「2023年度 分野別動向調査報告書」発行について （MMC「国内外技術動向調査委員会」）

　マイクロマシンセンターでは、国内外の最新かつ詳細なマイクロマシン・MEMSそしてナノ関連の研究開発の情報を収集・分析し、その技術動向を把握することを目的に、各年度MEMSの分野で代表的な国際会議を定点観測して、分野別動向調査報告書にまとめています。

　2023年度は“Transducers2023（The 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems）”と“MEMS2024（The 37th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems）”を調査しました。

　“Transducers”は、マイクロセンサ、マイクロアクチュエータに関する最先端の研究開発事例が発表される国際会議で、1981年の米ボストンでの第1回会合以来、隔年で開催されています。今回のTransducers2023は22回目で、2023年6月25日～29日の日程で、京都で開催されました。参加者数1037名、論文投稿数は863件で、前回の550件より57%増加しました。採択件数は483件（口頭196件、ポスター287件）で、採択率は56.0%でした。加えて、Late Newsへの投稿139件からも71件が、ポスターとして採択されました。国別では、日本が最多の49件で（前回29件）、続いて中国48件（前回40件）、台湾20件（前回12件）、米国17件（前回29件）という各国からの発表件数でした。発表内容の大分類別では、Fundamentals（基礎分野）が、前回34件から今回44件となり、発表件数が増加しました。Applied Devices/Systems（応用分野）では、Mechanical Sensor（20件）、Chemical Sensor（21件）、Bio Science（25件）、Bio Medical Applications（22件）などが、多くの件数を占めていました。前回から件数の増加が目立つものとして、Bio Scienceが前回10件から25件と2.5倍の発表件数でした。

　次に、“MEMS2024”は、IEEEのMEMS技術に関する国際会議で、毎年開催されています。37回目にあたる今回は、2024年1月21日～25日の日程で、米 オースティンで開催されました。論文投稿数は659件（前回636件）で、昨年より約4%程度増加しました。採択件数は324件（前回314件）、採択率は約49%（前回49%）でした。プレナリーを含む地域別発表論文数は、米州81件（前回43件）、欧州29件（前回57件）、アジア太平洋214件（前回212件）となり、開催地である米州の発表論文数が前回から大幅に増加しました。地域別では、アジアが最も多く、国別では、昨年に続き中国が99件（前回83件）でトップ、米国81件（前回40件）、日本40件（前回54件）と続きました。発表内容の大分類別では、Fundamentals（基礎分野）が221件（全体の37.8%、前回は36.0%）、Applied Devices/Systems（応用分野）が360件（全体の61.5%、前回は63.5％）と、発表の比率は前回と同程度でした。小分類別に見ると、件数が多いのは、Fabrication Technologies (Non-Silicon)（66件）、Tissue/Organ & Medical Applications（58件）、Radiation/Material Substance Sensor（57件）、Others (Applied Devices/Systems)（54件）、Mechanical Sensor（51件）、Actuators（50件）でした。

　報告内容の詳細は、2023年度分野別調査報告書冊子のほか、マイクロマシンセンターのホームページ内の賛助会員のページにてご覧になることができます。（※ログインには、ユーザーＩＤ及びパスワードの入力が必要です。）

（調査研究・標準部長　藤澤　大介）