「微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム シンポジウム」でMNOIC展示

　MEMS、ナノテク、微細加工技術の情報発信と関係者の交流を目的に、文部科学省の委託事業である微細加工ナノプラットフォームについてのシンポジウムが3月9日（金）、東京大学                   浅野キャンパス　武田先端知ビル武田ホールにて開催されました。ここ数年、本シンポジウムにMNOIC（マイクロナノ・オープンイノベーションセンター）の概要とサービスの内容についてポスター展示しておりますが、本年のシンポジウムの内容についてご報告します。
               
   この微細加工ナノプラットフォームシンポジウムは、最先端のナノテクノロジーの研究開発動向と、微細加工ナノプラットフォームを活用し産学官の緊密な協力の下で生まれた技術開発の成功事例、ならびに現在開発を進めている企業の生の声などを紹介するものです。冒頭、本プラットフォームコンソーシアムの16実施機関を代表して、国立研究開発法人物質・材料研究機構理事の小出康夫氏から、本プラットフォームを利用することで、異分野融合によるイノベーションの創出や、大学から企業への技術移転がより一層促進されていることや、最近ではマテリアルズ・インフォマティクスにかかるプロセス知識データプラットフォーム構築に注力していることが報告されました。そして、文部科学省研究振興局参事官　齋藤康志氏の来賓挨拶の後、基調講演として「バイオ・ナノテクからIoTまで：微細加工の可能性」と題し、１週間前に退官記念講演をされたばかりの東京大学大学院工学研究科藤田博之教授のMEMS黎明期から、今日の成熟したMEMS実用期までの代表的なMEMS研究例をレビューする格調高いお話がありました（写真1）。
                                     

                  
                  写真１　藤田先生の講演

                  

　続いて、特別講演として、「宇宙・天文とMEMS技術」宇宙航空研究開発機構（JAXA）宇宙科学研究所　和田武彦助教、「富士電機のセンシング技術のご紹介」富士電機株式会社技術開発本部 先端技術研究所システム基盤技術研究部長　武居正彦氏、「ダイヤモンド固体量子センサの可能性」東京工業大学工学院電気電子系波多野睦子教授から、3件の講演がありました。JAXA和田先生の講演ではX線ミラーの加工例、富士電機武居部長の講演では、今後もMEMS技術がシステムの価値を高めるキー技術であるということ、東工大波多野先生の講演では、パワーデバイス内部の電界計測の研究例がそれぞれ印象深い講演でした。
                  
   休憩後、微細加工ナノプラットフォームの利用事例として、「トレンチ構造を設けた酸化ガリウムショットキーバリアダイオード」株式会社 ノベルクリスタルテクノロジー／タムラ製作所佐々木公平氏、「分子間相互作用の検出に向けた圧電MEMSセンサの開発」名古屋工業大学　高柳真司助教からの紹介がありました。佐々木氏は、ナノプラットフォームをフル活用し、一機関で一気通貫のプロセスするのではなく、手間を惜しまずそれぞれのプロセスに最も長けた機関を選んで、複数の実施機関をまたがってデバイス作製しており、新しいプラットフォーム利用法として注目されます。最後にプロセス技術開発事例として東京大学　超微細リソグラフィー・ナノ計測拠点の澤村智紀氏から、高速大面積電子線描画装置についての紹介がありました。講演会終了後は、ポスターセッションと意見交換会が武田ホールホワイエで開かれました(写真2)。
                                     

                  写真２　ポスターセッションの様子

                  

   ポスター展示には、微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム16機関に加え、協賛機関、協力機関もセッションに参加し、各機関の特色に重きを置いた説明が各所で行われました。MNOICでは、微細加工ナノプラットフォームで開発された成果の技術移転先として従来より注目されており、本コンソーシアムとの連携をさらに強化することで、研究開発から商品開発までのリードタイムを短縮し、我が国の産業競争力強化と次代を担う人材の育成につながる活動を継続してまいります。
                  

（MEMS協議会　渡辺　秀明）