第33回先端技術交流会の報告

　2月14日（月）の午後、マイクロマシンセンター新テクノサロンで第33回マイクロナノ先端技術交流会を開催しました。

　今回のテーマは「グリーンIoT 社会に向けたMEMS の新たな取組み」として、東北大学　多元物質科学研究所の教授　栗原一恵先生からは「ナノトライボロジーによるMEMSへの新たな期待」と題して、そして、東京工業大学　科学技術創世研究院院長である、教授　益 一哉先生からは「IoT社会に向けた、異種集積MEMS技術の新展開」と題してご講演をいただきました。
　
　最初の栗原先生からは、従来マクロスケールで議論してきた巨視的な物理現象から、ナノスケールの表面物理を考慮すると新しい可能性があることが示されていました。例えば、異種の物体の間に液体を挟んだ構造で、数nmのギャップでは斥力が極単に強くなったり、あるいは接着力になったり従来、議論されてこなかった新たな現象が現れることを示されていました。その他、イオン液体中へのシリカ分散や、化粧品の感触を決める表面状態、ナノインプリントのより精細な精密転写に向けた樹脂材料の最適化等、ナノ材料・ナノトライボロジーによって新たな可能性を示していただきました。今後のMEMSの特性改良だけ出なく、新たなデバイスの展開の繋がる可能性を示していただきました。

講演を行う栗原先生

　東京工業大学の益先生からは、IoT社会に向けたMEMSデバイス、MEMS集積技術についてご講演をいただきました。最初にAuを錘に用いた加速度センサの内容について説明をいただきました。Auは柔らかいイメージがあるが、単位体積当たりの重さが大きく、小型、低ノイズに向いている構造であることが示され、また、カンチレバーの梁を10ミクロン以上のAuで形成することで高い安定性を示されていました。Auは柔らかい材料ではあるが、MEMSの錘や梁としても設計に応じて十分良い特性が得られることが分かりました。
　そして、CMOSプロセス後にAuの錘を用いた１チップの加速度センサモジュールを示されていました。

　

講演を行う益先生

　ご講演後には両先生ともに、活発な質問が多くありました。特に印象に残ったのはIoT社会に向けての振動発電の考え方についてでした。“最適な振動発電はどれですかと良く聞かれるが、そのようなものはない。振動周波数や、加速度、あるいは連続振動やインパルス振動。環境によって使い分けが必要である。”　とお考えを示されました。

　また、東京大学先端技術研究所の年吉教授も出席されており、IoT社会についてご研究の内容をもとにアドバイスをいただきました。

　また、講演会後の懇親会では、ご講演いただいた先生方を囲んで、栗原先生の回りでは、ナノトライボロジーやイオン液体について、そして、益先生の回りではIoT社会に向けたセンサ端末や自立電源について、夜遅くまで多くの意見交換が行われていました。

講演後歓談する両先生

(産学交流担当　今本　浩史)