ファインMEMSプロジェクトの成果が実用化

　2006年度から2008年度の3年間、国/NEDOプロジェクトとして実施された高集積・複合MEMS製造技術開発事業（ファインMEMSプロジェクト）の成果が東芝ホクト電子株式会社により実用化され、2013年8月28日の半導体産業新聞において報道されました。

　多様な異種デバイスを，高密度に集積する擬似ＳｏＣ(システムオンチップ)の量産化技術を確立したというものです。擬似ＳｏＣは、異種デバイスを樹脂中に封止して、微細配線で相互接続する集積技術で、回路配線基板を使用しないため、ＳｉＰ(システムインパッケージ)よりも高集積化が可能となります。擬似ＳｏＣ量産技術の確立にあたり、異種デバイスを樹脂中に封止したときの位置精度確保が課題でしたが、新たな樹脂成型プロセス導入と、使用する樹脂物性の最適化で解決しました。

　擬似ＳｏＣは、インテリジェント生体信号センサー (SilmeeTM)プロトタイプのアナログフロントエンド（AFE：Analog Front End)回路部に適用されています。将来的には、無線ＬＡＮモジュール、電源回路モジュール、スマートセンサーなどの小型化に大きな需要が期待されています。

　同社HP:http://www.hokuto.co.jp/topics/2013/t_158.htm

<普及促進部　内田>

マイクロマシン/MEMS展いよいよ開幕（7月13日～15日開催）

マイクロマシン/MEMS展が、いよいよ7月13日から15日の3日間、東京ビッグサイトの東1・2ホールで開催されます。

マイクロマシンセンターの出展テーマは次のようになっています。
　①　受付・コンシェルジェ
　②　MEMS協議会
　③　調査・研究事業
　④　MEMSファンドリー
　⑤　MEMSモール
　⑥　MemsONE
　⑦　MEMSPedia
　⑧　標準化事業
　⑨　MNOIC
　⑩　GデバイスPJ成果
　⑪　グリーンセンサネットワーク

展示ブース番号はH-25。展示会場中央の奥にあります。会場にお越しになったら、まず私どものブースに足をお運びください。コンシェルジェが皆さまをサポートいたします。

上の写真は、マイクロマシンセンター展示ブースの設営中の情景を写したスナップです。飾り付けや展示パネル、説明用パソコンにビデオなど、さらには飲み物の仕込みも終わり、あとは掃除だけ、ひっそりと開会を待つといった風情です。

普及促進部投稿

国内新聞雑誌記事をファインMEMS知識DBに登録

　ファインMEMS知識データベース（NEDO：高集積・複合MEMS製造技術開発プロジェクトの成果）は、MEMSPediaの一環として既に公開しておりますが、このデータベースに平成15年度から平成22年度に渡り、ホームページ等で公開してきましたマイクロナノインデックス（マイクロマシン／MEMSに関わる新聞記事や雑誌記事のクリッピング）データ5,500件を登録致しました。カテゴリは「国内新聞記事」、「国内雑誌記事」となっています。

　今後、現在収集・公開しているデータに関しましても、年一回年度末に追加していく予定です。是非ご利用ください。 　このデータベースは、次のURLでサーバーにアクセスできます。
　　http://memspedia.mmc.or.jp/finemems/ 　

　尚、詳細なデータを参照したい場合はユーザ登録（無料）が必要となります。ユーザ登録は次の手順で行います。

①上記URLで”ファインMEMS知識データベース”のトップページを開く
②トップページ右上の「ログインまたはアカウント作成」をクリック
③「閲覧アカウントを作成」をクリック
④利用規約への同意、アカウント名、メールアドレス、アンケート
　に答え、最後に”閲覧アカウント作成”ボタンをクリック 　
⑤パスワードが指定したメールアドレスに送付される　
⑥上記②でＩＤとパスワードを入力して利用を開始

　 ご不明な点が御座いましたら、下記までお問合せください。 [ お問合せ先 ] 一般財団法人マイクロマシンセンター 普及促進部　担当：水津 TEL: 03-5835-1870　FAX: 03-5835-1873　E-mail: mems1-user@mmc.or.jp

MEMSPediaの紹介と利用状況

　小型・省電力・高性能・高信頼性の高集積・複合ＭＥＭＳデバイスを製造できる技術の確立を目的とした３ヵ年プロジェクト「高集積・複合ＭＥＭＳ製造技術（ファインＭＥＭＳ）開発プロジェクト（以下、ファインＭＥＭＳプロジェクトと言う）」の成果である「ファインＭＥＭＳ知識データベース」および「ファインＭＥＭＳシステム化設計プラットフォーム（ＭＥＭＳ等価回路ジェネレータ）」をインターネット上で提供できる、様々なオープンコンテンツを搭載した百科事典”MEMSPedia”として、昨年６月から公開を開始しています。まだ、MEMSPediaをご覧になっていない方は、次のＵＲＬで是非一度ご覧ください。

　http://www.mmc.or.jp/memspedia/

　尚、ご利用に当たってのご不明な点が御座いましたら、ＭＭＣまでお問合せください。

◆ファインＭＥＭＳ知識データベース

　ファインＭＥＭＳプロジェクトに参画した事業者の研究開発成果、再委託した大学の研究開発成果、ＭＭＣが国内外の学会等で収集した発表論文・技術文献、および本プロジェクトに関わる特許情報などを、本プロジェクトの研究開発項目で分類してデータベース化したもので、現在の登録件数は６,０００件超となっています。昨年６月の公開から本年４月までの利用件数は２１,７００件に上がっています。尚、このデータベースの閲覧は自由ですが、閲覧には「閲覧アカウント」の登録が必要です。

◆ＭＥＭＳ等価回路ジェネレータ

　ＭＥＭＳ等価回路ジェネレータは、ＭＥＭＳと電気回路の集積化や多種類のＭＥＭＳの組合せによる集積化に関する研究開発が活発化し、製品に関する成功事例も出現する中、システム全体として電気等価回路を用いたアプローチなどの新しい設計手法としてご提案するものです。これまでの利用実績は１,５００件とまだ少ないですが、新しい設計手法として、挑戦していただければ幸いです。本機能もＷeb上でのご利用となりますが、ご利用にはユーザ登録が必要です。また、ご利用に当たってのご質問やご意見は「技術交流掲示板」でお願いします。この掲示板のご利用には、ＩＤとパスワードが必要ですので、ＭＭＣにお問合せください。

　　　　 　 　　　　　　　　　　

「MEMS等価回路ジェネレータ」トップページに入りやすくなりました

ちょっとご報告が遅くなりましたが、MMCHPにありますMEMSPediaコンテンツの一つ、「MEMS等価回路ジェネレータ」のトップページに入りやすくなりました。

いままで「MEMS等価回路ジェネレータ」の専用の紹介ページを設けていましたが、MEMSPedia全体の紹介ページの中に集約、1ページ減らした分「MEMSPedia」ボタンからボタン1回で、MMCHPの右下にある「MEMS等価回路ジェネレータ」ボタンからは直接トップページに入れます。

また「MEMS等価回路ジェネレータ」トップページには、「こんなことができます！」などイラストつきのわかりやすい説明を追加してます。「何だかわからないけど面白そう」という方々は、先ずトップページで全体をご覧いただくとわかりやすいかと思います。

疑問点がありましたら、トップページ左の「MEMS等価回路ジェネレータ技術交流掲示板」をご利用いただくか、ファインMEMS事務局までお問い合わせ下さい。

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　ファインMEMS事務局

FineMEMSプロジェクトのサイトを更新しました。

ＮＥＤＯ委託・助成事業として実施されたファインＭＥＭＳプロジェクト（平成１９年度～平成２０年度）の歩みを紹介する「FineMEMSプロジェクト」サイトの頁を更新しました。プロジェクトの歩み（主な出来事、イベントなどの記録）、プロジェクト成果発表会予稿集およびNEDO成果報告書のダウンロードに関する情報を掲載しました。是非、ご活用ください。
　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　図をクリックすると大きく見えます。

（MEMSシステム開発センター@マイクロマシンセンター）　　　　　　　　　　　　　　　　　

ファインMEMS知識データベース及びMEMS等価回路ジェネレータの供用開始

６月第２週からファインMEMS知識データベースおよびMEMS等価回路ジェネレータを公開しました。ＮＥＤＯ委託・助成事業「高集積・複合MEMS製造技術開発（ファインMEMSプロジェクト（平成１８年度～平成２０年度）」の中で、マイクロマシンセンターでは、高度MEMS開発・製造に係わる研究者・技術者の支援、裾野拡大を図ることを狙いとして、２つのテーマについて開発を行いました。
　

知識データベースは、ファインMEMSプロジェクトに参画した事業者（委託及び助成）の研究開発成果（研究データ、科学的知見、および文献情報）、再委託した大学の研究開発の成果、およびマイクロマシンセンターが国内外の学会等で収集した発表論文、技術文献等を、平成２１年３月末時点で１５００件を超える知識データとして格納しています。
　

また、本プロジェクトに関わる特許情報として、２０００年以降の国内公開特許、米国登録特許、およびＰＣＴ公開特許を調査し、抽出したものをデータベースに実装しました。特に、特許出願件数の多いＭＥＭＳ/半導体の一体形成技術およびＭＥＭＳ/ＭＥＭＳの高集積結合技術については、主要な企業、研究機関の出願動向をまとめた分析資料集を作成し、これらをデータベースに実装してあります。
　

一方、ＭＥＭＳ等価回路ジェネレータは、MEMSと電子回路を等価回路モデルで表現する設計手法です。この手法の確立により、ＭＥＭＳと電気回路の集積化や多種類のＭＥＭＳの組合せによる集積化に関する研究開発が活発化し、製品に関する成功事例も出現する中、MEMS技術者や電子回路技術者のデバイス設計を容易にする新たなアプローチを提案するものです。
　

「ファインMEMSシステム化設計プラットフォームの研究開発（平成１９年度～平成２０年度）」の成果として、今回各種デバイスの等価回路モデルおよび回路シミュレータで利用可能なネットリストを、MEMS等価回路モデルWebLibrary Systemに収納しています。
　

これらの成果は、インターネット上で提供することにより、知識情報、デザイン支援ツール等、様々なオープンコンテンツを搭載した百科事典”MEMSPedia”として、効果的な普及、拡充を図っていきます。

　すでに、日経Tech-on！の最新記事「“MEMSPedia”がネット上に公開」（2009年6月9日付け）でも取り上げられております。是非、ご活用ください。（逆水＠マイクロマシンセンター）

ファインMEMSプロジェクトの研究成果： MEMSPedia を早々と公開

　小型・省電力・高性能・高信頼性の高集積・複合ＭＥＭＳデバイスの製造技術の確立を目的とした「高集積・複合ＭＥＭＳ製造技術開発プロジェクト（ファインＭＥＭＳプロジェクト；FY2006-2008）」が終了しました。産学連携の研究コンソーシアムに対するＮＥＤＯ委託・助成事業として実施されましたが、下山東大教授(PL)と杉山立命館大教授(SPL)による熱心な指導のもとで、かなり質の高い研究成果が出ています。来月開催されるマイクロナノ2009（7/29-31)において最終成果発表会が開催されますので、ここで成果を実感して下さい。
　

　
　財団法人マイクロマシンセンターでは、本プロジェクトの研究開発の成果、内外の学会等で収集した発表論文、技術文献等について体系的にデータベース化を行い、ファインMEMS知識DB として整備しました。さらに、MEMSと電気回路の集積化や多種類のＭＥＭＳの組合せによる集積化に関する研究開発を行い、MEMS等価回路ジェネレータ を開発しました。これらは、基本的にインターネット上で公開することを目標として掲げていましたので、このたび最終成果発表会に先立って公開することにしました。ネット上では、上記の２つのアプリケーションをまとめ、MEMSに関する知識の泉を意味する MEMSPedia（MEMSペディア） と総称して公開しました。この詳細については後日紹介します。
　　　　

（MEMSシステム開発センター＠マイクロマシンセンター）