MNOIC(マイクロナノオープンイノベーションセンター)の活動状況

　MNOICはTIAのMEMSオープンプラットフォーム拠点として、産総研集積マイクロシステム研究センター、筑波大学と連携して、MEMS研究の知の蓄積とMEMS試作ファンドリー活動などを幅広く行っております。事業開始後6年がほぼ経過し、この間産業界、大学等から強いニーズに加え、幅広い支持が得られております。ここではMNOICの2016年度活動状況をご報告致します。

１． 工程受託コースの増加
　　産総研共用施設等利用制度を利用した工程受託コースのご利用は、
　開始した2014年度の4件から2015年度は26件、2016年度31件と順
　調に増加しています。

２．技術ノウハウの蓄積
　１）品質管理、工程管理活動
　　　６年間における活動の中で、品質管理、工程管理マニュアルの
　　　整備完了
　２）国プロ研究開発参画による新技術の蓄積　　
　　・道路インフラ（RIMS)：高耐久性パッケージ技術
　　・ライフラインコア(UCｏMS)：圧電薄膜プロセス技術
　　・IoTオープンイノベーション：段差基板上のポリイミド平坦化技術

３．人材育成・国際交流活動
　1）TIA連携大学院
　　<MNOIC実習講座>
　　「インフラおよび産業機器モニタに利用可能な、MEMSセンサの
　　　回路・システム実習」
　2）TIA-CuPAL
　　　（科学技術人材育成）「ナノテクキャリアアップアライアンス」
　　　　への協力
　3)MEMS短期コース
　　　（タイ留学生研修）「さくらサイエンスプラン」への協力
　
４．広報・普及活動
　・「MEMS センシング&ネットワークシステム展 2016」出展
　　　　　　　　　　　　　　　　　2016/9/14-16（パシフィコ横浜）
　　http://www.nanomicro.biz/mems/2016/09/2016916-4c83.html

　・「センサエキスポジャパン2016」ポスター展示　
　　　　　　　　　　　　　　　　2016/9/28-30（東京ビッグサイト）

　　　　　　　　　写真１　センサエキスポジャパン2016

　・「TIAシンポジウム」ポスター展示　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　2016/10/11（イイノホール）

　　　　　　　　　　　　写真２　TIAシンポジウム

　・「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム　出展
　　　　　　　　　　　　2016/10/24-26（長崎県平戸文化センター）
　　http://www.nanomicro.biz/mems/2016/10/mnoic-1c7f.html

　・「nano tech 2017」ポスター展示　
　　　　　　　　　　　　　　　　2017/2/15-17（東京ビッグサイト）

　　　　　　　　　　　写真３　nanotech2017

　・「微細加工ナノプラットフォームシンポジウム」ポスター展示
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　2017/3/8（東大武田先端知）
　　http://www.nanomicro.biz/mems/tianmems/index.html