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2025年1月10日 (金)

MEMS協議会 2024年度MEMS懇話会開催(2024年12月26日)

 MEMS懇話会は、MEMS協議会正メンバーの委員と経済産業省など行政側との意見交換を行う、年に一度の貴重な行事となっております。今年度のMEMS懇話会は、年の瀬の12月26日に、マイクロマシン・MEMS分野に係る現状及び各企業の取組みとMEMS産業復興に向けた行政側への要望等について、オンラインで意見交換を行いました(写真1)。


 最初に西澤格MEMS協議会会長(マイクロマシンセンター理事長)による主催者挨拶があり(写真2)、2023年度に立ち上げたMEMS事業者連携委員会及びNEDOから受託した「未来社会におけるMEMSセンシングデバイスの市場動向及び技術動向調査(SiM)」事業において、今後のMEMS研究開発戦略の議論を深めていることなどが紹介されました。

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写真1 オンライン会議の様子  写真2 西澤MEMS協議会会長 挨拶

 続いて、経済産業省 情報産業課 企画官の小林健氏から、最近の政策動向として、「半導体戦略の現状と今後」について紹介され(写真3)、12月23日に情報がアップデートされたばかりの国の半導体・デジタル戦略に基づき、半導体デバイスに関する部分を中心に、先端半導体製造基盤の確保、サプライチェーンの強靭化、後工程の技術開発、人材育成、「AI・半導体産業基盤強化フレーム」の策定方針、経済安全保障の観点からの支援の在り方などを説明いただきました。

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写真3 「半導体戦略の現状と今後」最新の政策紹介

 次に、長谷川英一MEMS協議会事務局長(マイクロマシンセンター副理事長・専務理事)から、MEMS事業者連携委員会の活動報告とMEMS産業の動向、昨年度に取りまとめた我が国MEMS事業者の動向に関する調査報告に基づく今年度のMEMS事業者連携委員会での議論の状況、特に経済安全保障推進法上の特定重要物資へのMEMSの指定を強く要望していることなどについて報告しました。

 これらの2つの話題提供の後、経済産業省、NEDO、産総研との意見交換が始まりました。今年度のテーマは「MEMSに関する自社の取組みと、MEMS産業再興のための行政への要望について」についてです。
 この中では、

  • 産官学各機関の技術力底上げと海外に対する競争力強化のため、技術開発と製品量産における投資、MEMSプロセス標準化の推進、技術者の人材育成への政府からの支援が必要。
  • 海外のデバイスメーカーやファウンドリへの過剰な依存を回避するため、産学一体となって取り組む開発拠点や体制構築について、最先端ロジック/メモリやアナログ等従来型半導体に加え、MEMS分野においても支援が必要。
  • 様々なMEMSデバイスに対応可能なプラットフォーム的なMEMS工場の立ち上げ、効率的なMEMS設計手法の確立等、国プロを通した形の親和性のあるテーマではないか。
  • 企業の競争力強化と国内MEMS産業拡大のため、先進的なMEMS製造ライン構築に向けた設備の導入・更新、プロセス技術開発への支援が必要。
  • MEMSに対する政策的投資の後押し、人材育成の観点からの産学連携推進、MEMSのインテリジェント化について、「学」の立場からも積極的に関与していきたい。

といった意見が出されました。
 それらを受けて、経済省、NEDO、産総研から、MEMSの高精度化へ向けた産業界から国への直接の要望をもっと届けてほしい、革新的・先進的センサ技術の開発に期待している、支援プログラムを活用して社会変革を視野に入れた技術を提案してほしい、整備中のつくばの装置・設備についてぜひ活用を検討いただきたい、といったコメントが出されました。

 今後MEMS協議会としては、本懇話会で出された意見を参考にして、日本のMEMS産業再興のために必要な研究開発を順次提案できるよう、SSN(スマートセンシング&ネットワーク)研究会やMEMS事業者連携委員会などにおいて多くのプレーヤーとともに検討を進めて参ります。

(MEMS協議会 事務局 濱田直春)

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IEC/TC47 国際標準化全体会議(ロンドン開催)参加報告(2024年11月25日~29日)

 IEC(国際電気標準会議)/TC47(半導体分野技術委員会)の国際標準化全体会議が、11月25日~29日に、英国・ロンドンのBSI(British Standards Institution) officeで開催され、関連する会議に参加しました。


 初日の11月25日には、IEC/TC47/WG7(Semiconductor devices for energy conversion and transfer)会議が開催されました。日本からは、兵庫県立大学 藤田孝之 教授、IEC SC47F国際幹事をつとめるマイクロマシンセンター 三原孝士 主幹研究員など3名が参加しました。会議では、現在WG7で審議中の規格案について議論されました。
 WG7における審議中のプロジェクトは、WGコンビナーの東京大学 鈴木雄二 教授が提案中の「IEC63150-2ED1:Measurement and evaluation methods of kinetic energy harvesting devices under practical vibration environment - Part 2: Human arm swing motion」、神戸大学 神野伊策 教授が提案中の「IEC63150-3ED1:Measurement and evaluation methods of kinetic energy harvesting devices under practical vibration environment - Part 3: Human foot impact motion」及び振動発電デバイスに関する新しい提案である「PNW47-2880 ED1:Reliability evaluation methods for vibration energy harvesters - Part 2: Temperature and humidity」、兵庫県立大学 藤田孝之 教授が提案中の「IEC63608-1ED1:Reliability evaluation methods for vibration energy harvesters - Part 1: Mechanical reliability under shock」の4件であり、文書回付状況、今後の予定について確認及び議論がなされました。
 会議では、兵庫県立大学 藤田教授から規格開発中の「IEC63608-1ED1:Reliability evaluation methods for vibration energy harvesters - Part 1: Mechanical reliability under shock」について、NP(New Work Item Proposal)投票時の各国NCからのコメントを反映したCD(Committee Draft)内容が説明され、CD回付することが承認されました。

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会議が開催されたBSI(British Standards Institution)

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会議室からの風景

 11月26日にはSC47F Officer/Convenor会議が開催されました。日本からはIEC/SC47FのWGコンビナーをつとめる古田氏、高島教授及び磯野教授、IEC SC47F三原国際幹事、宍戸准教授など6名が参加しました。
 会議では、SC47F議長の任期満了(2025/8/14)に伴うSC47F new chair nominationの手続き状況などについて意見交換されました。本件に関しては、IEC Technical Officerから幹事国である日本に後任議長推薦の意向確認があり、SC47F国内委員会において検討後、現議長のChoa氏(韓国)は最長任期であり再任は無いことから、韓国からの後任候補としてSC47F MT1コンビナーであるJoon-Shik Park氏を推薦しています。現在は、各国からのノミネーションの受付期間になります。
 また、来年に中国で開催予定の春季WG会議の開催候補地である石家荘市 HeBei Cuipingshan Guesthouseについて中国から紹介され、会議スケジュール、MEMS standardization Workshop構成内容などについて意見交換しました。このほか、SC47Fで発行されているIS(International Standard)について、適用デバイスなどに応じて分類し、ISの番号を採番し直すことについて、中国から提案があり、今後のWG会議で引き続き議論することで合意しました。

 11月27日にはTC47/SC47F/ WG1-3&MT会議(Micro-electromechanical systems)が開催されました。本会議には、各国から21名(日本6名、韓国9名、中国4名、ドイツ1名、アメリカ1名)が出席し、現在審議中の規格案、新規提案等について議論しました。
 本会議は、WG2コンビナーである韓国 Joon-Shik Park氏が議事進行をつとめられました。日本からは、IEC/SC47FのWGコンビナーをつとめる古田氏、高島教授及び磯野教授、IEC SC47F三原国際幹事、宍戸准教授など6名が参加しました。

 会議では、まず前回会議の議事録が確認され、続いて、IEC SC47F三原国際幹事から、IEC本部からの連絡事項、SC47F new chair nomination等について説明されました。各WGの活動概要については、各WGコンビナーが報告し、現在審議中の規格案について意見交換しました。
 WG1関連では、WG1活動概要、MEMS用語集である「IEC 60747-4:2008 ED1」のレビジョンアップ版の今後の予定等について説明されました。審議中プロジェクトの日本の案件として、名古屋工業大学 泉隼人 助教が提案している「IEC 62047-51:Test method of electrical characteristics under two-directional cyclic bending deformation for flexible micro-electromechanical devices」について、共同プロジェクトリーダーの宍戸准教授により文書回付状況、今後の予定について説明されました。本プロジェクトはNP投票の結果、コメント付きで承認されており、各国コメントへの対応について、プロジェクトリーダーが検討し、CD回付中になります。
 また、既に成立している国際規格ISのメンテナンスを管理するMT1では、事前に調査したIS見直し期限の変更について、高島教授が説明し、承認されました。今後提案予定の規格案を紹介するFuture Worksのセッションにおいては、中国、韓国から下記発表がありました。
 現在SC47Fでは、11件の審議中のプロジェクトがあり、内訳は日本2件、韓国3件、中国6件となっています。更に中国4件、韓国2件の計6件の新規提案が予定されています。

Future Works

  • RF MEMS Couplers(中国)
  • Test methods for sensing performances of MEMS resonant electric-field-sensitive devices(中国)
  • Test method of MEMS thermopile devices(中国)
  • MEMS differential pressure flowmeter(中国)
  • Twisting and tensile hybrid test methods for conductive thin film materials(韓国)
  • Evaluation methods of strain for stretchable hybrid MEMS materials(韓国)

 最後に、来年の5月に中国で開催される予定の本WG春季会議について、Sung Hoon Choa SC47F議長が説明しました。

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TC47/SC47F/WG1-3&MT1会議の様子

 11月28、29日には、それぞれTC47/SC47F Plenary会議、TC47 Plenary会議が開催され、WG及びSCにおいて決議された内容について各主査及び議長が報告しました。予定していた議題全てを円滑に議論でき、各国主査やPLと会議前後の時間に交流を図ることができ、充実した会議となりました。

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TC47/SC47F Plenary会議集合写真

(調査研究・標準部長 藤澤 大介)

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