ製造技術とその適用事例の紹介と、今後それらの技術を活かした半導体産業への貢献、展望について紹介いただきました。

　本フォーラム最後は「0-100vol.%で高精度・高信頼性を実現したMEMS水素センサが切り拓く水素社会」と題して、ローム株式会社基幹技術研究開発部技術主幹 赤坂俊輔様から、カーボンニュートラルの実現に大きく貢献する水素エネルギーの利用において、社会実装のために必要な高精度なセンシングと高い信頼性を備えた、ロームが取り組む高精度熱伝導式水素センサの技術と開発の方向性、期待されるアプリケーションについて紹介いただきました。

写真2　特別シンポジウム

●1月30日10:30～12:15
　TIA MEMS ウインターセミナー/MEMS講習会
　＠会議棟６０６会議室

　例年通り、主に学生や若手技術者向けにTIAの次世代育成事業に協力して実施するTIA-MEMSウインターセミナー MEMS講習会を開催しました。

　まず「見えない分子を可視化するMEMS分子認識センサ」と題して、豊橋技術科学大学次世代半導体・センサ科学研究所教授 高橋一浩様から、全国の大学で唯一、半導体LSI-MEMSの一貫製造が可能な施設を有している豊橋技術科学大学の開発環境と人材育成の環境の紹介と、この施設で開発したMEMSセンサとして、家庭において体温計や体重計の感覚で病気を測るセンサシステムや感染症対策のための環境計測型センサを紹介いただき、またこれらのセンサを適用した在宅検査・遠隔医療のアプリケーションについても紹介いただきました。

　次に「マルテンサイトエピタキシー」と題して、株式会社Gaianixx CSO 木島健様から同社のコアテクノロジーである「マルテンサイトエピタキシー」の紹介がありました。「マルテンサイトエピタキシー」では従来困難とされてきた多層での高品質単結晶化を「多能性®中間膜」と「動的格子マッチング」で可能とし、分野を問わず既存デバイスの飛躍的な革新に貢献できるデバイスの提供が可能であるとの説明がありました。

※株式会社Gaianixx: 半導体の高付加価値化、軽薄短小化、低価格化実現に必要不可欠な単結晶膜を、独自に多能性®中間膜を駆使して開発製造する東京大学発のスタートアップ企業。

　3番目の講演は、「低消費電力MEMSセンサ・回路の協調最適設計技術」題して、産業技術総合研究所先端半導体研究センター主任研究員・ラボチーム長 秋田一平様から、IoT時代におけるセンサ・アクチュエータにおいて、その機能や性能を効率よく引き出すために重要な役割を担っているアナログフロントエンド回路の低消費電力設計の手法であるMEMSセンサ・回路の協調最適設計技術について紹介いただきました。

写真3　TIAウインターセミナー

●1月30日13:30～15:00
　研究開発プロジェクト成果報告会／SSN研究会公開シンポジウム
　＠会議棟６０６会議室

　本報告会では、持続可能な社会の実現を目指してマイクロマシンセンターが現在取り組んでいる新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）の調査委託で2024年度に受託した「未来社会におけるMEMSセンシングデバイスの市場動向及び技術動向調査」の中間報告並びにアプリケーション技術についての報告がなされました。

　冒頭、本プロジェクトのご担当であるNEDO AIロボット部量子チーム主任 永井弥夕様からご挨拶として、本プロジェクトは2035年の未来社会において求められるMEMSセンシングデバイスの仕様や開発すべきMEMS技術を明確にして日本のMEMS研究開発戦略の策定を担うために行う調査である旨の紹介がございました。

　1番目の講演として「MEMSセンシングデバイスの市場・技術動向と2035年の将来像」というタイトルで三菱UFJリサーチ＆コンサルティング株式会社デジタルトランスフォーメーション推進部 岩﨑拓也様から、本プロジェクトは現在のフォアキャストと2035年からのバックキャストから2035年の将来像の想定を行うため、フォアキャスト情報としての現在の市場動向と技術動向、バックキャスト情報として現在検討を行なっているMEMSセンシングデバイスが実現する2035年の未来社会像の紹介をするとともに、2035年に期待されるMEMSデバイスについての紹介がありました。

　次に「医療におけるビッグデータ、AI・DX活用について」というタイトルで国立循環器病研究センター予防医学・疫学情報部部長 西村邦宏様から、AI革命の開始から20年間で様々な医療分野においてビッグデータ、ディープラーニング、DX化が急速に普及しつつある中、国立循環器病研究センターが行っているビッグデータ、ディープラーニング等の活用事例並びに将来展望について紹介がありました。

　3番目の講演では「労働者不足課題に対するCPSを基盤としたIoT、AI、ロボット活用」というタイトルで産業技術総合研究所 情報・人間工学領域インダストリアルCPS研究センター 研究センター長 谷川民生様から、少子高齢化が進むことにより生産年齢人口の減少から生じる人手不足が現在の社会的課題であり、この課題を解決するための、労働集約型産業においては生産性維持のためにサイバーフィジカルシステム（CPS）を基盤としたIoT、AI、ロボット技術を活用した人と機械の協調システムの必要性、並びに現在産総研が検証を行っているシステム事例を紹介いただきました。

写真4　研究開発プロジェクト成果報告会/SSN研究開発公開シンポジウム

●1月30日15:15～16:35
　MEMS協議会フォーラム
　＠会議棟６０６会議室

　本フォーラムでは、MEMS協議会として長年続けている「国内外技術調査」とMMCが現在進めているMEMS再興に関する議論について最新の報告がありました。

　まず、「最新の国際会議を通してみるMEMS関連研究の動向」というタイトルで、長年MEMSの国際会議運営に携わってきた立命館大学理工学部 小西聡先生から、最近のMEMS関連国際会議からIEEE MEMS2024、APCOT2024を取り上げ、これまでとの比較も含めた国際学会発表の分析結果についてわかりやすく紹介いただきました。

　次に、「我が国MEMS産業の再興に向けて～MEMS事業者連携委員会の活動より～」というタイトルで、弊センター専務理事 長谷川から、MEMS産業の動向とMEMS事業者連携委員会で行っている我が国MEMS産業再興にむけての議論についての紹介がありました。また現時点での議論として、経済安全保障の対象にMEMSを含めてもらうべく経済産業省に働きかけているとの説明がありました。

写真5　MEMS協議会フォーラム

　各講演会の会場は満席となり、今回の講演テーマに対する関心の高さがうかがえました。
2026年度は2026年1月28日～30日、東京ビッグサイト南・西ホールで開催を予定しております。

 （MEMS協議会　八嶋　昇）

新年のご挨拶（MMC 2024年10大ニュース）

　新年あけましておめでとうございます。

 　OECDの世界経済見通しによれば、2024年は世界経済の成長率が3.2％であったところ、2025 年は貿易摩擦や保護主義の高まり、地政学的紛争激化などのリスクもあり、インフレは和らいだものの、3.3％に留まるとの予想をしています。日本については、24年はマイナス0.3%と、G7中最低であったところ、景気刺激策を追い風に25年は1.5%のプラス成長を回復するとされています。

　そのような中において、世界の半導体はWSTSの24年12月予測によれば、全半導体では11.2%増の6,871億ドルに、そのうちのSensor & Actuator（MEMSとほぼ同義）は7.0%増の200億ドルに拡大するであろうとされています。我が国政府も社会課題の解決と持続的な経済成長の実現に向けては、DX・GXの推進を中心に据え、それを支える柱の一つがAI・半導体であるとしています。

　経済産業省においても、半導体・デジタル産業を「国家事業」と位置づけ、2021年6月に策定した「半導体・デジタル産業戦略」を「経済安全保障推進法」とも関連させて発展させ、その政策的支援を加速されているところですが、MEMSもその波に乗せていただくべく、2023年に当センター内に設置しました「MEMS事業者連携委員会」において、我が国MEMS再興についての検討を精力的に進めています。ただ、現時点ではMEMSは半導体の中で唯一、経済安保の枠外という状況にあることから、その点も含め、さらに議論を深めてまいります。

　また、昨年NEDOから受託しました「未来社会におけるMEMSセンシングデバイスの市場動向及び技術動向調査（SiM）」事業において、2035年を視野とするMEMS研究開発戦略の議論を深めており、これもMEMS再興への一つの重要な活動と位置付けています。

　さらにMNOIC（マイクロナノ・オープンイノベーションセンター）では、老朽化設備の更新を引き続き産業技術総合研究所にお願いしつつも、自前での新規設備投資も行い、MEMSの研究支援や工程受託などのユーザーのご要望に的確にお応えできるよう、運営に努めてまいります。

　さて当センターでは通算35回目にあたるマイクロナノ分野の展示会である「MEMSセンシング＆ネットワークシステム展2025」を1月29日から31日にかけて東京ビッグサイトで開催いたします。今回も会場でのセンターの活動紹介、MNOICの紹介、研究開発報告とともに、各種セミナーを開催し、興味深い様々な技術報告を行います。セミナーの冒頭には経済産業省の情報産業課デバイス・半導体戦略室長に半導体・デジタル戦略関連のご講演をお願いしております。是非、多くの皆様にご来場いただき、今後のMEMSの発展のために当センターに対するご指導・ご支援を賜れれば幸いです。
　皆様方には以下のマイクロマシンセンターの2024年の10大ニュースをご覧いただき、このような私どもの活動状況をご賢察いただければ幸いです。

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マイクロマシンセンター
2024年10大ニュース
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１．報告書「我が国MEMS事業者の動向に関する調査」に基づき「MEMS事業者連携委員会」で活発な意見交換を実施
（１）「我が国MEMS事業者の動向に関する調査」報告書を3月にリリース
　産業動向調査委員会は、我が国MEMS産業の再興のため改めてMEMS事業者の動向調査を行い、国内MEMS関連事業者73社、大学・公的研究機関40機関の協力を得て2024年3月に報告書「我が国MEMS事業者の動向に関する調査」並びに調査に協力いただいた法人のディレクトリをまとめました。
（２）MEMS事業者連携委員会で活発な意見交換
2023年11月から始動したMEMS事業者連携委員会では、前述の報告書の中で「MEMS戦略に関する期待」として整理された事項から、我が国のMEMS事業者が抱えている課題の抽出を行い、2024年は委員会を3月、6月、11月に開催し我が国MEMS産業の再興に向けた方向性をめぐって活発な意見交換を行いました。引き続き次回委員会（3月12日開催）ではこれまでの意見を集約し政策提言に向けてのとりまとめを行います。

２．２つのプロジェクト（HS-ULPACとBaMBI）が所望の成果をもって終了
（１）量子干渉効果による小型時計用発振器の高安定化の基礎研究（HS-ULPAC）
防衛装備庁令和元年度安全保障技術研究推進制度の中で「量子干渉効果による小型時計用発振器の高安定化の基礎研究（HS-ULPAC）」のプロジェクトを2020年3月から2023年度まで実施して参りました。この度2024年3月31日をもって、ほぼ所期の目標を達成して終了いたしました。
（２）血中成分の非侵襲連続超高感度計測デバイスおよび行動変容促進システムの研究開発（BaMBI）
2019年度にNEDO委託事業「IoT社会実現のための革新的センシング技術開発」の中でスタートした本事業は2022年度からは株式会社タニタ様主導の2年間の助成事業として継続、この度2024年3月31日に終了いたしました。当センターはウェアラブル中・遠赤外ディテクタプロセス試作を行い、非侵襲で血中成分のトレンドを追うことが可能な試作機を構築することができました。

３．NEDO「未来社会におけるMEMSセンシングデバイスの市場動向及び技術動向調査」を受託
　2024年度に受託した本調査事業では、富山県立大学の下山勲学長を委員長に、東京大学の伊藤寿浩教授と東北大学の田中秀治教授を副委員長とする有識者委員会での議論及び有識者へのヒアリング調査等を通じて、2035年の社会像からのバックキャスト及びMEMS市場/技術動向からのフォアキャストから、日本のMEMS研究開発として実施すべき項目を抽出するとともに、フィージビリティスタディでその研究開発内容を明らかにして、日本のMEMS研究開発戦略を策定しています。

４．MEMS展示会並びにセミナーは来場者増で盛況に終了
例年通り当センターが主催する「MEMSセンシング＆ネットワークシステム展」を2024年1月31日から2月2日までの3日間、東京ビッグサイトで盛況裡に開催しました。会場への来場者は前回より1万人以上多く、MMCブースでは、研究開発プロジェクトの紹介をはじめ、MNOIC事業、標準化事業、MEMS事業者連携委員会の概要などを展示しました。また当センター主催のセミナーは全て展示ホール内のセミナー会場で行われましたが、どのセミナーも満席となるほど盛況で、今回の講演テーマに対する関心の高さがうかがえました。2025年は1月29日～31日、東京ビッグサイト東ホールで開催を予定しております。奮ってのご参加をよろしくお願いいたします。

５．NEDO先導研究プログラム「MESH」の開発は順調に進捗
　電気通信大学、産業技術総合研究所と当センターの連名で実施中の「メタサーフェスＳｉハイパースペクトル赤外光センシングデバイス」ではプロセスの開発並びに試作が計画通りに進捗しており、当センターではメタサーフェスの試作やマイクロ工学系との融合等を担当しています。

６．MNOIC事業は堅調に推移
　MNOICユーザーの現行製品の継続的な製造および次期製品に向けた開発試作等を請け負う工程受託が堅調に推移している一方で、産総研との連携による研究受託や企業ユーザー向けの研究試作支援など、将来の高機能MEMSデバイスを目指した取り組み案件も着実に増加しています。また、工程の効率化を図るため、新たにリフトオフ装置、レーザマーカ、チップソータを導入し稼働を開始しています。

７．MEMS協議会・海外調査報告会の開催や第27回国際マイクロマシンサミット2024への参加等、国際交流事業を活発化
　新型コロナの影響で5年ぶりの開催となった海外調査報告会を3月4日にハイブリッドで開催し、オンライン109名を含む137名の方にご参加いただき、世界の最新MEMS動向等を広く紹介しました。また、当センターが1995年に開始した国際マイクロマシンサミットも第27回を数え、MEMS協議会副会長の東京大学伊藤寿浩教授をチーフデリゲイトとして、2024年5月、オーストラリアのゴールドコーストに派遣しました。そのほかにも国内外の国際会議等に積極的に参加し、国際交流事業を活発に実施しました。

８．2024年度MEMS協議会・推進委員会とメンバー交流会を開催
　7月10日、虎ノ門APの会場にて2024年度MEMS協議会・推進委員会を開催しました。経済産業省の清水情報産業課デバイス・半導体戦略室長から半導体政策の全体像についてご紹介いただいた後、2024年度の協議会活動、プロジェクトの状況等も含め、出席者の間で活発な意見交換が行われました。委員会終了後はMEMS協議会のメンバー交流会を開催し、ご参加いただいた50名以上の方々の間で、様々に情報交換や懇談が行われました。

９． MEMSの国際標準化事業を積極的に推進
　2021年度に国から受託した国際標準化事業では、薄膜圧電MEMSについての「Temperature and humidity test methods for piezoelectric MEMS cantilevers」と、フレキシブルMEMSデバイスについての「Test method of electrical characteristics under two-directional cyclic bending deformation for flexible micro-electromechanical devices」をIEC（国際電気標準会議）/TC47（Semiconductor devices）/SC47F（MEMS）に提案し承認を受けるという目標を達成し、2024年2月末に終了しました。当センターはSC47F国内審議団体として日本提案の規格案への理解獲得のためIEC会議等で積極的な活動を推進し、IEC/TC47/SC47Fでこれまでに発行されたMEMSに関する国際規格42件のうち、18件を日本提案規格とすることができています。

１０．技術研究組合NMEMS技術研究機構の解散
　2011年7月に設立以降、多くの組合員が参加し、9つのプロジェクトを実施してまいりましたが、組合員の技術水準の向上を図るという所期の目的を達成することができましたので、2024年3月27日に開催されました臨時総会におきまして解散することが決議され、2024年3月31日をもって組合は解散いたしました。13年間に亘るご支援・ご協力、誠に有難うございました。

JCK MEMS/NEMS 2023 参加報告

9月17日（日）から9月20日（水）に韓国済州島Ocean Suites Jeju HotelのCanola Hall & Cherry Hall で開催されましたJCK MEMS/NEMS 2023に防衛装備庁安全保障技術研究推進制度の成果報告のため参加しましたので、報告致します。JCK MEMS/NEMSは日本―中国－韓国のMEMS/NEMS（Micro Electro Mechanical Systems / Nano Electro Mechanical Systems）に関するジョイントの会議で、今回が第14回目になります。 日本、韓国、中国の順に持ち回りで開催しており、新型コロナのため、2019年の旭川での開催以来4年ぶりに日本、中国、韓国から研究者が集まっての本格的な対面での会議になりました。

ジェネラルチェアはKIMM(Korea Institute of Machinery & Materials)のDr. Jeongdai Joで、参加者は約60名でした。以下に示す日本、中国、韓国から各1件のプレナリートークと17件の招待講演（日本:3件、中国:4件、韓国:10件）、8件の口頭発表（日本:5件、中国:0件、韓国:3件）、19件のポスター発表（日本:5件、中国:5件、韓国:9件）の計47件の発表があり、MEMS/NEMS分野の最新の研究発表に関して活発な議論がなされました。日本のプレナリートークは富山県立大学の下山学長による「MEMSピエゾ抵抗力センサの応用」でした。

【プレナリートーク】
① Application of MEMS piezo-resistive force sensors (President. Isao Shimoyama, Toyama Prefectural University, JAPAN)
② Empowering MEMS: A journey towards self-powered MEMS technologies (Prof. Jeju National University, KOREA)
③ MEMS techniques towards self-powered sensing and human-machine interaction (Prof. Huicong Liu, Soochow University, CHINA)

国別の発表では韓国22件、日本13件、中国9件で、地元の韓国からの参加者が多いのは当然のことながら、中国からの参加者が少し少なく、何件かはビデオ発表になっていました。詳細のプログラムは以下のURLに記載されていますが、各種センサの応用、パッケージング、加工技術に関する幅広い技術の発表が行われました。韓国、中国のプレナリートークを含め、エネルギーハーベスター関連の発表が少し多かった気がします。

https://www.jckmemsnems2023.com/program

富山県立大学の下山学長のプレナリートークの様子、会場及びポスター発表の様子、集合写真を写真1～写真4にそれぞれ示します。

 

 写真1　下山学長のプレナリートークの様子

 

　　　　　　　写真2　会場の様子

 

　　　　　写真3　ポスター発表の様子

　　　　　　　　写真4　集合写真

今回私は、防衛装備庁が実施する安全保障技術研究推進制度JPJ004596 の委託事業「量子干渉効果による小型時計用発振器の高安定化の基礎研究（HS-ULPAC : High Stability Ultra Low Power Atomic Clock ）」におけるMEMS技術を活用した耐振動性を有する新しい小型原子時計量子部の試作成果（Development of miniaturized vibration-resistant physics package for chip-scale atomic clock）について口頭発表し、HS-ULPACの技術力の高さをアピールして、研究成果の広報ができたと考えます。

また、テクニカルツアーして、KIER(Korea Institute of Energy Research)の地域組織あるJGRC(Jeju Global Research Center)を訪問ました。済州島には韓国初の陸上及び洋上風力発電機が建設されており、JGRCは陸上・海上の新エネルギーと再生可能エネルギー源を組み合わせたコア技術の開発、統合実証プラットフォームの構築、技術開発のためのグローバル人材の試験・交流・育成の3つの目標を掲げて設立されました。JGRCの概要の説明を受けるとともに、大型風洞や加速腐食試験機等を見学しました。

次回のJCK MEMS/NEMS 2024は2024年9月中旬に中国の成都市で開催されることがアナウンスされました。

　　　　　　　　　　　　　（MEMSシステム開発センター長　武田　宗久）

新年のご挨拶（MMC／NMEMS 2022年10大ニュース）

　新年あけましておめでとうございます。
　本年もMEMS・スマートセンシング技術の開発や普及に真摯に取り組み、国の目指す Society5.0 の実現に向けて微力ながらも貢献してまいりますので、引き続きご指導、ご鞭撻の程、よろしくお願い申し上げます。

　昨年は1月にマイクロマシンセンターの創立30周年を迎え、MEMSの過去30年を振り返るとともに、今後20年の展望をいたしました。それに従い、DX、GXの流れも踏まえつつ、新たなプロジェクトの模索などを行ってきましたが、コロナ禍もなかなか終息を見ず、ロシアによるウクライナ侵攻や急速な為替変動など、我々を取り巻く環境は引き続き厳しいものがあり、その道筋は容易なものではありませんでした。
　それでも、JEITAが12月に発表した「電子情報産業の世界生産見通し」によれば、2023年の世界生産は3.5兆ドルを超え、過去最高を更新する見通しとなっています。この明るい兆しのもと、当センターは今年もDX、GXの推進に不可欠な各種MEMSセンサの開発の一環として、非侵襲で血中成分を計測するBaMBIプロジェクトや、小型原子時計の基礎研究であるHS-ULPACプロジェクトなどを推進するとともに、「環境調和型MEMS（EfriM）」のインフラ・防災分野等への適用や、ウェルビーイング社会の実現に資する「感情・共感センシングシステム」などの新プロジェクト化を目指してまいります。
　一方、昨年秋から当センターはこれまでの経済産業省産業機械課様に代わって情報産業課様の所管法人となりましたので、半導体の一部としてのMEMS（半導体全体の3～4％と規模は小さいものの）という新たな認識にも立って、その振興を図ってまいりたいと思います。当センターの有するMEMSミニファンドリーとしてのMNOIC（マイクロナノ・オープンイノベーションセンター）においても、MEMSの研究支援や工程受託などを継続して行いつつも、我が国半導体業界再興の末端を担うべく、最先端の設計・製造技術を磨いていく所存です。

　さて、当センターでは通算33回目にあたるマイクロナノ分野の展示会である「MEMSセンシング＆ネットワークシステム展2023」を2月1日から3日にかけて東京ビッグサイトで開催いたします。今回もセンターの活動紹介、MNOICの紹介、研究開発報告とともに、各種セミナーを開催し、興味深い様々な技術報告を行います。セミナーの冒頭には新たに所管いただく経済産業省情報産業課長様に半導体戦略関連のご講演をお願いしております。是非、多くの皆様にご来場いただき、今後のMEMSの発展のために当センターに対するご指導・ご支援を賜れれば幸いです。

　皆様方には以下のマイクロマシンセンターの2022年の10大ニュースをご覧いただき、このような私どもの活動状況をご賢察いただければ幸いです。

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マイクロマシンセンター／NMEMS技術研究機構
2022年10大ニュース
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１．2022年1月にMMC創立30周年を迎え、記念誌を発行
（「MEMSの過去30年と今後20年の技術展望」を収載）
　2022年1月23日に当センターは創立30周年を迎えました。毎年MEMS産業を取り巻く各種環境などを取り上げて、産業動向調査報告を行っていますが、昨年は当センター30周年ということもあり、これから益々のMEMS技術・産業の発展に資するため、過去30年を振り返り、この先20年を展望するという形の調査報告書を作成し「30周年記念誌」として3月に刊行し、会員法人の皆様と関係各所に配布いたしました。

2．MEMSセンシング＆ネットワークシステム展2022
の中で「MMC創立30周年記念講演会」を開催
（パネルディスカッションに神永氏、江刺氏、下山氏、金丸氏がご登壇）
　2022年1月28日にMEMSセンシング＆ネットワークシステム展2022の中でMEMSの過去30年の歴史と今後20年の技術展望をテーマとした創立30周年の記念講演会を開催しました。午前中の第一部では主に学生や若手技術者向けに「TIA-MEMSウィンターセミナー　MEMS講習会」を開催するとともに、午後の第二部では、MMC30周年特別企画として、30年の歴史をMEMSなどの微細加工、製造技術の進歩とともに振り返り、未来へ続いていくために必要なことを、産業界、大学、国立研究所を代表する方々による基調講演とパネルディスカッションで展望しました。

3．MNOICの活動
　現行製品の継続した製造や実用化に向けたサンプルの試作などを請負う工程受託の急増に加えて、産総研と連携した研究受託や企業ユーザの研究支援など、将来のMEMS産業活性化に向けた取組み案件も着実に増加しています。2022年MEMS研究開発支援事業は約120件を獲得し堅調に推移しました。
　本年の顧客のご利用傾向としましては人の流れの回復基調を反映してかクリーンルーム立入り利用を含む研究支援コースの新規契約10件を獲得し、利用増加しました。

4．コロナ禍の中もMEMS展を継続して開催
　1月28日から30日の3日間に亘り「MEMSセンシング＆ネットワークシステム展」を開催しました。今回で通算32回目の展示会となりました。今回の展示会はセンターが設立30周年を迎えるにあたり、例年通りのセンター、MEMS協議会、MNOIC、技術研究PJのブース展示のほかに、特別展示として今後20年のMEMS技術の展望として、MEMSの応用が期待される12分野と、予測されるMEMSデバイス・技術の展示紹介も行いました。

5．HS-ULPAC、BaMBIを順調に継続
HS-ULPAC
　移動体に搭載可能な高精度原子時計を実現するため、周波数変動要因を根本から解明するとともにプロトタイプを試作して実証・評価しています。MMCでは2022年度は最終評価に向け、
ＭEMSガスセル、実験室モデル量子部、プロトタイプ真空断熱型量子部の2次試作を行っています。
BaMBI
　2019年に始動した3年間のNEDO委託事業の結果、ステージゲートを通過し、2022年度からは事業化を目的とした株式会社タニタ主導の2年間の助成事業に進んでいます。非侵襲の血糖・脂質のディテクタ開発も順調に推移しています。

6．SNIFを終了
　2019年に始動したNEDO委託事業を2021年10月からオムロン主導の研究開発に切り替え、2022年6月に計画通り小型ウェアラブル計測端末の動作モデルの構築を終え、研究開発を終了しました。今後も医科歯科大学が中心となって、この成果の実用化に向けて、連携先などを募ってまいります。

7．活発なSSN研究会活動により次期プロジェクトの立案が進む
　新規国プロ獲得を目指して、SSN研究会のWG9において「環境調和型MEMS（EfriM : Environment friendly MEMS）」、WG10において「感情センシングPF」活動を推進し、NEDO先導研究や内閣府次期SIPのRFIへの提案を行うとともに、関連技術のブラッシュアップを行って、新規国プロの公募に応募すべく準備を進めています。
　WG9（EfriM-WG）では、2022年度は農業、インフラ、防災に関する3回の応用分野のWGを開催し、2022年度中にNEDO先導研究等への提案を予定しています。
　WG10（感情センシングWG）では、センサーフュージョンによる特徴量抽出アルゴリズム、生体信号による感情推定、脳波・脳活動センサ、共感状態の推定等に取組んでいる研究者をメンバーに迎え、感情センシングプラットフォームの価値、社会実装の実現に向けた枠組み等について議論を進めていきます。

8．国際標準化全体会議開催 及び 新規標準化委託事業の開始
　IEC（国際電気標準会議）/TC47（半導体分野技術委員会）の国際標準化全体会議が、10月31日から11 月4日まで、サンフランシスコのHilton San Francisco Union Square Hotelで開催され、SC47F（MEMS分野）と、TC47/WG7（半導体デバイス エネルギーハーベスタ、エネルギー変換・伝送分野）に関する会議に参加しました。久しぶりの対面会議であったこともあり、各国主査等と会議前後の時間に交流を図ることができ、充実した会議となりました。
　また、経済産業省「令和 4年度省エネルギー 等に関する国際標準の獲得・普及促進事業委託費」に、マイクロマシンセンター、兵庫県立大学、神戸大学と東京大学が共同で提案しました「振動発電エネルギーハーベスタの信頼性評価に関する国際標準化」が採択され、国際規格の開発を開始しました。

9．国際交流活動を徐々に再開
　新型コロナの影響で制限されていた国際交流活動に関しては、マイクロマシンサミットが3年連続で延期になる等、未だ影響は残っていますが、各国の入国制限が緩和され、国際会議もオンライン開催からハイブリッド開催に移行されだして徐々に再開の兆しが見えてきました。
　4月のMEMSエンジニアフォーラムにもMMCとして出展いたしましたし、MMCでも海外アフィリエートであるスペインカタルーニャ州政府貿易投資事務所と連携して、IOT Solution World Congressのアンバサダーになる等国際交流活動を徐々に再開しました。

10．役員改選による新体制始動と経済産業省の所管課が変更
　2022年度は当センター役員の改選期にあたり、理事長を2期4年にわたりお務めいただいたデンソー株式会社元取締役副社長の山中康司様がご退任され、7月に開催しました理事会において、株式会社日立製作所執行役常務の鈴木教洋様が理事長にご就任されました。
　また、当センターは、設立以来経済産業省製造産業局産業機械課の所管団体でありましたが、同省の組織規定類の改正に伴い、商務情報政策局情報産業課の所管団体に変更となり、半導体・デジタル産業戦略の末端を担っていくこととなります。

MEMSセンシング＆ネットワークシステム展2022 開催報告 （2022年1月26-28日）

　マイクロマシンセンター（MMC）は、2022年1月26日から28日までの3日間、東京ビッグサイトで開催された「MEMSセンシング＆ネットワークシステム展」に出展しました。

写真１　MMC展示ブース

　MMCブースでは、技術研究プロジェクトとして、2019年度から開始した「量子干渉効果による小型時計用発振器の高安定化の基礎研究（HS-ULPAC:High Stability Ultra Low Powe Atomic Clock）」と2020度から開始した「環境調和型MEMS技術の研究開発に関する戦略策定（EfriM: Environment friendly MEMS）」、今年度から自主検討を始めた「感情センシング・フィードバックシステムの戦略策定」の紹介を初め、今年度で研究を終了した「超高効率データ抽出機能を有する学習型スマートセンシングシステム(LbSS：Learning based Smart Sensing System)の研究開発」、今年度で研究を終了する「薄膜ナノ増強蛍光による経皮ガス成分の超高感度バイオ計測端末の開発」を展示し、自社事業として、MNOIC事業、標準化事業、SSN研究会の概要などを展示しました。
　また、ブース入口には「マイクロマシンセンター　活動の歩み」として、前述の５つのプロジェクトを含む、1991年のマイクロマシン技術研究開発プロジェクトからほぼ30年間に渡る研究開発PJの歴史を展示紹介しました。あわせて2022年1月でマイクロマシンセンターは設立30年を迎えるにあたり、今後20年のMEMS技術の展望として、MEMSの応用が期待される12分野と、予測されるMEMSデバイス・技術の展示紹介いたしました。

写真２　活動の歩みと今後20年のMEMS技術の展望

　展示会では、各種講演会も開催いたしました。1月26日は特別シンポジウム「MEMS次世代テクノロジーフォーラム」、1月27日は午前中に研究開発プロジェクト、午後にSSN研究会公開シンポジウム、1月28日はMEMS協議会「MMC創立30周年記念講演会」を開催しました。

●1月26日10:30-12:30：
　特別シンポジウム「MEMS次世代テクノロジーフォーラム」＠東3ホール

　本シンポジウムでは、MEMSの実用化・応用先として期待される次世代テクノロジー（5G、IoT、ロボット、AI、バイオ、自動運転など）にフォーカスし、次世代MEMS市場、最先端のMEMS技術が社会および産業に貢献するビジョンや方向性について、最新情報を報告しました。
　まず「現実・仮想空間を融合させる次世代無線通信技術の動向と課題」と題して、東工大　岡田先生から、VIDEO録画にて、第5世代移動体通信システム(5G)をはじめとする次世代無線通信技術の最新動向を解説されました。
　次に村田製作所　吉田部長から、「MEMS技術とデバイスで進歩する社会」として、主に村田製作所で開発したMEMSの事例をあげ、同社での取り組みを紹介しました。
　3番目の講演は、「活かせるデータを取得するためのセンサと高性能化におけるMEMS技術の活躍」というタイトルで、産業技術総合研究所のセンシングシステム研究センター副研究センター長の山下 健一氏からセンシングシステムとして活用し続けるため必要なMEMS技術について、報告されました。
　本シンポジウム最後は「住友精密グループが提供する ”MEMSソリューション”」と題して、住友精密の宮島室長から、住友精密グループの力を結集した“MEMSソリューション”提供推進の構想について紹介しました。

写真３　特別シンポジウム

●１月27日10：30～12：00：
　研究開発プロジェクト成果報告会＠102会議室

　防衛装備庁の委託で2019年度から開始した「量子干渉効果による小型時計用発振器の高安定化の基礎研究」の研究センター長であるMMC池上氏から「小型高安定で超低消費電力な原子時計の基礎研究」と題して目標を実現するために克服又は解明すべき要素課題の明示と、解決のための技術確立について報告頂き、次にNEDOプロジェクトで実施中の「血中成分の非侵襲連続超高感度計測デバイス及び行動変容促進システムの研究開発」の概要について電気通信大学の菅准教授とタニタの蔦谷氏から報告頂き、最後に今年度研究を終了した「超高効率データ抽出機能を有する学習型スマートセンシングシステムの研究開発と実証実験成果」と題して東京都市大学藤田教授から最新の研究成果が報告されました。

写真４　研究開発プロジェクト成果報告会

●1月27日13:30-15:30：SSN研究会公開シンポジウム＠102会議室

　感情センシングと環境調和型MEMSの研究開発シンポジウム（SSN研究会公開シンポジウム）では、セッション1-1ではMMCブースで紹介している環境調和型MEMS(EfriM)に関して、「環境調和型MEMS (EfriM: Environment Friendly MEMS) が切り拓く未来」と題して、その概要、ユースケース、開発戦略案等について、プロジェクトリーダーである藤田博之キャノンメディカルシステムズ（株）先端研究所名誉所長／東京都市大学教授からご講演頂き、次のセッション1-2では「次世代MEMS技術を基盤としたデジタルトランスフォーメーション」と題して、柔軟素材・液体金属を用いたウエアラブルセンサの開発とその応用について、太田裕貴横浜国立大学大学院工学研究院准教授からご講演頂きました。
　さらに、セッション2-1では、「感情推定技術とその応用」と題して、接客スタッフの生産性向上のためのウエアラブルセンサやカメラを使ったQoE （Quality of Experience）評価システム、トレーニングシステム、現場支援システムの開発について、佐藤洋産総研人間情報インタラクション研究部門研究部門長からご講演頂き、最後のセッション2-2では、MMCブースで紹介している感情センシングに関して、「生体センシングによる人の感情推定と今後の展望」と題して、心拍・脳波等からラッセルの円環指標をつかって感情を推定する手法やその応用として人とロボットの心地よい距離等について、菅谷みどり芝浦工業大学工学部教授よりご講演頂きました。

写真５　SSN研究会公開シンポジウム

　2022年度は、2023年2月1日（水）～3日（金）、東京ビッグサイト、東ホールで「MEMSセンシング＆ネットワークシステム展2023」の開催を予定しております。

（MEMS協議会　八嶋　昇）

新年のご挨拶（MMC／NMEMS 2021年10大ニュース）

　新年あけましておめでとうございます。

　当センターは本年1月に創立30周年を迎えます。国プロのマイクロマシンの研究開発からスタートし、これまで20ほどの国・NEDOプロを推進してまいりました。また同じく10周年となりますMNOIC（マイクロナノ・オープンイノベーションセンター）では、民間企業等のMEMS研究を支援し、工程を受託するなど、日本のMEMS技術や産業の発展に一定の貢献ができたのではないかと思っております。

　本年もコロナ禍による経済の不透明感は続くと見られており、急激に需要が回復しようとする自動車や情報機器に半導体供給が追い付かないなどの状況はありますものの、国が推進しておりますグリーン成長戦略やデジタル・トランスフォーメーション（DX）において、フィジカル空間をサイバー空間に変換するためのゲートともなる各種MEMSセンサへの期待は益々高まっています。

　当センターでは引き続きNEDOプロにおいて非侵襲で血中成分を計測するBaMBIプロジェクトや、防衛装備庁の委託事業で小型原子時計の基礎研究であるHS-ULPACプロジェクトなどを推進していますが、次の課題として政府のグリーン＆デジタルにも応えるべく、広大な空間を測る技術と今まで測ってこなかったものを測るという技術に挑戦しようと考えています。
　前者が「環境調和型MEMS（EfriM : Environment friendly MEMS）」と呼ぶもので、インフラ、防災、農業分野において、広く環境に無害なMEMSセンサを配置し、それぞれの分野の課題を解決しようというものです。
　後者は人間の5感の次に来る「感情センシング」により、IoH（Internet of Human）システムを構築し、オフィスや作業環境での生産性や快適性、さらには介護分野などに資するフィードバックを与えようというものです。これらも含め当センターでは常に新たな研究開発プロジェクトの提案を目指し、さらなる検討を続けてまいります。

　さて、当センターでは通算32回目にあたるマイクロナノ分野の展示会である「MEMSセンシング＆ネットワークシステム展2022」を1月26日から28日にかけて東京ビッグサイトで開催いたします。ここでは、MEMSの過去30年の歴史と今後20年の技術展望をテーマとした創立30周年の記念講演会を実施いたします。是非、多くの皆様にご来場いただき、今後のMEMSの発展のために当センターに対するご指導・ご支援を賜れれば幸いです。

　また、皆様方には以下のマイクロマシンセンターの2021年の10大ニュースをご覧いただき、私どもの活動状況をご賢察いただければ幸いです。

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MMC／NMEMS　2021年　10大ニュース
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１．2020年以上に厳しかった2021年のコロナ禍の中でも、業務を滞ることなく実施
　2020年以上に厳しかった2021年のコロナ禍の中でも、新型コロナウイルス感染症に伴う緊急事態宣言やまん延防止等重点措置が発出されるなか、当センターの業務を滞ることなく実施するため、理事会、委員会等をweb、書面により開催しました。　また、職員への感染を防止するため、基本的な感染対策を施しつつ、在宅勤務、時差通勤を実施しました。

2．LbSS、数々の成果を上げて5年半の研究開発が終了、次への展開へ向けて始動
　2016年から開始した「超高効率データ抽出機能を有する学習型スマートセンシングシステムの研究開発（LbSS）」プロジェクトが、実証実験でのシステム検証を終え、9月30日をもって終了しました。　また、「NEDO IoT推進のための横断技術開発プロジェクト」成果報告会では、5年半の研究成果として、13テーマの技術成果資料・デモ動画及び基調講演の公開を実施し、IoT横断プロジェクト全体の成果・普及を図ることができました。
現在は、LbSS研究成果のヒトセンシングへの展開を調査しています。
　 ■ この成果は、国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）の委託業務の結果得られたものです。

3．「節目の年」2022年を迎えるにあたり、イベントや記念誌を企画・制作、あわせてMEMS技術の歴史と今後20年の進展予測をまとめる
　2022年にマイクロマシンセンター設立30周年、MEMS協議会15周年、MNOIC10周年という「節目の年」を迎えるにあたり、セミナーイベントや記念誌の企画・制作を行うとともに、「マイクロマシンセンター産業動向調査委員会」では、MEMS技術の進展の歴史と、今後20年のMEMS関連技術の進展を予測した調査を実施しました。

4．EfriMは開発戦略をまとめて3月に事業終了、SSN研究会「EfriM-WG」を立ち上げ、プロジェクト化に向け本格始動
　一般財団法人機械システム振興協会の「令和2年度イノベーション戦略策定事業」の委託事業として実施し、昨年3月終了した「環境調和型MEMS（EfriM*）技術の研究開発に関する戦略策定」の成果を基に、SSN研究会**のWGとして「EfriM-WG」を立ち上げ、15企業、9大学、6研究機関・財団の49名の会員を集め、プロジェクト化に向けた活動を本格始動しました。
　　　　　* EfriM : Environment friendly MEMS
　　　　　** SSN研究会：スマートセンシング＆ネットワーク
　　　　　　　（Smart Sensing & Network）研究会

5．MNOIC設立10年で事業成熟、工程受託コースなど定期利用が定着
　2011年に設立し10年経過したマイクロナノ・オープンイノベーションセンター（MNOIC）の利用件数が2021年末で1,300件を超え、産学連携によるマイクロナノ分野のイノベーション実現の場として定着しています。特に近年は、MNOICが研究支援によって開発したサンプルや技術を実用化するために、仕様書に基づいてMNOICの研究員が試作を行う、工程受託コースの利用が急増しています。

6．HS-ULPAC中間を無事終了
　防衛装備庁の「令和元年度安全保障技術研究推進制度（JPJ004596）」の委託事業として実施している「量子干渉効果による小型時計用発振器の高安定化の基礎研究（HS-ULPAC*）」の中間評価審査会が11月12日に開催されました。一部新型コロナの影響で中間目標の達成が年度末に延びるものもありますが、ほとんどが中間目標を達成するとともに当初予定していなかった画期的な副次的成果が出ていることを報告し、無事に終了しました。
　　　　　　*HS-ULPAC :　High Stability Ultra Low Power Atomic Clock

7．BaMBIが、NEDOステージゲートを受審し、来年度からのフェーズBに向けて検討を開始
　NEDOの「IoT社会実現のための革新的センシング技術開発」の中で、2019年度に採択され、研究開発進めてきたテーマ「血中成分の非侵襲連続超高感度計測デバイス及び行動変容促進システムの研究開発（BaMBI*）」は、この11月2日にステージゲート審査を受審しました。本事業は、フェーズAの委託3年間を経てステージゲートをクリアすれば、その後の2年間はフェーズBの助成事業として実用化に向けて加速していくことになりますが、本テーマはフェーズAの目標を全て達成できる見込みで、審査結果を待つばかりです。
*BaMBI : Non-ivasive Blood analytic Monitor for Behavior Improvement System

8．MEMS関連標準化についてオンラインで国際会議で規格案審議を推進、関係者がIEC1906賞を受賞、新標準化事業の開始など、活発に活動
　コロナ禍中、オンラインながらも、5月に「IEC（国際電気標準会議）TC47（半導体分野技術委員会）/SC47E（個別半導体デバイス）WG1（半導体センサ分野）、TC47/SC47F（MEMS分野）、TC47/WG7」、10月に「IEC/TC47　国際標準化全体会議」に出席し、活発な議論を交わし、規格案審議を着実に前進させることができました。また、当センターが取り纏めている標準化活動で活躍して頂いた2名の方が、IEC1906 賞を受賞されました。標準化事業では、経済産業省の委託事業で、「薄膜圧電MEMSデバイスの寿命試験及び多方向折り曲げ信頼性法に関する国際標準化」が採択され、国際規格の開発を開始しました。

9．技術研究組合ＮＭＥＭＳ技術研究機構の理事長に、東京都市大学の藤田教授が就任
　今仲行一理事長が2021年２月に急逝されました。ご冥福をお祈り申し上げます。
　組合の３月に開催された理事会において、東京都市大学の藤田博之教授が理事長にご就任されました。

10．SNIFがNEDOプロジェクトとしては終了するも、将来の実用化へ向け、今後の研究開発は着実に履行　
　2019年度にBaMBIとともにスタートした革新的センシングのプロジェクト「薄膜ナノ増強蛍光による経皮ガス成分の超高感度バイオ計測端末の開発（SNIF*）」として推進されてきましたが、参加企業の社内体制変更により、残念ながらNEDO受託事業としては2021年度上期までとなりました。ただ、東京医科歯科大学とNMEMS組合で2022年半ばまでフェーズAの研究開発は着実に履行し、将来の実用化への道を繋ぐこととしています。
　　　*SNIF: Skin volatile biosensor based on Nano-Integrated Fluorometry

第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム MNOIC出展のご報告 （2021年11月9日～11日)

　第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウムが、2021年11月9日から11日までの3日間にわたってオンライン開催され、マイクロマシンセンターMNOICがオンライン技術展示に出展しましたのでここにご報告いたします。

　本シンポジウムは、一般社団法人電気学会のセンサ・マイクロマシン部門が主催し、応用物理学会、日本機械学会、化学とマイクロ・ナノシステム学会の協力により行われる合同シンポジウムで、第38回を数える今回は、”Future Technologies from Himeji 2021 Online” の一環として開催されました。発表件数は、本シンポジウムの206件をはじめ、全体で484件を数え、環境・医用・バイオセンシングシステム、エネルギーハーベスタなどの注目すべき発表が行われ、838名の参加者による技術交流が行われました。

　技術展示のセッションでは、オンライン会議ツールを用いたバーチャルミーティングに加え、技術プレゼンテーションと展示コンテンツのバーチャル見学ツアーが行われました。オンライン展示出展のメリットとしては、訪問者のご承諾により情報交換実績やご興味をいただいた展示コンテンツ情報をデジタルデータで入手できることが挙げられます。今回の出展で、マイクロマシンセンターは、MNOICのMEMS研究開発支援サービスと国家プロジェクト参画によるプロセス技術の開発状況についてご紹介し、1日当たり約70名様程度のアクセスと、合計約30件の情報交換データを電子情報で入手しました。

　以下、出展内容について簡単にご紹介いたします。
MNOICのMEMS研究開発試作支援サービスは、国立研究開発法人産業技術総合研究所殿 (茨城県つくば市) の8/12インチウェハ対応MEMS研究開発拠点を活用して展開する事業で、2011年のサービス開始以来500件を超える試作契約実績をいただいており、研究開発初期段階から製品開発に至る幅広い試作開発をサポートしております。技術展示コンテンツとして、MEMS研究開発拠点の8/12インチMEMSラインと、触覚センサ、X線デバイス、国家プロジェクト成果であるAlN（窒化アルミニウム）圧電薄膜振動センサなどのMEMSデバイスの試作例をご紹介いたしました。MNOICでは試作開発のご希望を常時受け付けておりますので、私どもの窓口をご訪問下さるようお願い申し上げます。

　ご参考までに、次回は2022年11月14日から16日まで、徳島県のアスティとくしまにて開催されることが公表されました。

（MNOIC　原田　武）

SSN研究会WG（EfriM）キックオフミーティング開催報告

　2021年6月23日（水）15：00～17：00にオンラインにて「SSN研究会WG（EfriM）キックオフミーティング」を開催致しました。

　一般財団法人マイクロマシンセンターでは、昨年度に一般財団法人機械システム振興協会からの委託を受け、今後発展が期待される屋外IoTのキー技術となる「環境調和型MEMS（EfriM : Environment friendly MEMS)技術の研究開発に関する戦略策定」事業を実施致しました。

　本ミーティングはこの成果を基に今後プロジェクト化を図っていくために、SSN（Smart Sensing & Network)研究会の新たなWGとして立ち上げましたEfriM-WGのキックオフミーティングで、以下に示すプログラムのように、長谷川専務理事の主催者挨拶の後、EfriM関連の4件の基調講演とEfriM-WGの進め方に関して説明を行いました。　

【プログラム】

15:00～15:05　（１）主催者挨拶
　　　　　　　　 長谷川 英一【(一財)マイクロマシンセンター　専務理事】　
15:05～16:45　（２）基調講演（講演20分、質疑応答5分）
15:05～15:30　　①「EfriMとは」
　　　　　　　　　藤田 博之氏【キヤノンメディカルシステムズ㈱先端研究
　　　　　　　　　　　　　　　所 名誉所長(EfriMプロジェクトリーダー)】
15:30～15:55　　②「インフラ分野のEfriM」
　　　　　　　　　塩谷 智基氏【京都大学インフラ先端技術産学共同講座　
　　　　　　　　　　　　　　　特定教授】　
15:55～16:20　　③「災害分野のEfriM」
　　　　　　　　　酒井 直樹氏【防災科学技術研究所先端的研究施設利活用
　　　　　　　　　　　　　　　センター　副センター長】
16:20～16:45　　④「農業・畜産分野のEfriM」
　　　　　　　　　伊藤 寿浩氏【東京大学大学院工学研究科　精密工学専攻　
　　　　　　　　　　　　　　　教授】(EfriMサブプロジェクトリーダー)】
16:45～17:00　（３）SSN研究会EfriM-WGの進め方

　以下に、本キックオフミーティングの内容に関して、簡単に紹介致します。

　先ず、主催者挨拶として、長谷川専務理事から、創立30年を迎えるマイクロマシンセンターがこれまで実施してきた各種プロジェクトに関して簡単に説明を行うとともに、この次のMEMSとして、屋外に広範囲にばら撒いたMEMSを普及させるためには、EfriMが必要であり、プロジェクト化を図るために、今般SSN研究会に新たにEfriM-WGを立ち上げた旨の説明を行いました。この技術は内閣府の第6期総合科学・イノベーション基本計画で謳う「国民の安全と安心を確保する持続可能で強靭な社会」や昨今話題になっているグリーン・デジタル化にも資する技術であり、本日はEfriMの調査研究のプロジェクトリーダーをお務め頂いた藤田先生からEfriM全体の説明を頂き、インフラ、災害、農業分野の各分野で議論のリードを頂いた塩谷先生、酒井先生、伊藤先生からそれぞれの分野のEfriMの説明を頂くことにしていますので、この技術に関心を持って頂いて、是非WGに参加して一緒にプロジェクト化を図って頂くようにお願い致しました。（図1）

　　図1　長谷川専務理事の主催者挨拶の様子

　次に、基調講演として、先ず、藤田先生より、EfriMとはどのようなもので、どのような技術が必要かについてご紹介頂きました。EfriMは自然に還る材料や自然に固定化（有害な材料を環境に流出しないように環境に無害な材料で包んでしまうこと）する材料を使って、低炭素な製造技術で作製し、屋外の広範囲にばら撒いて、環境を見守る用途に用いるものです。また、自然に還るあるいは固定化する材料で構成されているため、寿命がきた後も回収せずに、自然に放置しておくことが可能になるものです。昨年実施致しました調査研究では、EfriMに適したインフラ、災害、農業分野におけるユースケース、自然に還る材料や自然の中に固定化する材料・デバイス及び省エネ型製造技術を抽出するとともに、それらを組み合わせたシナリオを検討して、その絞込みとブラッシュアップにより、インフラ、災害、農業分野での有望な6つのEfriMセンシングシステムを選出したことが報告されました。また、これら6つのEfriMの研究開発のために必要な横断的技術を環境固定化技術、環境に還る技術及び共通基盤技術の3つの項目に整理するとともに、緊急時のみで使うシステムなのか、農作物の収穫など例えば半年間使うものなのか、あるいはコンクリート構造物モニタリングのように数十年にわたって使い続けるシステムなのかというような時間遷移を考慮した開発戦略としてまとめたことが紹介されました。（図2）

　　　　図2　藤田先生の講演の様子

　次に、塩谷先生からはインフラの点検結果の概要及び保全フェーズ（初期、予防、事後）の説明があり、現状は表面状態だけしか計測できていないため、緊急対策としての事後保全しかできない課題があることが紹介されました。センサをインフラ構造物の内部にEfriMとして組み込むことができれば、調査・測量、設計、材料・施工、検査、維持管理というインフラ構造物建設のあらゆるフェーズで、内部状態を含めたリアルデジタルツインを実現できる。つまり、建設フェーズを一気通貫させるセンシング技術による外部情報と内部情報の統合により、本当の建設DXが実現できることが示され、EfriMへの期待が述べられました。（図3）

 

　　　　　図3　塩谷先生の講演の様子

　続いて、酒井先生からは2016年の熊本地震災害や土砂災害・地盤災害事例及びそこでのモニタリング事例の紹介があり、現状では定点での観測ができるのみで、広範囲な災害の予兆を検出できるようなセンシングシステムは存在しないとともに、災害が発生した場合に流出したセンサを回収することは困難なことが紹介されました。従って、環境に調和し、回収が不要なEfriMを広範囲に設置することができれば、経験と勘に頼っていた防災のデジタル化が図れ、さらに住民目線の防災が可能になることが示されるなど、EfriMへの期待が述べられました。（図4）

　　　　　図4　酒井先生の講演の様子

　最後に伊藤先生からは、農業の高収益化・完全無人化・高収量化・高品質化の具体的な課題、スマート農業の問題点、MEMSへの期待から、土に還るEfriMにより生物農薬・ロボットトラクタを用いたスマート農業が加速できることが紹介されました。また、畜産に関しては、ムーンショットの「牛ルーメンマイクロバイオーム完全制御によるメタン80％削減に向けた新たな家畜生産システムの実現」、JST-CRESTの「安全・安心のためのアニマルウオッチセンサの開発」及び内閣府SIPの「生体センシング技術を活用した次世代精密家畜個体管理システムの開発」等の紹介から、ピル型EfriMへの期待が述べられました。（図5）

　　　　　図5　伊藤先生の講演の様子

　以上4件の基調講演の後、事務局よりSSN研究会EfriM-WGの進め方についての説明とEfriM-WGへの勧誘（7/7締切）が行われました（図6）。

　　　　　図6　EfriM-WGの進め方

　今回はインフラ、災害、農業分野でのEfriMの開発戦略について紹介しましたが、EfriM自体は環境に調和して、回収を不要にする新たなIoTを実現するものですので、今回の3分野に限らず、他の分野も含めて広くプロジェクト化を模索していきたいと存じますので、ご関心のある方は下記へお問合せお願い申し上げます。

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一般財団法人マイクロマシンセンター　MEMS協議会
SSN研究会　EfriM-WG 事務局　武田／藤井　
E-mail： seminar1@mmc.or.jp
〒101-0026 東京都千代田区神田佐久間河岸67 MBR99ビル6階
Tel: 03-5835-1870 http://www.mmc.or.jp/

　　　　　　　　（MEMS協議会SSN研究会EfriM-WG担当　武田　宗久）