「新年のご挨拶」

新年あけましておめでとうございます。

　本年はSociety5.0の実現を世界に打ち出していくための新たな産業・社会の在り方として、「コネクテッド・インダストリーズ」に大きな注目が集るとされています。特に、製造現場、自動走行、健康・医療・介護等の現実の「リアルデータ」を巡る競争が激しくなると予想されていますが、その「リアルデータ」を収集する最前線にMEMSを中心とする多様なセンサが位置しています。従いまして、ナノ・マイクロ技術分野における研究開発や普及促進等を長年担ってきた私どもマイクロマシンセンターの責任はさらに重くなっていくものと考えております。

　仏のヨール社によれば、世界のMEMS市場は消費者用や自動車用がけん引し、2017年の132億ドルから2022年には254億ドルと年率14％で伸びるとされています。MEMSデバイスとしては、スマホの4G/5G 化の進展によりMEMSフィルタの伸びが大きく、従来からの慣性センサ、圧力センサ、ジャイロなどを凌駕していくと見られます。

　このような中、当センターでは2000年代に注力したMEMS技術そのものの研究開発から、2010年代にはセンサネットワーク技術にシフトし、現在は道路やライフラインのインフラモニタリングに加えて、ファクトリやプラントのスマートセンシングの研究開発に注力しています。そして、昨年は経産省・NEDOがコネクテッド・インダストリーズの重点分野として推しているロボティクスや自動走行の鍵となるAI融合高精度物体認識システムの研究開発に着手しました。

　また、それらの研究開発を支えるMEMS試作ファンドリとして、7年前に開設したつくばの「マイクロナノオープンイノベーションセンター（MNOIC）」も今や中小・ベンチャーを含む40社以上からの研究や工程の受託により、フル稼働の状況にあります。さらに設備整備や技術向上に努めて、我が国のMEMS開発需要に応えてまいります。

　そして、上述の成果などを公開する場として、昨年、MEMSセンシング＆ネットワークシステム展を刷新して、初めてCEATECと同時開催とし、5万人を超える来場者の方々にお出でいただくことができました。本年はさらにCEATECやAll about Photonics展とのシナジー効果を高め、IoTシステム、さらにはコネクテッド・インダストリーズの最先端技術展としてのプレゼンスを高めてまいります。

　当センターとしましては、本年もMEMS・スマートセンシング技術の開発や普及に真摯に取り組み、我が国のコネクテッド・インダストリーズの推進に微力ながらも貢献してまいりますので、引き続きご指導、ご鞭撻の程、よろしくお願いいたします。

　皆様方には以下の10大ニュースをご覧いただき、このような私どもの活動状況をご賢察いただければ幸いです。

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＜10大ニュース＞
(1)MEMSセンシング＆ネットワークシステム展、初のCEATEC同時開催で盛況裡に開催される
　2017年 10月 4日（水) から6日（金）まで幕張メッセで開催された「MEMS センシング&ネットワークシステム展 2017」は、３日間の開催期間を終え、盛況の内に閉幕しました。来場された皆様方に御礼申し上げます。特に、最終日である6日（金曜日）は、午後から雨との予報にもかかわらず多くの来場者がありました。

　国際会議室では、初日は、MEMS協議会フォーラムを13:30から16:10まで開催いたしました。2日目は、研究開発プロジェクト成果報告会を開催いたしました。最終日は、国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウム及びスマートセンシング＆ネットワーク（SSN)研究会公開シンポジウムが12:30から16:40まで開催致しました。何れのシンポジウムも多くの聴衆が熱心に聞き入っておりました。
　会期中の様子は以下を参照ください。
　(初日)
　http://www.nanomicro.biz/mems/2017/10/mems-12e5.html
　(2日目)
　http://www.nanomicro.biz/mems/2017/10/mems-2017-1dd9.html
　(3日目)
　http://www.nanomicro.biz/mems/2017/10/mems-20173-62b6.html
　ナノテクシンポジウム及びスマートセンシング＆ネットワーク（SSN) 研究会公開シンポジウムにつきましては以下を参照ください。
　http://www.nanomicro.biz/mems/2017/10/mems-2017-2928.html

　今回ご来場頂きました皆様に御礼申し上げます。

　来年は10月17日（水）～19日（金）に今回と同様、幕張メッセにおいて、CEATEC JAPANと同時開催を予定しております。

また来年もご来場頂けますよう関係者一同お待ちしております。

(2)NEDO委託事業「空間移動時のAI融合高精度物体認識システムの研究開発(AIRs)」が採択され、プロジェクトを開始する
　このたび国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）の「次世代人工知能・ロボット中核技術開発／次世代人工知能技術分野(先導研究)」において、国立大学法人東京大学、国立大学法人電気通信大学、国立研究開発法人産業技術総合技術研究所、オリンパス株式会社、株式会社デンソー及び一般財団法人マイクロマシンセンターの産官学連携チームが受託した「空間移動時のAI融合高精度物体認識システムの研究開発(AIRs)」がスタートし、それに伴い第1回研究推進委員会・キックオフ会議を10月3日（火）、東京大学工学部2号館3階31A 機械系会議室にて実施しました。
　本キックオフ会議には、経済産業省及びNEDOからのご来賓の臨席を賜り、プロジェクトに参画する各社/各機関の研究者及び事務局メンバ総勢30名が参加しました。
　その概要及びキックオフの様子は以下を参照ください。
　http://www.nanomicro.biz/mems/2017/10/nedoaiairs-0e17.html

(3)"SSIの国際標準化に向けてIECウラジオストック総会で準備が進むなど、薄膜MEMSも含め標準化分野でMMCの内外プレゼンスが高まる中、IECより竹内 南 主幹研究員に感謝状が贈られた また、2017年、日本から提案の2件のMEMS分野関連規格案がIEC国際規格として発行される"
　IEC（国際電気標準会議）／TC47（半導体分野技術委員会）／SC47F（MEMS分野分科委員会）にて、提案を行っておりました、日本からの規格案2件が、今年（2017年）、国際規格として発行されました。

　1件目は、東京大学・大学院工学系研究科・機械工学専攻の鈴木雄二教授がプロジェクトリーダとして提案のエレクトレット振動発電デバイスの規格案「IEC 62047-28：Semiconductor devices – Micro-electromechanical devices – Part 28: Vibration-driven MEMS electret energy harvesting devices MEMS」が、2017年1月にIEC国際規格として発行されました。
　MEMS応用分野として周囲の環境に存在する微小なエネルギーを収穫するエレクトレット振動発電デバイスの特性（性能）表示とその測定法を標準化しました。
　2件目は、神戸大学大学院工学研究科機械工学専攻の神野伊策教授がプロジェクトリーダとして提案のMEMS圧電薄膜の電気機械変換特性の測定方法の規格案「IEC 62047-30：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 29: Electromechanical relaxation test method for freestanding conductive thin-films under room temperature」が、2017年9月にIEC国際規格として発行されました。MEMS圧電薄膜のアクチュエータ応用を目的とする逆圧電特性の測定方法を標準化しました。
　詳細は以下を参照ください。
　http://www.nanomicro.biz/mems/2017/12/20172memsiec-3e.html

(4)「道路インフラ状態モニタリング用センサシステム研究開発プロジェクト（RIMS)」及び「ライフラインコアモニタリングシステム研究開発プロジェクト(UCoMS)」が研究開発成果を踏まえ実証実験を開始、最終段階に突入する
　新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）の委託事業「インフラ維持管理・更新等の社会課題対応システム開発プロジェクト」において、技術研究組合NMEMS技術研究機構（以下NMEMS組合）が提案した「道路インフラ状態モニタリング用センサシステムの研究開発」が採択されました。
　また、社会・産業インフラ維持管理・更新等の重要な社会課題の一つである都市機能を支えるライフライン系の都市インフラ（電気、ガス、上下水道、情報、エネルギー）の安全な保全のためのセンサーモニタリングシステムの研究開発を実施するものです。
　RIMS研究開発では、道路インフラ状態モニタリング用センサ端末及びモニタリングシステムの研究開発、道路インフラ状態モニタリング用センサシステム共通基盤技術の研究開発、道路インフラ状態モニタリング用センサシステムの実証及び評価研究、センサ端末同期用原子時計の研究開発を行い、高速道路等で実証実験を行っている。
　UCoMS研究開発では、コアモニタリング用センシング・発電デバイスの開発、コアモニタリング用AIN圧電デバイスの上はレベルパッケージ技お術の開発、コアモニタリング用センサ端末の開発、小網に多リング用ネットワークシステムの開発、コアモニタリングシステムの開発と実証を行っており、多くの成果を上げている。

(5)今年もMEMS講習会、マイクロナノ先端技術交流会、海外調査報告会等セミナー活動が活発に展開される
　第33回先端技術交流会を2月14日の午後、マイクロマシンセンター新テクノサロンで開催いたしました。
　テーマは「グリーンIoT 社会に向けたMEMS の新たな取組み」として、東北大学　多元物質科学研究所の教授　栗原一恵先生からは「ナノトライボロジーによるMEMSへの新たな期待」と題して、そして、東京工業大学　科学技術創世研究院院長である、教授　益 一哉先生からは「IoT社会に向けた、異種集積MEMS技術の新展開」と題してご講演をいただきました。
　http://www.mmc.or.jp/info/monthly/17-01/index.html

　第27回MEMS講習会を3月9日にまちなかキャンパス長岡において、開催致しました。MEMS講習会は、MEMS協議会に所属するMEMSファンドリーネットワーク企業を中心に企画され、都内と地方都市で年に１回ずつ開催しています。 　今回は「MEMS技術を利用した地域活性化」をテーマに、長岡地区の大学や企業と連携してＭＥＭＳ産業の育成に取り組まれている新潟県総合技術研究所と、にいがたナノ基盤技術実践会、との共催で、地元企業とのビジネス交流を目的として、開催いたしました。当日は、あいにくの雪となりましたが、４７名もの参加者を得て、MEMS分野で最先端の研究開発をされている研究者による特別講演と、長岡地区の企業とMEMSファンドリーネットワークの双方からの報告により、ＭＥＭＳ技術の事業への活用について議論する貴重な場となりました。
　http://www.nanomicro.biz/mems/2017/03/27mems-fd9a.html　

　第２８回MEMS講習会及び第１回学生・若手技術者向けMEMS講座を、８月２４日、２５日の両日に、国立研究開発法人産業技術総合研究所において、開催致しました。MEMS講習会は、MEMS協議会に所属するMEMSファンドリーネットワーク企業を中心に企画され、都内と地方都市で年に１回ずつ開催していますが、本年度は都内開催に替わり、TIA連携大学院サマーオープンフェスティバルの一環として、つくばで開催いたしました。また、TIA連携大学院ということで、学生・若手研究者向けMEMS講座も初めて開催し、両日で４４名（学生１名）の聴講者を迎え、総勢５８名が、IoT社会で求められるMEMSとは何かについて、活発に討論いたしました。
　http://www.nanomicro.biz/mems/2017/08/tia28memsmems-4.html

　第34回マイクロナノ先端技術交流会を、9月1日（金）の午後、マイクロマシンセンター新テクノサロンで開催しました。
　今回は「BEANSプロジェクト研究者達の新たな研究の取組み」というタイトルで開催しました。、BEANSプロジェクトは、MEMS技術とナノ・バイオ技術が融合し、自律的に機能する異分野融合型デバイスの開発を目指し、平成20年度から24年度の5年間にわたり、経済産業省の主導のもと、独立行政法人新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）から技術研究組合BEANS研究所が委託を受け、企業、大学、独立行政法人産業技術総合研究所の研究者を結集し、産学連携体制のもとで実施しました。今回の先端技術交流会はプロジェクト終了から４年を経て、研究開発を推進した研究リーダー４名の先生方をお招きし、現在の研究内容について発表していただきました。
　http://www.nanomicro.biz/mems/2017/09/34-c524.html

　第35回マイクロナノ先端技術交流会を、年11月29日（水）の午後、マイクロマシンセンター新テクノサロンで開催しました。
　今回のテーマは「RF-MEMS（BAW（Bulk Acoustic Wave）フィルタ）の最前線」として、太陽誘電モバイルテクノロジー(株)　取締役の上田正憲様からは「最近のRF-BAWデバイス（フィルタ）の進展と今後の展望」と題して、そして、早稲田大学 理工学術院 先進理工学部　准教授の柳谷 隆彦先生からは「最新のBAWデバイス材料の研究と応用」と題してご講演をいただきました。
　http://www.nanomicro.biz/mems/cat21355963/index.html

(6)ＭＮＯＩＣ順調に事業が拡大し、国内有数のMEMSオープンイノベーション拠点に
　MNOICはTIAのMEMSオープンプラットフォーム拠点として、産総研集積マイクロシステム研究センター、筑波大学と連携して、MEMS研究の知の蓄積とMEMS試作ファンドリー活動などを幅広く行っております。事業開始後6年がほぼ経過し、この間産業界、大学等から強いニーズに加え、幅広い支持が得られております


(7)「超高効率データ抽出機能を有する学習型スマートセンシングシステムの研究開発(LbSS)」が成果最大化も含め軌道に乗りつつあり加速も獲得する
　本研究開発では、工場等の設備の稼働状況等の把握を目的とするスマートセンサモジュール、高効率MEH(Micro Energy Harvester）などの自立電源、及びスマートセンシングフロントエンド回路を開発し、動的センシング制御可能な無給電のスマートセンサ端末を実現します。さらに、同時に開発する学習型スマートコンセントレータとの連携により、従来の環境発電で収集可能な有価情報量を100倍化することを可能とする学習型スマートセンシングシステムの基盤開発と実証を行います。
　現在、学習型スマートセンシングシステムの開発として、有価情報を高めるための自立型センサ端末/学習型センシングアルゴリズムの開発、測定パラメータ可変型スマートセンサ、製造往路セス革新で小型・安価、高効率発電デバイスの開発を行っています。

(8)第23回マイクロマシンサミット2017参加など 国際交流事業を推進する
　マイクロマシンサミットは、年に1回、世界各国・地域の代表団が集まり、マイクロマシン/ナノテクノロジーに関する課題や展望につき意見交換する場です。日本の提案により平成7年3月に京都で開催されたのが始まりで、以後、各国持ち回りで開催されています。
　2017年は5月15日(月)から17日(水)までスペインのバルセロナで開催されましたので速報として報告致します。今回のトピックスは、” Micro and Nano Systems for Smart Cities applications”です。スペインは、関連研究所にセンサやMEMS，無線、半導体や集積回路、物性やナノ材料と言った複数の専門分野の研究者が同居する研究所が多く、多数の専門領域の融合が進んでいるのが特徴です。今回のオーガナイザーは、CNM-CSIC(National Microelectronics Center of Barcelona)の所長Carles Cané教授でした。
　我が国からは、再生可能エネルギーの有効利用を目指すスマートコミュニティやインフラモニタリング関係の国家プロジェクトの話題提供、国際標準化の重要性と各国の参加を呼び掛けるなどを行っています。
　http://www.nanomicro.biz/mems/2017/05/201723-2edb.html

(9)医療MEMS研究会を含めSSNの3WGでの新技術の検討が進む
　近年各種の社会課題解決の有力なツールとして注目されているスマートセンシング技術の開発、社会・産業へのセンサネットワークの展開については、多様なユーザが求めるニーズを明確にし、得られた研究成果を社会問題解決のために応用、展開する、言わば社会実装の視点が不可欠です。
　一般財団法人マイクロマシンセンターでは、スマートセンシング及びネットワーク関連の諸課題解決、技術標準化推進及び社会実装の促進のため、関係する大学・研究機関・関係企業・技術研究組合等が一堂に会し、交流を深め検討を進める場を提供することを目的とする「スマートセンシング＆ネットワーク研究会（SSN研究会）」をMEMS協議会の下に設置し、ワーキンググループを運営しています。
　この中で、MEMS技術を使った健康・医療関係MEMSに関連した研究会を立ち上げました。本研究会には、医療関係者、医療機器製造メーカ、医療機器関係政策関係者から今後の発展を期待されています。

(10)センサ端末同期用原子時計(ULPAC)が安定的に作動するようになりユーザーの関心を呼ぶ
　道路インフラモニタリングシステム（RIMS：ROAD Infrastructure Monitoring System）をはじめとするセンサ端末群は、ネットワークを介して時刻同期をすることで、データ取得の正確な時間を把握し、かつ、データ転送の効率化を図っています。もし、その時刻同期を不要とすることが出来れば、ネットワークの構築や運用にかかる負担を大幅に低減することができます。そこで、正確な時を刻む原子時計をセンサ端末に搭載可能なサイズや消費電力、価格にすることが出来るかを解析や試作を通して、技術的に検討していきます。
　しかし、米国で研究開発された超小型原子時計CSAC(Chip Scale Atomic Clock)を持ってしてもセンサネットワークでの時刻同期を不要とするには、更なる消費電力の削減と長期安定度の向上が必須となります。時刻同期の技術は、センサネットワークだけでなく、パソコンやスマホなど、ネットワークに繋がる機器では当たり前に利用されており、実現した時の社会に与えるインパクトは計り知れません。これを実現するために、技術研究組合NMEMS技術研究機構では、世界の標準時間を司る高精度な周波数を作り出している産総研を中心に、国内で原子時計の小型化に取り組んできた大学や企業を集結し、その可能性の限界を追い求めていきます。
　研究プロジェクトでは、屋外での実証実験に向け評価モジュールを開発し、現在実証実験中です。