「2021年度 分野別動向調査報告書」発行について

　マイクロマシンセンターでは、国内外の最新かつ詳細なマイクロマシン・MEMSそして近年活発化しているナノ関連の研究開発の情報を収集・分析し、その技術動向を把握することを目的に、各年度MEMSの分野で代表的な国際会議を定点観測して、分野別動向調査報告書にまとめています。

　2021年度は“Transducers 2021（The 21th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems）”と“MEMS2022（The 35th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems）”を調査しました。

　“Transducers 2021”はマイクロセンサ、マイクロアクチュエータに関する最先端の研究開発事例が発表される国際会議で、1981年にボストン（米）での第1回会合以来、隔年に開催されています。
　今回は21回目となります。新型コロナウイルス感染拡大の影響で、2021年6月20日から25日にヴァーチャルで開催されました。
　投稿件数は550件で前回の1528件より64%減少しました。採択件数は395件（口頭136件、ポスター218件、その他41件）で、採択率は71.8%（前回42.9%）でした。
　地域別ではアジアが多く、国別では中国が40件（前回41件）でトップ、前回最多であった米国が29件（前回57件）で2位、日本29件（前回40件）と続きました。アジア諸国では台湾12件（前回10件）、シンガポール8件（前回1件）でした。欧州は、ドイツ6件（前回14件）、ベルギー6件（前回3件）、スイス5件（前回6件）等となりました。
　発表件数が多い分野は、Mechanical Sensor（38件）、Radiation/Material Substrate Sensor（14件）、Medical Power-MEMS（13件）、Fabrication Technologies (non-Silicon)（12件）、Medical Systems（12件）、Actuators（11件）となりました。

　“MEMS2022”はIEEEのMEMS技術に関する国際会議で、毎年開催されています。
今回は35回目となります。コロナウイルス感染拡大の影響で、2022年1月9日から13日にハイブリッドで開催されました（対面開催地は東京）。
　投稿件数は600件（前回518件）で、昨年より16%程度増加しました。採択された論文数は全体で275件（前回250件）、採択率は約46%（前回52%）でした。
　地域別ではアジアが多く、国別では、昨年に続き中国が70件（前回89件）でトップ、日本57件（前回41件）、米国54件（前回56件）、と続きました。アジア諸国は、台湾19件（前回13件）、韓国10件（前回9件）でした。欧州は、オランダ10件（前回2件）、イタリア7件（前回4件）、スイス6件（前回8件）、ドイツ5件（前回6件）等となりました。
　発表件数が多い分野は、Mechanical Sensor（68件）、Fabrication Technologies (non-Silicon)（42件）、Actuators（41件）、Design and Modeling（38件）、Fluidic（38件）、Tissue/Organ & Medical Applications（38件）、Radiation/ Material Substance Sensor（36件）、Material（33件）となりました。

　報告内容の詳細は、2021年度分野別調査報告書冊子のほか、マイクロマシンセンターのホームページ内の賛助会員のページにてご覧になることができます。

（調査研究・標準部長　時岡　秀忠）