国内新聞雑誌記事をファインMEMS知識DBに登録

　ファインMEMS知識データベース（NEDO：高集積・複合MEMS製造技術開発プロジェクトの成果）は、MEMSPediaの一環として既に公開しておりますが、このデータベースに平成15年度から平成22年度に渡り、ホームページ等で公開してきましたマイクロナノインデックス（マイクロマシン／MEMSに関わる新聞記事や雑誌記事のクリッピング）データ5,500件を登録致しました。カテゴリは「国内新聞記事」、「国内雑誌記事」となっています。

　今後、現在収集・公開しているデータに関しましても、年一回年度末に追加していく予定です。是非ご利用ください。 　このデータベースは、次のURLでサーバーにアクセスできます。
　　http://memspedia.mmc.or.jp/finemems/ 　

　尚、詳細なデータを参照したい場合はユーザ登録（無料）が必要となります。ユーザ登録は次の手順で行います。

①上記URLで”ファインMEMS知識データベース”のトップページを開く
②トップページ右上の「ログインまたはアカウント作成」をクリック
③「閲覧アカウントを作成」をクリック
④利用規約への同意、アカウント名、メールアドレス、アンケート
　に答え、最後に”閲覧アカウント作成”ボタンをクリック 　
⑤パスワードが指定したメールアドレスに送付される　
⑥上記②でＩＤとパスワードを入力して利用を開始

　 ご不明な点が御座いましたら、下記までお問合せください。 [ お問合せ先 ] 一般財団法人マイクロマシンセンター 普及促進部　担当：水津 TEL: 03-5835-1870　FAX: 03-5835-1873　E-mail: mems1-user@mmc.or.jp

MEMSPediaの紹介と利用状況

　小型・省電力・高性能・高信頼性の高集積・複合ＭＥＭＳデバイスを製造できる技術の確立を目的とした３ヵ年プロジェクト「高集積・複合ＭＥＭＳ製造技術（ファインＭＥＭＳ）開発プロジェクト（以下、ファインＭＥＭＳプロジェクトと言う）」の成果である「ファインＭＥＭＳ知識データベース」および「ファインＭＥＭＳシステム化設計プラットフォーム（ＭＥＭＳ等価回路ジェネレータ）」をインターネット上で提供できる、様々なオープンコンテンツを搭載した百科事典”MEMSPedia”として、昨年６月から公開を開始しています。まだ、MEMSPediaをご覧になっていない方は、次のＵＲＬで是非一度ご覧ください。

　http://www.mmc.or.jp/memspedia/

　尚、ご利用に当たってのご不明な点が御座いましたら、ＭＭＣまでお問合せください。

◆ファインＭＥＭＳ知識データベース

　ファインＭＥＭＳプロジェクトに参画した事業者の研究開発成果、再委託した大学の研究開発成果、ＭＭＣが国内外の学会等で収集した発表論文・技術文献、および本プロジェクトに関わる特許情報などを、本プロジェクトの研究開発項目で分類してデータベース化したもので、現在の登録件数は６,０００件超となっています。昨年６月の公開から本年４月までの利用件数は２１,７００件に上がっています。尚、このデータベースの閲覧は自由ですが、閲覧には「閲覧アカウント」の登録が必要です。

◆ＭＥＭＳ等価回路ジェネレータ

　ＭＥＭＳ等価回路ジェネレータは、ＭＥＭＳと電気回路の集積化や多種類のＭＥＭＳの組合せによる集積化に関する研究開発が活発化し、製品に関する成功事例も出現する中、システム全体として電気等価回路を用いたアプローチなどの新しい設計手法としてご提案するものです。これまでの利用実績は１,５００件とまだ少ないですが、新しい設計手法として、挑戦していただければ幸いです。本機能もＷeb上でのご利用となりますが、ご利用にはユーザ登録が必要です。また、ご利用に当たってのご質問やご意見は「技術交流掲示板」でお願いします。この掲示板のご利用には、ＩＤとパスワードが必要ですので、ＭＭＣにお問合せください。

　　　　 　 　　　　　　　　　　

「MEMS等価回路ジェネレータ」トップページに入りやすくなりました

ちょっとご報告が遅くなりましたが、MMCHPにありますMEMSPediaコンテンツの一つ、「MEMS等価回路ジェネレータ」のトップページに入りやすくなりました。

いままで「MEMS等価回路ジェネレータ」の専用の紹介ページを設けていましたが、MEMSPedia全体の紹介ページの中に集約、1ページ減らした分「MEMSPedia」ボタンからボタン1回で、MMCHPの右下にある「MEMS等価回路ジェネレータ」ボタンからは直接トップページに入れます。

また「MEMS等価回路ジェネレータ」トップページには、「こんなことができます！」などイラストつきのわかりやすい説明を追加してます。「何だかわからないけど面白そう」という方々は、先ずトップページで全体をご覧いただくとわかりやすいかと思います。

疑問点がありましたら、トップページ左の「MEMS等価回路ジェネレータ技術交流掲示板」をご利用いただくか、ファインMEMS事務局までお問い合わせ下さい。

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　ファインMEMS事務局

第13回MEMS講習会開催報告(10月9日)

　マイクロマシンセンター・ファンドリーサービス産業委員会（委員長：オムロン(株)佐藤文彦氏）主催の第13回MEMS講習会「ロボットを身近にするセンサ・MEMS技術」を、10月9日（金）に、東京・市ヶ谷のアルカディア市ヶ谷で開催しました。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　会場風景(司会：佐藤委員長) 
　今回は、MEMS技術の新しい応用分野として期待が高まっているロボットに焦点を絞り、センサを始めとするMEMS技術に関して、以下のプログラムにて講演会を行いました。 

・御挨拶　マイクロマシンセンター　青柳専務　Photo
・「MEMSの集積・融合の進展と新産業創出への期待」
　　立命館大学、杉山教授　Photo
・「ロボットのコア技術としてのMEMS」
　　東京大学、下山教授　Photo
・「レーザレンジファインダを利用した実世界計測の原理と応用
　　～文化遺産アーカイブ、ITSを例に～」
　　東京大学、小野特任助教　Photo 
・「家庭用サービスロボットと触覚センサ技術」
　　パナソニック(株)、水野主任技師　Photo
・「ムラタセイサク君、セイコちゃんへのMEMSセンサの応用」
　　(株)村田製作所、辻主任　Photo
・「オムロンのMEMSセンサ技術」
　　オムロン(株)、佐々木技術専門職　Photo 　
・「MEMS回路シミュレータMEMSpiceによる振動型デバイスの解析」
　　(株)数理システム、水田常務取締役　Photo
・「MEMS等価回路ジェネレータ」
　　静岡大学、橋口教授　Photo
・「ファンドリーサービス産業委員会活動紹介」
　　佐藤委員長（オムロン(株)）

「Photo」を押すと、講演の様子がご覧いただけます。
（本記事に戻るには、写真画面左上の←を押してください）

　冒頭、青柳専務御挨拶に続いて、基調講演として杉山先生からMEMS応用システム・デバイスの最新動向についてお話しいただきました。そのあと、下山先生からテーマ講演「ロボットのコア技術としてのMEMS」があり、サービスロボットは近い将来「あれば嬉しいもの」から「ないと困るもの」になり、MEMSセンサ・アクチュエータがコアデバイス・技術になるという動向予測と研究開発状況についてご説明いただきました。
　テーマ講演のあと、ロボット制御に欠かせない視覚・触覚・角速度・人と環境などを計測するセンサ技術に関して、4件ご紹介いただき、学術講演会ではなかなか聞けない開発秘話もご披露いただきました。さらにセンサ設計に必須のMEMS/LSI統合解析技術を2件、途中の休憩時間を利用したファンドリーサービス産業委員会の全委員による技術相談会をはさんで、最後に委員長による同委員会の活動紹介で講演会を締めくくりました。
　産業界を取り巻く厳しい経済環境を吹き飛ばすかのように、会場は聴講に来られた参加者の皆さまで満席になり、盛況の講演会となりました。また、講習会の終了後、別会場でファンドリーサービス産業委員会委員、講師の方々と参加者の皆さまとの懇談会を開催しました。和やかな雰囲気の中にも熱い議論が繰り広げられ、大いに交流が図られました。本講演会を盛り上げていただいたご関係各位に厚く御礼申し上げます。

会場風景サムネイル集（画面を押すと大きくなります)
　 　 　  
　　　　　技術相談会風景　　　　　　　　　　　　懇親会風景

原田@普及促進部

第13回MEMS講習会のご案内

　MEMS講習会について、あらためてご案内いたします。プログラムの題目から関連するホームページや概要説明にジャンプするリンクを貼りましたので、一度ご覧ください。

　また、本ご案内は（財）マイクロマシンセンターのホームページでも公開しております。そちらのWhat's newから専用ページに入って、お申込みいただくこともできます。

◇◇◇◇◇◇　開 催 案 内　◇◇◇◇◇◇

　（財）マイクロマシンセンター・ファンドリーサービス産業委員会では、MEMS産業の裾野を広げ、その発展を促進するために、現在まで12回のMEMS講習会を開催してきました。今回、第13回MEMS講習会「ロボットを身近にするセンサ・MEMS技術」を開催いたします。

　マイクロマシン/MEMS技術の応用分野としてロボットが注目されています。なかでも、介護・案内・娯楽サービス用ロボットは、今後ニーズが急速に伸びていくものと予想されます。基調講演として、MEMS及びロボット研究の第一人者である、立命館大学杉山先生、並びに、東京大学下山先生をお招きしてMEMS、ロボット開発の現状とMEMSへの期待についてお話しいただき、そのあとに、ロボット、センサ開発事例とMEMSファンドリー活動をご紹介いたします。また、休憩時間には、メンバー各社による技術相談会で、MEMS製作に関する御質問にお答えいたします。

　本会をロボット開発者、センサメーカー、ファンドリーメーカー、さらにはMEMS技術者相互の交流の場にしたいと考えております。皆様の積極的なご参加をお願い致します。

◇◇◇◇◇◇　開 催 概 要　◇◇◇◇◇◇

◇テーマ：「ロボットを身近にするセンサ・MEMS技術」

◇日　時：2009年10月9日（金）13:00～18:20～19:30
◇場　所：アルカディア市ヶ谷（東京・私学会館） 6階会議室（霧島）
　　　　　　　　〒102-0073 東京都千代田区九段北4丁目2番25号
　　　　　　　　TEL：03-3261-9921（代表）
　　　　　　　　アクセスマップへのリンク
◇参加費：一般　10,000円　／MEMS協議会メンバー　8,000円
◇定　員：50名（定員になり次第、締切らせていただきます。）　
◇問合せ先：〒101-0026東京都千代田区神田佐久間河岸67
　　　　　　　　MBR99ビル 6階
　　　　　　　　財団法人マイクロマシンセンター
　　　　　　　　ファンドリーサービス産業委員会
　　　　　　　　講習会担当（原田、酒向）
　　　　　　　　TEL 03-5835-1870, FAX 03-5835-1873

◇◇◇◇◇◇　プ ロ グ ラ ム　◇◇◇◇◇◇

講演題目をクリックすると関連ホームページにジャンプします。
また、（概要）をクリックすると概要説明がご覧になれます。

13:00　主催者挨拶
　　　　　青柳　桂一　（財団法人マイクロマシンセンター）
13:05　MEMSの集積・融合の進展と新産業創出への期待 （概要） 
　　　　　杉山　進　　（立命館大学　教授）
13:50　ロボットのコア技術としてのMEMS （概要）
　　　　　下山　勲　　（東京大学　情報理工学系研究科長　教授）
14:20　レーザレンジファインダを利用した実世界計測の原理と応用
(追加)　～文化遺産アーカイブ，ITSを例に～　　　　　　　　（概要）
　　　　　小野　晋太郎（東京大学　生産技術研究所　特任助教）
14:50　家庭用サービスロボットと触覚センサ技術 （概要）
　　　　　水野　修　　（パナソニック株式会社）

15:20　―　 休憩及び技術相談会 （概要）  　―

16:00　ムラタセイサク君、セイコちゃんへのMEMSセンサの応用
　　　　　辻　滋　　　（株式会社村田製作所）　　　　　　　　（概要）
16:30　オムロンのMEMSセンサ技術 （概要）
　　　　　佐々木　昌　（オムロン株式会社　コアテクノロジーセンター）
17:00　MEMS回路シミュレータMEMSpiceによる振動型デバイスの
　　　　解析　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　（概要）
　　　　　水田　千益　（株式会社数理システム）
17:30　MEMS等価回路ジェネレータ （概要）
　　　　　橋口　原　　（静岡大学　教授）
18:00　ファンドリーサービス産業委員会活動紹介 （概要）
　　　　　佐藤　文彦　（ファンドリーサービス産業委員会　委員長／
　　　　　　　　　　　　　オムロン株式会社　マイクロデバイス事業部）

18:30～19：30　懇談会

◇◇◇◇◇◇　参 加 申 込 方 法　◇◇◇◇◇◇

下記申込欄をコピーして頂き、メール本文中に貼り付け、必要事項をご入力のうえ、ご送信下さい。あるいは、下記申込欄を印刷して頂き、必要事項をご記入の上、FAXしていただいても結構です。（受付後、登録通知メールを送付致します。）

Mail： mems-ws@mmc.or.jp
FAX： 03-5835-1873
　(財)マイクロマシンセンター　　
　ファンドリーサービス産業委員会　講習会担当 （原田、酒向）

★　お申込みは下記の申込欄のみをご送信下さい。　★

*----*----*----*----*----*----*----*----*----*----*
　　　　　　　　　　　　　　参加申込欄　

第13回MEMS講習会「ロボットを身近にするセンサ・MEMS技術」
　　　　　　　　　　　　　　　＜2009年10月9日（金）＞
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
申込者氏名：
氏名フリガナ：
会社・団体名：
所属部署：
役職：
勤務先〒番号：
勤務先住所：
TEL：
Mail：
参加費：　どちらか一方を残してください
　　　　　　　①一般　(10,000円)
　　　　　　　②MEMS協議会メンバー　(8,000円)

*----*----*----*----*----*----*----*----*----*----*

（普及促進部@マイクロマシンセンター）

ファインMEMS知識データベース及びMEMS等価回路ジェネレータの供用開始

６月第２週からファインMEMS知識データベースおよびMEMS等価回路ジェネレータを公開しました。ＮＥＤＯ委託・助成事業「高集積・複合MEMS製造技術開発（ファインMEMSプロジェクト（平成１８年度～平成２０年度）」の中で、マイクロマシンセンターでは、高度MEMS開発・製造に係わる研究者・技術者の支援、裾野拡大を図ることを狙いとして、２つのテーマについて開発を行いました。
　

知識データベースは、ファインMEMSプロジェクトに参画した事業者（委託及び助成）の研究開発成果（研究データ、科学的知見、および文献情報）、再委託した大学の研究開発の成果、およびマイクロマシンセンターが国内外の学会等で収集した発表論文、技術文献等を、平成２１年３月末時点で１５００件を超える知識データとして格納しています。
　

また、本プロジェクトに関わる特許情報として、２０００年以降の国内公開特許、米国登録特許、およびＰＣＴ公開特許を調査し、抽出したものをデータベースに実装しました。特に、特許出願件数の多いＭＥＭＳ/半導体の一体形成技術およびＭＥＭＳ/ＭＥＭＳの高集積結合技術については、主要な企業、研究機関の出願動向をまとめた分析資料集を作成し、これらをデータベースに実装してあります。
　

一方、ＭＥＭＳ等価回路ジェネレータは、MEMSと電子回路を等価回路モデルで表現する設計手法です。この手法の確立により、ＭＥＭＳと電気回路の集積化や多種類のＭＥＭＳの組合せによる集積化に関する研究開発が活発化し、製品に関する成功事例も出現する中、MEMS技術者や電子回路技術者のデバイス設計を容易にする新たなアプローチを提案するものです。
　

「ファインMEMSシステム化設計プラットフォームの研究開発（平成１９年度～平成２０年度）」の成果として、今回各種デバイスの等価回路モデルおよび回路シミュレータで利用可能なネットリストを、MEMS等価回路モデルWebLibrary Systemに収納しています。
　

これらの成果は、インターネット上で提供することにより、知識情報、デザイン支援ツール等、様々なオープンコンテンツを搭載した百科事典”MEMSPedia”として、効果的な普及、拡充を図っていきます。

　すでに、日経Tech-on！の最新記事「“MEMSPedia”がネット上に公開」（2009年6月9日付け）でも取り上げられております。是非、ご活用ください。（逆水＠マイクロマシンセンター）

ファインMEMSプロジェクトの研究成果： MEMSPedia を早々と公開

　小型・省電力・高性能・高信頼性の高集積・複合ＭＥＭＳデバイスの製造技術の確立を目的とした「高集積・複合ＭＥＭＳ製造技術開発プロジェクト（ファインＭＥＭＳプロジェクト；FY2006-2008）」が終了しました。産学連携の研究コンソーシアムに対するＮＥＤＯ委託・助成事業として実施されましたが、下山東大教授(PL)と杉山立命館大教授(SPL)による熱心な指導のもとで、かなり質の高い研究成果が出ています。来月開催されるマイクロナノ2009（7/29-31)において最終成果発表会が開催されますので、ここで成果を実感して下さい。
　

　
　財団法人マイクロマシンセンターでは、本プロジェクトの研究開発の成果、内外の学会等で収集した発表論文、技術文献等について体系的にデータベース化を行い、ファインMEMS知識DB として整備しました。さらに、MEMSと電気回路の集積化や多種類のＭＥＭＳの組合せによる集積化に関する研究開発を行い、MEMS等価回路ジェネレータ を開発しました。これらは、基本的にインターネット上で公開することを目標として掲げていましたので、このたび最終成果発表会に先立って公開することにしました。ネット上では、上記の２つのアプリケーションをまとめ、MEMSに関する知識の泉を意味する MEMSPedia（MEMSペディア） と総称して公開しました。この詳細については後日紹介します。
　　　　

（MEMSシステム開発センター＠マイクロマシンセンター）