2017年、日本から提案の2件のMEMS分野関連規格案がIEC国際規格として発行

　IEC（国際電気標準会議）／TC47（半導体分野技術委員会）／SC47F（MEMS分野分科委員会）にて、提案を行っておりました、日本からの規格案2件が、今年（2017年）、国際規格として発行されました。

　1件目は、東京大学・大学院工学系研究科・機械工学専攻の鈴木雄二教授がプロジェクトリーダとして提案のエレクトレット振動発電デバイスの規格案「IEC 62047-28：Semiconductor devices – Micro-electromechanical devices – Part 28: Vibration-driven MEMS electret energy harvesting devices MEMS」が、2017年1月にIEC国際規格として発行されました。
　MEMS応用分野として周囲の環境に存在する微小なエネルギーを収穫するエレクトレット振動発電デバイスの特性（性能）表示とその測定法を標準化しました。

　2件目は、神戸大学大学院工学研究科機械工学専攻の神野伊策教授がプロジェクトリーダとして提案のMEMS圧電薄膜の電気機械変換特性の測定方法の規格案「IEC 62047-30：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 29: Electromechanical relaxation test method for freestanding conductive thin-films under room temperature」が、2017年9月にIEC国際規格として発行されました。MEMS圧電薄膜のアクチュエータ応用を目的とする逆圧電特性の測定方法を標準化しました。

　マイクロマシンセンターでは、IEC（国際電気標準会議）／TC47（半導体分野技術委員会）／SC47F（MEMS分野分科委員会）において、国内審議団体として活動するとともに、国際幹事を引き受け、幹事国として、MEMS分野の国際標準化活動を推進しております。上記、2件の国際規格発行により、現在、SC47Fでの発行済み国際規格は28件となり、うち13件が日本提案となっております。引き続き、現在審議中の2件の規格案について国際規格発行に向けたフォローアップ活動を実施するとともに、新規提案規格案開発を行っていきます。
　　　

調査研究・標準部　大中道　崇浩