マイクロマシンセンター各種委員会及びMEMS協議会活動について

　今年はどんよりして湿っぽい梅雨らしい天気が続いておりますが、マイクロマシンセンターでは各種委員会及びMEMS協議会の活動を精力的に実施しております。

　まず、5月13日に、第45回先端技術交流会を開催し、「最新の半導体実装技術とMEMSの融合」をテーマに、産業技術総合研究所 ハイブリッド機能集積研究部門3D集積技術研究グループ 菊地克弥研究グループ長、及び東京大学 生産技術研究所 野村政宏教授にオンラインにてご講演を頂きました。（詳細は、先月号のブログ記事をご覧ください。）

6月29日には、今年度第1回の国際交流委員会（委員長：東京大学 伊藤寿浩教授）をオンラインで開催し、今年度の国際関連イベントの開催状況や、既に開催された第29回国際マイクロマシンサミット2026（英国・サウサンプトン、6月14日-17日）の参加報告がありました。（詳細は、今月の別のブログ記事をご覧ください。）

また、6月25日には、MEMS協議会活動をサポートする産業交流委員会を書面開催し、本協議会の昨年度活動結果と今年度活動計画など、MEMS協議会推進委員会の議題について報告いたしました。

　さらに、7月8日には第1回産業動向調査委員会を、7月24日には第1回MEMS事業者連携委員会を開催する予定としております。
　
　さて、MEMS協議会活動全般をとりまとめるMEMS協議会推進委員会は、7月1日、霞が関官庁街に隣接したAP虎ノ門会議室で開催されました。（写真１）

　まず、岡徹理事長（MEMS協議会会長）（写真２）による主催者挨拶として、MEMS事業者連携委員会において引き続きMEMSの競争力回復に向けた政策提言等に努めることや、MEMSファウンドリ事業が工程受託を中心に事業量を増やし、着実に活動を進めていることなどのお話がありました。

　次に、経済産業省情報産業課デバイス・半導体戦略室長の清水英路様（写真３）から、最新の半導体・デジタル戦略を巡る動きについてのご説明がありました。我が国産業の国際競争力強化と「強い経済」の実現の観点から、国産のフィジカルAIモデルを開発し、ロボット基盤モデルの開発能力を強化するとともに、ロボットOEMの育成やモーター、減速機、センサー、蓄電池等の重要部品の設計・製造能力を強化する施策を講じることで、2040年に米中と並ぶ第三極として世界シェアの３割超、20兆円市場を獲得するというものでした。そのためにMEMS協議会の参加企業とも政策の実現、具体化のため議論して、連携、政策協調されたいとのお話でした。

　経産省からはこのほか産業機械課、ロボット政策室、イノベーション政策課、IEC課、医療・福祉機器産業室から政策紹介が、またNEDO、産総研関連部門からは活動紹介などがおこなわれ、またアカデミアの観点からのご意見に加え、MEMS協議会メンバーからは、本日の説明を聞いて産業の立場からも微力ながら貢献したい、日本成長戦略会議の戦略17分野の中でフィジカルな部分が結構あって日本の強みを生かせるMEMSの領域もあるのでそこで経済合理性を企業としても突き詰めなければならない、といったご意見をいただくことができました。

　最後にご来賓や、ＭＭＣ賛助会員・アソシエートメンバー等も含め50名を超える参加者で行われたメンバー交流会では、企業や大学の枠を超えた本音の議論が繰り広げられました。本メンバー交流会のようなリアルに顔を合わせて議論を行う機会の重要性・貴重性を改めて実感したところです。（なお、交流会にはＭＭＣの賛助会員様をご招待しています。）

（写真1）2025MEMS協議会推進委員会
　　
　　　　（写真2）岡理事長　　　（写真3）清水デバイス・半導体戦略室長

（MEMS協議会事務局　濱田直春）

2026 第29回「国際マイクロマシンサミット｣（イギリス・サウサンプトン） 参加報告

　マイクロマシンサミットは、年に1回、世界各国・地域の代表団が集まり、マイクロマシン/ナノテクノロジーに関する課題や展望につき意見交換する
場です。日本の提案により1995年3月に京都で開催されたのが始まりで、以後、各国持ち回りで開催されています。第29回マイクロマシンサミット（図１）が、イギリスのサウサンプトンで、2026年6月14日(日)から17日(水)まで開催されましたのでご報告いたします。
　今回は特別のテーマを決めず、半導体 NEMS, 量子コンピューティングや他のマイクロナノに関連する最新技術が発表されました。日本からは東京大学大学院精密工学専攻の伊藤寿浩教授がチーフデリゲイトとなり、マイクロマシンセンター（MMC）の国際交流担当の武田と2名で参加いたしました。今回のジェネラルチェアは、イギリスのサウサンプトン大学のNick Harris教授で、会場はサウサンプトン大学でした。

図1　第29回マイクロマシンサミット概要

　今回は参加国・地域が例年より少なく、欧州から3カ国１地域（イタリア、ルーマニア、イギリス、イベリア）、北アメリカから１カ国（カナダ）、アジアから1カ国（日本）、オセアニアから１カ国（オーストラリア）の7国・地域から15名のデリゲイトの参加がありました。また、新たな参加国はございませんでした。最も参加者の多かったのはイベリア地域（スペイン）で5名が参加しました。会場の様子及び集合写真を写真1、写真2に示します。

写真1　会場の様子

写真2　集合写真

　第1日目はイギリスのチーフデリゲイトのサウサンプトン大学のNick Harris教授の開会の挨拶（写真3）の後、各国の現状を報告するチーフデリゲイトからのカントリーレビューとデリゲイトからの関連するプレゼンの計12件の発表がありました。日本からは伊藤チーフデリゲイトから日本の半導体デジタル戦略、AI/半導体戦略、産総研ハイブリッド集積研究部門、ムーンショットでの畜産センサ及びMEMS関連プロジェクトとして、ハプティックMEMSやスマートテキスタイルの取組み状況等の紹介がなされました（写真4：伊藤チーフデリゲイトのプレゼンの様子）。各国とも半導体、MEMS、フォトニックスと量子技術を一体として予算がついて研究開発を実施していますが、予算は縮小傾向にあることが分かりました。

写真3　 Nick Harris教授の開会の挨拶の様子

写真4　伊藤チーフデリゲイトによる日本のカントリーレビュー報告の様子

　また、2日目は「Future technologies and evolution」として以下の４つのテーマでそれぞれに関連する５件（計20件）の講演とパネルディスカッションが行われました。
・Session 1: Capabilities and Infrastructure
・Session 2: Advanced Packaging and Integration
・Session 3: Quantum and Photonics
・Session 4: Hardware for the Mind: Innovations in Memristive and Neuromorphic

Session１のパネルディスカッションの様子を写真5に示します。

写真5　Session1のパネルディスカッションの様子

テクニカルツアーとしては、6月17日(水)にサウサンプトン大学の施設見学を行いました（写真6：テクニカルツーの様子）。

写真6　テクニカルツアーの様子

 　高電圧ラボ、教育施設、PEM(Printed Electronics Material)ラボ及びZeplerクリーンルームを見学しました。Zeplerクリーンルームは当初予算£120Mをかけて建設された1,600m2のクリーンルーム（クラス10～10,000）で、イギリスにおける最大のクリーンルームとのことでした。Siの200mmのプロセスとフォトニックスの150mmのプロセスの一貫生産が可能で、MPW(Multi-project wafer)サービスを実施しています。特長としましては、日本以外では初導入のJEOLの200ｋVのEB露光装置を有するとともにガラスファイバー製造ラインも保有しています。

　次回のMMS2027は来年の6月に、イタリアにおいて、Institute for Microelectronics and Microsystems, CNR-IMM LecceのDr. Luca Franciosoがオーガナイザーを務め開催することが決まりました。開催場所に関しては、複数都市が候補として挙げられましたが、後日イタリア内部で関係者と調整した上で決めることとなりました。また、今回は特定のテーマを決めず、広く半導体 NEMS, 量子コンピューティングや他のマイクロナノに関連する最新技術としましたが、特定のテーマを決めた方が良いとの意見がチーフデリゲイト会議で出され、今回参加のチーフデリゲイトで構成するステアリング会議を開催し、そこでテーマを決定することになりました。今後もマイクロマシンサミットにおいて、世界各国のMEMS関係機関との国際交流を深め、世界のMEMSの最新動向を入手して、情報発信してまいります。

（MEMS協議会　国際交流担当　武田宗久）