「2024年度 分野別動向調査報告書」発行について（MMC「国内外技術動向調査委員会」）

　マイクロマシンセンターでは、国内外の最新かつ詳細なマイクロマシン・MEMSそしてナノ関連の研究開発の情報を収集・分析し、その技術動向を把握することを目的に、各年度MEMSの分野で代表的な国際会議を定点観測して、分野別動向調査報告書にまとめています。

　2024年度は“APCOT 2024 (The 11th Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology)”と“MEMS 2025(The 38th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems)”を調査しました。

　“APCOT”は、アジア、太平洋地域でのMEMS／ナノテク分野の研究開発事例が発表される国際会議で、2002年に中国・アモイ市で第1回が開催されて以来、2004年は札幌、2006年シンガポール、2008年台湾・台南、2010年オーストラリア・パース、2012年中国・南京、2014年韓国・大邱、2016年金沢、2018年香港と、国際会議Transducersの開催されない年に隔年で開催されています。第10回が開催予定であった2020年は新型コロナウィルス感染拡大のため中止となり、2022年に開催地を上海としてハイブリッド形態で開催され、第11回である今年は、シンガポールで開催されました。

　投稿件数は計11ヵ国から192件で、前回の129件から大幅に増加しました。その中から178件（前回118件）の論文が採択され、採択率は92.3％（前回91％）でした。
　国では、日本が前回は33件で2位でしたが今回は66件で1位となり、中国は前回の72件から減少し今回は56件で2位となりました。また、開催地であるシンガポールが、今回は21件（前回3件）と大幅に増加して3位となり、韓国が今回は10件（前回1件）で4位でした。
　発表内容の大分類別では、Fundamentals（基礎）が46件（26%）、Applied Devices/Systems（応用）が131件（74%）、どれにも該当しないものが0件（0%）で、基礎分野に関する発表と応用分野に関する発表件数の割合は、前回とほぼ同等でした。発表件数が多い分野は、Mechanical Sensorが26件と一番多く、RF-MEMSが20件、Radiation/Material Substanceが19件となりました。

　次に、“MEMS2025”は、IEEEのMEMS技術に関する国際会議で、毎年開催されています。38回目にあたる今回は、2025年1月19日～23日の日程で、台湾 高雄のKaohsiung Exhibition Centerで開催されました。
論文投稿数は729件（前回659件）で、昨年より約10%超増加しました。採択された論文数は、全体で328件（前回324件）、採択率は約45%（前回49%）でした。採択論文の地域別の割合では、アメリカ13％、ヨーロッパ&アフリカ9%、アジア&オセアニア78%となっており、アジア&オセアニア地域が大きな割合を占めています。
　地域別ではアジアが最も多く、国別では、昨年に続き中国が114件（前回99件）でトップ、日本44件（前回40件）、米国41件（前回81件）と続きました。アジア諸国では、韓国32件（前回18件）、台湾28件（前回30件）でした。
　発表内容の大分類別では、Fundamentals（基礎）が210件（全体の35.2%、前回は37.8%）、Applied Devices/Systems（応用）が384件（全体の64.3%、前回は61.5％）と、いずれの比率も前回と同程度でした。小分類別に見ると、件数が多いのは、Tissue/Organ & Medical Applications（76件）、Mechanical Sensor（72件）、Design and Modeling（56件）、Radiation/Material Substance Sensor（56件）、Others (Applied Devices/Systems)（49件）、Fabrication Technologies (non-Silicon)（45件）でした。

　報告内容の詳細は、マイクロマシンセンターホームページ内の賛助会員ページにてご覧になることができます。（※ログインには、ユーザーＩＤ及びパスワードの入力が必要です。）

（調査研究・標準部長　藤澤　大介）

JCK MEMS/NEMS 2025（7月6日～9日、沖縄）参加報告

　7月6日（日）から7月9日（水）に沖縄の青年会館及び沖縄科学技術大学院大学（OIST）で開催されましたJCK MEMS/NEMS 2025に参加しましたので、報告いたします。JCK MEMS/NEMSは日本－中国－韓国のMEMS/NEMS（Micro Electro Mechanical Systems / Nano Electro Mechanical Systems）に関するジョイントの会議で、今回が第16回目になります。 日本、韓国、中国の順に持ち回りで開催しており、新型コロナのため、一時オンラインやハイブリッド開催になりましたが、昨年から日本、中国、韓国から研究者が集まっての本格的な対面だけの会議に戻っております。今回は初めの2日間は沖縄青年会館で開催され、3日目はテクニカルツアーも含め、沖縄科学技術大学院大学に移動して開催されました。

　今回のジェネラルチェアは東京大学の伊藤寿浩教授で、参加者は74名でした。開催国の日本が48名で最も多く、中国は18名、韓国は6名でした。以下に示す中国、韓国、日本から各1件のプレナリートークと8件の招待講演（日本:2件、中国:4件、韓国:2件）、24件の口頭発表（日本:16件、中国:8件、韓国:0件）、14件のポスター発表（日本:9件、中国:2件、韓国:3件）の計49件の発表があり、MEMS/NEMS分野の最新の研究発表に関して活発な議論がなされました。日本のプレナリートークは沖縄科学技術大学院大学の久保先生でした。

【プレナリートーク】

① Progress and Status of Low Dimensional NEMS Resonators (Prof. Zenghui Wang, University of Electronics Science and Technology of China, CHINA
② A Study on Nanostructure Fabrication and Hybrid Specialty Film through the Nanoimprint Process (Honorary Researcher Eung-Sug Lee, Korea Institute of Machinery and Materials, KOREA)
③ A near-quantum-limited microwave amplifier using spins in diamond (Principal Researcher Scientist, Yuimaru Kubo, Okinawa Institute of Science and Technology Graduate University, JAPAN)

　国別の発表では日本28件、中国15件、韓国6件で、開催国の日本からの発表者が多いのは当然のことながら、韓国からの発表者が少し少なかったです。詳細のプログラムは以下のURLからご覧いただけます。

https://www.jckmemsnems2025.com/_files/ugd/213369_3289b894d74c430388e705efdc40dbc4.pdf

ジェネラルチェアの東京大学伊藤教授の開会挨拶、会場の様子及び集合写真を写真1～写真3にそれぞれ示します。

写真1　ジェネラルチェア（伊藤教授）の 挨拶


写真２　会場の様子


写真3　集合写真

　3日目はOISTのSYDNEY BRNNERECTURE THEATERで、OISTの久保先生のプレナリートークと西安交通大学のYao Chen教授の招待講演を受けた後、久保先生の実験室の見学を行いました。久保先生のプレナリートークの様子とOISTの建屋前の集合写真を写真4と写真5に示します。
　OISTは日本において真の国際的で学際的な高等教育を行うために設立された大学院大学で、整った施設で英語が大学の公用語となっており、5年一貫制の博士課程プログラムを提供しております。2012年に第一期生を受け入れて、今日に至っております。

写真4　久保先生のプレナリートークの様子


写真5　OISTの建屋前の集合写真

　次回のJCK MEMS/NEMS 2026は2026年7月～8月頃に韓国の釜山で開催されることがジェネラルチェアになる韓国KAISTのJungchul Lee先生からアナウンスされました。

（MEMSシステム開発センター長　武田　宗久）