「2022年度 分野別動向調査報告書」発行について （MMC「国内外技術動向調査委員会事業」）

　マイクロマシンセンターでは、国内外の最新かつ詳細なマイクロマシン・MEMSそして近年活発化しているナノ関連の研究開発の情報を収集・分析し、その技術動向を把握することを目的に、各年度MEMSの分野で代表的な国際会議を定点観測して、分野別動向調査報告書にまとめています。

　2022年度は“APCOT 2022（The 10th ASIA-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology）”と“MEMS 2023（The 36th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems）”を調査しました。

　“APCOT2022”は、アジア、太平洋地域でのMEMS／ナノテク分野の研究開発事例が発表される国際会議で、2002年に中国・アモイ市で第1回が開催されて以来、2004年は札幌、2006年シンガポール、2008年台湾・台南、2010年オーストラリア・パース、2012年中国・南京、2014年韓国・大邱、2016年金沢、2018年香港と、国際会議Transducersの開催されない年に隔年で開催されています。
　第10回が開催予定であった2020年は新型コロナウイルス感染拡大のため中止となり、2022年 5月29日(日)～6月1日(水)の日程で開催地を上海としてハイブリッド形態で開催されました。
　投稿件数は129件で、前回の157件から僅かに減少しました。その中から118件（前回143件）の論文が採択され、採択率は91％（前回91％）でした。
　国別では中国が72件（前回45件）でトップ、2位、日本33件（前回42件）と続きました。次いで、台湾とシンガポールが3件、タイとオーストラリアが2件、韓国が1件となりました。
　発表内容の大分類別では、Fundamentalsが33件（28%）, Applied Devices/Systemsが83件（71%）、どれにも該当しないものが1件（1%）で、応用分野に関する発表と基礎分野に関する発表の割合は、前回とほぼ同等でした。発表件数が多い分野は、Fundamentals Othersが16件と一番多く、Chemical Sensorが13件、Design and Modeling、OpticalおよびRF-MEMSで11件となりました。

　次に、“MEMS2023”は、IEEEのMEMS技術に関する国際会議で、毎年開催されています。36回目にあたる今回は、2023年1月15日～19日の日程で、独 ミュンヘンで開催されました。
　投稿件数は636件（前回600件）で、昨年より6%程度増加しました。採択された論文数は全体で314件（前回275件）、採択率は約49%（前回46%）でした。プレナリーを含む地域別発表論文数は米州43件（前回56件）、欧州57件（前回41件）、アジア太平洋212件（前回172件）となり、前回とほぼ同水準でした。
　地域別ではアジアが多く、昨年に続き中国が83件（前回70件）でトップ、日本54件（前回57件）、米国40件（前回54件）と続きました。このほか、アジア諸国では、台湾33件、韓国23件で、欧州では、ドイツ13件（前回5件）、オーストリア11件（前回1件）、オランダ6件（前回10件）となりました。
　発表件数が多い分野は、Mechanical Sensor（65件）、Radiation/Material Substance Sensor（66件）、Fabrication Technologies (non-Silicon)（47件）、Fluidic（42件）、Design and Modeling（38件）、Others (Applied Devices/Systems)（38件）、Actuators（35件）となりました。

　報告内容の詳細は、2022年度分野別調査報告書冊子のほか、マイクロマシンセンターのホームページ内の賛助会員のページにてご覧になることができます。

（調査研究・標準部長　藤澤　大介）