第45回マイクロナノ先端技術交流会 開催報告（2026年5月13日）

　2026年5月13日（水）15:00 – 17:00に、第45回マイクロナノ先端技術交流会をオンラインにて開催しました。（同交流会は2003年よりほぼ年2回のペースで開催。）

　冒頭に、当センターの長谷川英一専務理事から、MEMSを巡る最近の動きとして、①（MEMS事業者連携委員会などが政策要望をしてきたところ、）「センサー類やMEMS等も含めて、我が国の経済安全保障上、需要な電子部品について、我が国の自律性・不可欠性を高める取組を検討する。」とされたこと。②日本成長戦略の中でも、フィジカル・インテリジェント・システムの中核を担う半導体として「センサーやマイコン等のアナログ・レガシー半導体の重要性も重大。」とされたことなどを報告。また、2025年度産業動向調査報告書「フロンティア領域とMEMS/マイクロナノ技術」の概要として、本報告で選定したフロンティア領域12テーマにおける2040年以降のMEMS/マイクロナノ技術の研究開発の具体例と意義について紹介しました。（本報告書はMMC賛助会員の方はHPから閲覧できます。）

　その後、「最新の半導体実装技術とMEMSの融合」をテーマに、産業技術総合研究所 ハイブリッド機能集積研究部門3D集積技術研究グループ 菊地克弥研究グループ長、及び東京大学 生産技術研究所 野村政宏教授にオンラインにてご講演を頂きました。産業界や大学から計175名の参加申込があり大盛況でした。
　最初の産総研の菊地様からは、「先端半導体集積化の鍵を握る2.5D/3D実装によるチップレット実装技術」についてご講演頂きました。内容は、実装技術の変遷とチップレットの重要性から、主要な技術と研究開発として、シリコン貫通電極（TSV）：デバイス形成後にTSVを作る「ビアラスト（Via Last）」プロセス、次に裏面埋設配線（BBM: Backside Buried Metal）: 積層に伴い発生するIRドロップ（電圧低下）や同時スイッチングノイズの低減を目的として、チップ裏面の自由なスペースに埋設配線（トレンチ構造）を形成し、電源ライン（VDD）とGNDラインに、TSVを用いて並列接続するプロセス、また、微細接続技術：低温・低荷重のストレスフリー接続、接続バンプの微細化・高密度化を目的として、先端部の強度が低くテーパー構造を持った錐型バンプの形成技術、さらにハイブリッド接合技術：Cu電極とSiO₂絶縁層の界面を有するウェアをW2W（Wafer-to-Wafer）で接合する技術、多層ウェア接合技術、C2W（Chip to Wafer）で接合する技術をご紹介頂きました。

　続いて、東大の野村先生からは、「三次元マイクロ流路を用いた半導体チップ二相冷却技術」についてご講演頂きました。内容は、データセンターの消費電力急増を背景に、半導体チップの高性能化・高密度化に伴う発熱の抑制に対し、従来の空冷や固体冷却では限界に達しつつあるため、それに代わる技術として、単相水冷や液体が気体に変わる際の相変化（潜熱）を利用した二相冷却について紹介頂きました。革新的な単相水冷技術として、チップ背面にMEMS技術で3層構造を形成し、マイクロ流路の狭窄部分でジェット水流を起こすことで、従来の水冷による冷却密度(100W/cm2）より1桁以上高い結果が得られるシステム、野村先生のご研究である二相冷却技術として、潜熱冷却の課題である気泡がマイクロ流路の壁面を覆い、液体が触れなくなるドライアウト現象により冷却効率が低下することを防ぐために、流路の壁面にマイクロピラーを形成し、毛細管現象によって液体を強制的に加熱面に引き込むことでドライアウトを抑制し、最大830W/cm2の熱流束が得られるシステム等についてご紹介頂きました。
今回もご多忙の中、ご講演を頂きましたお二人の先生をはじめ、ご参加を頂きました多くの方々に厚く感謝を申し上げます。

 （産業交流部　逆水登志夫）

第44回マイクロナノ先端技術交流会 「フロンティア技術への挑戦」 開催報告（2025年10月10日）

　2025年10月10日（月）14:25 – 17:00に、第44回マイクロナノ先端技術交流会をオンラインにて開催しました。
　
　今回の先端技術交流会は、「フロンティア技術への挑戦」をテーマに、東京大学大学院情報理工学系研究科AIセンター河原塚健人講師、宇宙航空研究開発機構(JAXA)相馬央令子主幹研究開発員にご講演頂きました。産業界や大学から計143名の参加申込があり大盛況でした。
　
　最初の東京大学河原塚先生からは、「フィジカルAIの現状と課題」についてご講演頂きました。
　内容は、先生の研究テーマである、あらゆる方向からのロボットの知能化（ハードウェア/ソフトウェア）について、人間の様な筋骨格ヒューマノイドの設計から筋肉で動く生物模倣型のロボットの設計と深層学習によるロボットの動作学習、さらに筋骨格だけでなく広く一般のロボットの学習制御からLLM(大規模言語モデル)/VLM(視覚言語モデル)等の基盤モデルのロボットへの活用の研究まで順を追ってご紹介頂き、最後に日本が勝つためには何か必要かというお考えもご説明頂きました。
　
　続いて、JAXA相馬先生からは、「宇宙太陽光発電システムの研究開発 ～長距離無線エネルギー伝送と大型宇宙構造物～」についてご講演頂きました。
　内容は、高度36,000kmの静止軌道上に設置した太陽光発電パネル(約2,000m四方)から、電気を電波(マイクロ波)に変換して地上に送電するシステムの2050年実用化に向け、これまで取り組まれてきた地上でのマイクロ波電力伝送実験(飛行機～地上間(5.5km))や今月にH3ロケットで打ち上げ予定（10月10日講演時点。10月26日に打ち上げ成功）の展開型軽量平面アンテナの軌道上実証実験等についてご紹介頂きました。

　最後に、今回も前回と同様に、多くの方々にご参加頂けるように、オンラインによる開催を行いました。色々とご不便をお掛けすることもありましたが、ご講演いただいた先生をはじめ、多くの方々にご参加いただき、厚く感謝を申し上げます。

（産業交流部　逆水登志夫）

第43回マイクロナノ先端技術交流会 「MEMSの新たなアプリケーションと新たなプロセス技術」 開催報告（2025年3月10日）

　2025年3月10日（月）13:55 – 16:00に、第43回マイクロナノ先端技術交流会をオンラインにて開催しました。

　今回の先端技術交流会は、「MEMSの新たなアプリケーションと新たなプロセス技術」をテーマに、東京大学生産技術研究所 人間・社会系部門、インタースペース研究センター 豊田啓介特任教授、株式会社KOKUSAI ELECTRIC プロセス開発本部 第四プロセス開発部 鋪田嚴様にご講演頂きました。産業界や大学から計135名の参加申込があり大盛況でした。

　最初の東京大学　豊田先生からは、「マルチエージェントネットワーク基盤としての建築環境およびコモングラウンドの可能性」についてご講演いただきました。
　内容は、都市や建築物の３Ｄ空間データと人、モノ、動物、モビリティ、ロボット、環境等のリアルタイムのセンサデータを統合し、空間に設置されたセンサから集約した空間・位置・周辺の動きのデジタル情報を必要とする人やロボット等に返すことによって、現実とデジタル空間をつなぐコモングランド（共通基盤）の構築について、具体な利用例や先生の実証実験場（大阪万博）での取組みについてご紹介頂きました。

　続いてKOKUSAI ELECTRIC　鋪田様からは、「MEMSデバイス適用へ向けた極厚膜LPCVD Poly-Si膜の基礎評価」について、ご講演頂きました。
　内容は、MEMSの慣性センサの製造で欠かせない、厚膜Epi-Poly-Siプロセスの欠点である枚葉処理による生産効率の低さを解決するため、バッチ処理可能なLP-CVD Poly-Siの開発を進め、連続的に成長する結晶の均一化のために、一定膜厚毎に薄い阻害層（ILIS：Inhibition Layer Inserted Structure）を形成することで、低膜ストレス（-6.5MPa）かつ低ストレス勾配（-0.65MPa/μm）な特性を25μmの厚さで実現し、これにより、Epi-Poly-Siに代わる新たなMEMS材料として期待されるというものでした。

　最後に、今回も前回と同様に、多くの方々にご参加頂けるように、オンラインによる開催を行いました。色々とご不便をお掛けすることもありましたが、ご講演いただいた先生をはじめ、多くの方々にご参加いただき、厚く感謝を申し上げます。

（産業交流部　逆水登志夫）

オンライン講演会 「我が国MEMS産業／技術の今後の展望について ～MEMS事業者連携委員会発足のガイダンスを兼ねて～」開催報告 (2023年6月13日)

　標記のオンライン講演会を、東京大学の竹内昌治教授と経済産業省の小林健企画官を講師としてお招きし、盛況裡に開催いたしました。

　　基調講演「MEMS技術の展望とバイオものづくりへの展開」
　　　　東京大学大学院　情報理工学系研究科 知能機械情報学専攻
　　　　教授　竹内 昌治　氏

　　招待講演「半導体・デジタル産業戦略とMEMSへの期待」
　　　　経済産業省　商務情報政策局　情報産業課
　　　　企画官　小林 健　氏

　竹内教授からは、当センターの「産業動向調査委員会」の委員長として取りまとめをいただいている最近の調査報告の紹介と、教授自らの最新のご研究である「バイオものづくり」の状況の紹介をいただきました。
　特に、バイオものづくりとデバイスを融合させるにあたり、MEMSとの連携が重要であることを改めてご示唆されていました。

　小林企画官からは我が国の半導体産業復活の基本戦略である３ステップ　①国内生産基盤強化、②日米連携の強化、③将来技術基盤の強化についての説明と、チップレットなどの技術進化と先端パッケージング技術の進歩により、アナログとデジタルが組み合わさったデバイス（CPUやエッジAI、通信回路、MEMSセンサ）が開発可能な環境が整ってきている現状について説明がなされました。

　最後にYoleの調査では2016年時点では日本企業がMEMS TOP30に10社入っていたところが21年には3社となっていることから、遅くとも2030年には2016年レベルのシェアになるように我が国のMEMS事業を強化させていきたいと語っていただきました。

　なお、講演資料の配布はございませんが、小林企画官の使われた資料は6月に改定された「半導体・デジタル産業戦略」として経産省HPよりダウンロードが可能です。

（MEMS協議会　八嶋　昇）

第42回マイクロナノ先端技術交流会 「MEMSとコンピューティングの接近」 開催報告（2022年7月27日）

　2022年7月27日（水）13:55 – 16:00に、第42回マイクロナノ先端技術交流会をオンラインにて開催しました。

　今回の先端技術交流会は、「MEMSとコンピューティングの接近」をテーマに、京都大学工学研究科 マイクロエンジニアリング専攻ナノシステム創成工学講座　教授　土屋智由先生、国立研究開発法人 産業技術総合研究所　デバイス技術研究部門　エマージングデバイスグループ　島久様にご講演いただきました。　産業界や大学から計141名の参加申込があり大盛況でした。

　最初の京都大学　土屋先生からは、「MEMSリザバーコンピューティング」について、ご講演いただきました。
　内容は、MEMSセンサは物理リザバーを一体化することで知能化できることを示すものでした。また、加速度センサとMEMSリザバーの一体化やMEMS非線形振動子アレイのダイナミクスなど実例を詳細にお話いただきました。

　続いて産業技術総合研究所　島様からは、「エッジAIのための抵抗変化デバイス技術」について、ご講演いただきました。
　内容は、酸化物の抵抗変化現象を利用した抵抗変化素子による情報処理を示すものであり、これにより実デバイスでのニューラルネットワークの機能の実現が期待されるものでした。

　最後に、今回も前回と同様に新型コロナ感染症の影響もあり、オンラインによる開催を行いました。色々とご不便をお掛けすることもありましたが、ご講演いただいた先生をはじめ、多くの方々にご参加いただき、大変感謝を申し上げます。

（産業交流部）

第41回マイクロナノ先端技術交流会（11月25日）開催報告

　2021年11月25日13：55～16：00に、第41回マイクロナノ先端技術交流会をオンラインで開催しました。

　今回の先端技術交流会は、「ヒトの感情・幸福感を推定するセンシング技術の最前線」と題し、国立研究開発法人産業技術総合研究所 情報・人間工学領域 人間情報インタラクション研究部門 研究部門長 佐藤 洋先生、株式会社日立製作所 フェロー・株式会社ハピネスプラネット 代表取締役 CEO 矢野 和男先生にご講演頂きました。産業界、大学、公的研究機関から計155名の参加申込があり大盛況でした。

　最初の産業技術総合研究所佐藤先生から、「人間センシングを生活・サービスに活かす」についてご講演頂きました。
　内容は人間の特性として脳機能・認知機能計測に基づく実環境での行動能力をモデル化して健康にする技術や、人と人とのインタラクションを成功させるための要因を標準化する活動について知ることができました。

　続いて、日立製作所矢野先生からは、「予測不能の時代: データが明かす新たな生き方、企業、そして幸せ」についてご講演頂きました。
　内容は、名刺サイズのウェアラブルセンサで、従業員の行動を計測・ビックデータ解析した結果、生産的で幸せな集団には、上下や同僚とのつながり・発言が均等で、５分間会話が多い、会話中に体がよく動くという特徴があるとのことでした。

　最後に、今回も前回と同様にオンラインで行いました。視聴の際には、不行き届きの点も多々あったかと存じますが、ご講演頂いた先生をはじめ、多くの方々にご参加頂き、感謝申し上げます。

（ NMEMS技術研究機構　スマートセンシング研究センター　逆水登志夫）

第40回マイクロナノ先端技術交流会（3月31日）開催報告

　2021年3月31日（水）13:30 – 15:35に、第40回マイクロナノ先端技術交流会をオンラインにて開催しました。

　今回の先端技術交流会は、「新しいセンサ、新しいセンシング手法を用いた社会課題の解決」をテーマに、豊橋技術科学大学　大学院工学研究科 電気・電子情報工学系　教授　兼エレクトロニクス先端融合研究所　所長　澤田和明先生、東京大学　新領域創成科学研究科 複雑理工学専攻　兼情報理工学系研究科 システム情報学専攻　教授　篠田裕之先生にご講演いただきました。産業界や大学から計122名の参加申込があり大盛況でした。

　最初の豊橋技術科学大学　澤田先生からは、「集積化センサ技術によるニューロトランスミッターのリアルタイムイメージング」について、ご講演いただきました。
　内容は、LSIとバイオセンサの集積化の効果をその実例を挙げてお話いただき、集積化によってその価値が広がることを認識しました。
　また、先生が研究されているイメージングについても集積化によって、これまで見えなかったものが見えるようになり、例えば生体の新たな活動が判るようになった実例を詳細にお話いただきました。

　続いて東京大学　篠田先生からは、「心とMEMS」について、ご講演いただきました。
　内容は、心・感性とテクノロジーの関係を詳しくお話いただき、近い将来、心の推測、そして心の操作も可能になる世界が来るとのことでした。
　また、人が認知する上で、重要な感覚である視覚、聴覚、触覚の内、特に先生が研究されている触覚インターフェースの最先端の研究内容を紹介いただき、実用化が近いことを期待させるものでした。

　最後に、今回も前回と同様に新型コロナ感染症の影響もあり、オンラインによる開催を行いました。色々とご不便をお掛けすることもありましたが、ご講演いただいた先生をはじめ、多くの方々にご参加いただき、大変感謝を申し上げます。

（産業交流部　松下智彦）

MEMSセンシング＆ネットワークシステム展2021 開催報告 （2021年12月9-11日）

　マイクロマシンセンター（MMC）は、2020年12月9日から11日までの3日間、東京ビッグサイトで開催された「MEMSセンシング＆ネットワークシステム展」に出展しました。

写真１　MMC展示ブース

　MMCブースでは、技術研究プロジェクトとして昨年度から開始した「量子干渉効果による小型時計用発振器の高安定化の基礎研究(HS-ULPAC:High Stability Ultra Low Powe Atomic Clock)」と今年度から開始した「環境調和型MEMS技術の研究開発に関する戦略策定(EfriM: Environment friendly MEMS)」の紹介を初め、MNOIC事業、標準化事業、SSN研究会の概要などを展示しました。
　また、ブース入口には「マイクロマシンセンター　活動の歩み」として、前述の2プロジェクトを含む、1991年のマイクロマシン技術研究開発プロジェクトからほぼ30年間に渡る研究開発PJの歴史を展示紹介しました。

写真２　活動の歩み

　また、会議棟102会議室において、12月9日～10日にかけて、スマートセンシング＆ネットワーク（SSN）研究会公開シンポジウム「MEMS次世代テクノロジーフォーラム」、環境調和型MEMSの研究開発シンポジウム、MEMS協議会フォーラム「MEMS講習会」、研究開発プロジェクト成果報告会を連続して開催しました。
　公開シンポジウムでは、MEMSの実用化・応用先として期待される次世代テクノロジー（5G、IoT、ロボット、AI、バイオ、自動運転など）に注目し、次世代MEMS市場、最先端のMEMS技術が社会および産業に貢献するビジョンや方向性についての講演が行われ、DX進展の中でAIとMEMS技術が重要であることや、人とのインターフェースや各種センシングにおけるMEMSの重要性について紹介がありました。

写真３　特別シンポジウム「MEMS次世代テクノロジーフォーラム」より

　環境調和型MEMSの研究開発シンポジウムではMMCブースで紹介しておりましたしました自然に溶け込む環境調和型MEMS(EfriM)」に関しましてその概要とそれが活躍する応用分野 並びにEfriMを実現するために必要な代表的な材料技術と製造技術についての講演があり、EfriMのサブプロジェクトリーダである東大伊藤教授からEfriMの概要説明を初め、防災科学技術研究所酒井副センター長のEfriMの必要性、東大磯貝特別教授の新規バイオ系ナノ素材の紹介、産総研鎌田センター長のプリンテッドエレクトロニクスの紹介がありました。

写真４「環境調和型MEMSの研究開発シンポジウム」より

　MEMS協議会フォーラムでは、MEMSに関する産業動向や近年注目されている圧電MEMS、異種材料集積などの最新技術をMEMS初心者にもわかりやすく解説が行われました。

写真５　MEMS協議会フォーラム「MEMS分野の産業動向と注目技術」より

　研究開発プロジェクト成果報告会では現在弊センターが研究開発している次の4件について報告がありました。

1. 「小型高安定で超低消費電力な原子時計の基礎研究」
2. 「超高効率データ抽出機能を有する学習型スマートセンシングシステムの研究開発」
3. 「『血中成分の非侵襲連続超高感度計測デバイスおよび行動変容促進システムの研究開発』の取組み状況について」
4. 「医療・健康を目的とした経皮ガス成分の超高感度バイオ蛍光センシング」

 　どの報告会も盛況で当該分野への関心の高さが伺われました。

写真６「研究開発プロジェクト成果報告会」より

　2021年度は2022年1月26日～28日、東京ビッグサイト東ホールで開催予定しております。

（MEMS協議会　八嶋　昇）

第39回マイクロナノ先端技術交流会／2020年度 第1回医療MEMS研究会 開催報告

　2020年10月22日（木）13:30 – 15:35に、「第39回マイクロナノ先端技術交流会／第1回医療MEMS研究会」をオンラインにて開催しました。

　今回の先端技術交流会／医療MEMS研究会は、「医薬品事業におけるCAEの活用事例と予防医学への応用研究」をテーマに、サイバネットシステム株式会社　CAE事業本部CAE第1事業部　メカニカル　第2技術部　副部長　三浦孝広様、東京大学　生産技術研究所　マイクロメカトロニクス国際研究センター　教授　金範埈先生にご講演いただきました。
産業界や大学から計84名の参加申込があり大盛況でした。

　最初のサイバネットシステム株式会社　三浦様からは、「ヘルスケア業界におけるデジタルエンジニアリングの活用事例」について、ご講演いただきました。
　内容は、経済産業省のデジタルトランスフォーメーション（DX）推進に係るヘルスケア業界における課題とデジタル技術への期待について、医薬品事業や様々な医療機器開発へのCAE活用事例と医療工学・診断技術を支援する新しいデジタルエンジニアリングについて詳しく紹介いただきました。
　この研究によって、ヘルスケア業界だけでなく製造業のサプライチェーンにおいて、イノベーションが起きるのではないか、と大きな期待を抱かせる内容でした。

　続いて東京大学　金先生からは、「生体分解性マイクロニードルバッチを用いた新規DDSとグルコースセンサーへの応用」について、ご講演いただきました。
　内容は、生体分解性材料を用いた医療機器による新規治療と予防医学への応用をお話いただきました。
　生体分解性材料を用いた医療機器としてマイクロニードルの話をされたのですが、その特徴だけでなく作製方法についても詳しく紹介いただき、ご参加いただいた産業界の方の興味を引く内容でした。
　また、先生の研究は、非侵襲の生体モニタリングだけでなく、非侵襲でのワクチン投与への応用が可能ということで、将来に向けて、大いなる期待を持ちました。

　最後に、今回は新型コロナ感染症の影響もあり、初めてオンラインによる開催を行いました。
　ご不便をお掛けした面も多々ございましたが、ご講演いただいた先生方をはじめ、ご参加いただいた多くの方々に、改めて感謝申し上げます。

（産業交流部　松下智彦　/　医療MEMS研究会　網倉正明）

第38回マイクロナノ先端技術交流会 （第1回医療MEMS研究会（SSN研究会WG5））（9月30日）開催報告

　2019年9月30日（月）の午後、マイクロマシンセンター内にて第38回マイクロナノ先端技術交流会（第1回医療MEMS研究会）を開催しました。

　今回の先端技術交流会は、「ヒトの理解に向けたセンシングの最前線」をテーマに、東北大学　産学連携機構　イノベーション戦略推進センター　特任教授　中村力先生、東京工業大学工学院　研究員　関口武治様、立命館大学　スポーツ健康科学　教授　藤田聡先生にご講演いただき、産業界や大学から42名が出席し大盛況でした。

会場の様子

　最初の中村先生からは、「飲み込みセンサ」について、ご講演いただきました。内容は、現状の体温測定の課題から深部体温測定の重要性をお話され、それを実現する手段として飲み込みセンサを提案されています。そして、その飲み込みセンサの構造や原理を詳しく紹介いただきました。さらに、深部体温測定が実現する様々なアプリケーションの提案もしていただき、これまで不明であった様々な病気や体調不良のメカニズムの解明が明らかになると大きな期待を抱かせる話でした。

　続いて関口様からは、「多方面での応用が期待されるダイヤモンド量子センサー」について、ご講演いただきました。内容は、固体量子センサの基礎から始まり、関口様が研究されているダイヤモンド中に形成される窒素（N）と空孔（V）からなる格子欠陥を用いたNVセンサの原理や特徴をお話いただきました。また、NVセンサの応用範囲もお話いただき、個人的には今後のヒトの脳の活動を簡便にセンシングできるセンサとして、大いなる期待をもちました。

　最後に、医療MEMS研究会からは、藤田先生より「筋肉の維持・増加に向けた栄養と運動介入」について、ご講演いただきました。内容は、サルコペニア（加齢に伴う筋量と筋機能の低下減少）の概要やその弊害、さらには筋量と筋機能の低下を抑えるための栄養摂取や運動のお話をしていただきました。ヒトが生産的な活動をし続けるには、体力の維持・向上がベースとなり、その大切さを改めて認識することができました。

　講演会後の懇親会では、ご講演いただいた先生方を囲んで、講演内容を中心に多くの意見がかわされました。

（産業交流部　松下智彦　/　医療MEMS研究会　網倉正明）