MEMSセンシング＆ネットワークシステム展2021 開催報告 （2021年12月9-11日）

　マイクロマシンセンター（MMC）は、2020年12月9日から11日までの3日間、東京ビッグサイトで開催された「MEMSセンシング＆ネットワークシステム展」に出展しました。

写真１　MMC展示ブース

　MMCブースでは、技術研究プロジェクトとして昨年度から開始した「量子干渉効果による小型時計用発振器の高安定化の基礎研究(HS-ULPAC:High Stability Ultra Low Powe Atomic Clock)」と今年度から開始した「環境調和型MEMS技術の研究開発に関する戦略策定(EfriM: Environment friendly MEMS)」の紹介を初め、MNOIC事業、標準化事業、SSN研究会の概要などを展示しました。
　また、ブース入口には「マイクロマシンセンター　活動の歩み」として、前述の2プロジェクトを含む、1991年のマイクロマシン技術研究開発プロジェクトからほぼ30年間に渡る研究開発PJの歴史を展示紹介しました。

写真２　活動の歩み

　また、会議棟102会議室において、12月9日～10日にかけて、スマートセンシング＆ネットワーク（SSN）研究会公開シンポジウム「MEMS次世代テクノロジーフォーラム」、環境調和型MEMSの研究開発シンポジウム、MEMS協議会フォーラム「MEMS講習会」、研究開発プロジェクト成果報告会を連続して開催しました。
　公開シンポジウムでは、MEMSの実用化・応用先として期待される次世代テクノロジー（5G、IoT、ロボット、AI、バイオ、自動運転など）に注目し、次世代MEMS市場、最先端のMEMS技術が社会および産業に貢献するビジョンや方向性についての講演が行われ、DX進展の中でAIとMEMS技術が重要であることや、人とのインターフェースや各種センシングにおけるMEMSの重要性について紹介がありました。

写真３　特別シンポジウム「MEMS次世代テクノロジーフォーラム」より

　環境調和型MEMSの研究開発シンポジウムではMMCブースで紹介しておりましたしました自然に溶け込む環境調和型MEMS(EfriM)」に関しましてその概要とそれが活躍する応用分野 並びにEfriMを実現するために必要な代表的な材料技術と製造技術についての講演があり、EfriMのサブプロジェクトリーダである東大伊藤教授からEfriMの概要説明を初め、防災科学技術研究所酒井副センター長のEfriMの必要性、東大磯貝特別教授の新規バイオ系ナノ素材の紹介、産総研鎌田センター長のプリンテッドエレクトロニクスの紹介がありました。

写真４「環境調和型MEMSの研究開発シンポジウム」より

　MEMS協議会フォーラムでは、MEMSに関する産業動向や近年注目されている圧電MEMS、異種材料集積などの最新技術をMEMS初心者にもわかりやすく解説が行われました。

写真５　MEMS協議会フォーラム「MEMS分野の産業動向と注目技術」より

　研究開発プロジェクト成果報告会では現在弊センターが研究開発している次の4件について報告がありました。

1. 「小型高安定で超低消費電力な原子時計の基礎研究」
2. 「超高効率データ抽出機能を有する学習型スマートセンシングシステムの研究開発」
3. 「『血中成分の非侵襲連続超高感度計測デバイスおよび行動変容促進システムの研究開発』の取組み状況について」
4. 「医療・健康を目的とした経皮ガス成分の超高感度バイオ蛍光センシング」

 　どの報告会も盛況で当該分野への関心の高さが伺われました。

写真６「研究開発プロジェクト成果報告会」より

　2021年度は2022年1月26日～28日、東京ビッグサイト東ホールで開催予定しております。

（MEMS協議会　八嶋　昇）