MMC創立30周年記念講演会（1月28日）開催報告

　「MEMSセンシング＆ネットワークシステム展2022」の最終日に、東京ビッグサイト会議棟にてMEMS協議会フォーラム「MMC創立30周年記念講演会」を開催いたしました。

● 1月28日 10:15-11:45：MMC創立30周年記念講演会 ＠607+608会議室
第１部　TIA-MEMSウィンターセミナー　MEMS講習会
　　　　「MEMS分野の産業動向と注目技術」

　午前中の第１部は主に学生や若手技術者向けに「TIA-MEMSウィンターセミナー　MEMS講習会」を開催しました。
　初めに、MMCの長谷川専務理事からMMC産業動向調査委員会によるMEMS技術の進展の歴史と、今後20年のMEMS関連技術の進展予測した調査結果を報告しました。
　次に、静岡大学橋口教授から、近年注目されている環境発電デバイス（エナジーハーベスタ）などの新機能MEMSに使われるエレクトレット技術について、そして立命館大学の小西教授から、長年MEMSの国際会議運営に携わってきた先生によるMEMSの研究開発動向と、つい先日に開催されたMEMS2022の速報を交え、MEMS関連研究開発動向について報告がありました。

写真1　MEMS講習会

● 1月28日 13:15-16:00：MMC創立30周年記念講演会 ＠607+608会議室
第２部　「ＭＥＭＳの過去30年と今後の20年の技術展望」と
　　　　　パネルディスカッション

　午後の第２部は、MMC３０周年特別企画として、30年の歴史をMEMSなどの微細加工、半導体製造技術の進歩とともに振り返り、未来へ続いていくために必要なことを、産業界、大学、国立研究所を代表する方々による基調講演とパネルディスカッションで展望しました。
　山中MMC理事長による開会挨拶と、経済産業省産業機械課の安田課長からの来賓ご挨拶の後、基調講演の１番目として、「MEMSの発展が世界を変革　～過去、現在、未来～」というタイトルでSPPテクノロジーズエグゼキュティブシニアアドバイザーの神永 晉氏から、過去数10年にわたって著しい発展を遂げたMEMSの原動力であったシリコン深掘り技術を中心とする微細加工技術の更なる進化と、今後どのような世界を創出するかの展望が語られました。
　次に基調講演の2番目「オタクあがりのモノづくり人生」というタイトルでMEMSコアCTOで、東北大学マイクロシステム融合研究開発センター シニアリサーチフェローの江刺 正喜先生から、半導体微細加工をベースにしてセンサなどの多様な部品をつくるMEMSの研究を自作した装置などを使うことで、費用がかからず自由度の多い形で研究を行っていたという半生が紹介されました。
　そして、最後は「これからのMEMSの技術展望」について、基調講演のお二人に加え、パネリストとして、富山県立大学学長の下山 勲先生と産総研の上級執行役員　金丸 正剛TIA推進センター長の４人でモデレータの長谷川専務の進行でディスカッションしました。　我が国としてMEMSの技術面で、どこをどう伸ばしていくべきかとか、MEMSによって描くことのできる未来の産業や社会の姿などについて、会場で聴講されていた、西安交通大の前田龍太郎先生も交えて、熱く議論がされました。

写真2　パネル討論会

（MEMS協議会　八嶋　昇）