MEMS関連国際標準化：最近の状況

　2002年にマイクロマシン/MEMS分野では国際的に初めての規格となる「マイクロマシン及びMEMSに関する用語」を皮切りに、順次IEC(International Electrotechnical Commission：国際電気標準会議)に対してMEMS関連の規格提案を行ってまいりました。

　以降、提案活動と審議を経て、2005年に「マイクロマシン及びMEMSに関する用語」、2006年に「MEMS薄膜材料の引張試験法」及び「MEMS用薄膜材料の引張試験用標準試験片」、2009年に「MEMS用薄膜材料の疲労試験法」、2011年に「共振振動を用いた曲げ疲労試験法」、2012年に「曲げせん断接着強度試験法」、2013年に「薄膜曲げ試験法」及び「電子コンパス」、そして2014年に「小型ジャイロ」の計9件が国際規格(International Standard)として発行されています。

　この間、2008年にMEMS関連の国際標準化に特化した分科委員会IEC/SC47Fが設置され、日本が幹事国を務めて今日に至っています。IEC/SC47F全体では発行済み国際規格は計22件で、日本提案が9件、韓国提案が13件という内訳です。

　現在審議中のわが国提案の規格案は「マイクロマシン及びMEMSに関するMEMS用語（改正提案）」、「MEMS形状計測法」及び「MEMSエレクトレット振動発電デバイス」の計3件です。
MEMS関連の国際標準化会議は、毎年6月頃開催されるSC47Fアドホック会議及び秋に開催されるSC47F本会議の計2回開催されています。

　2014年は11月に東京で開催されたIEC総会に招致される形でSC47F本会議が行われました。その結果、わが国提案の規格案はいずれも国際規格発行に向けて順調に審議段階を進めることができました。「マイクロマシン及びMEMSに関するMEMS用語」の改正規格及び「MEMS形状計測法」の国際規格が2015年内に発行される見込みです。2015年のSC47Fアドホック会議は6月にシンガポールで、SC47F本会議は10月にベラルーシ・ミンスクで各々開催される予定です。

　今後ともIEC/SC47Fの幹事国としてリーダーシップを発揮しつつ、規格案審議及びあらたな規格提案を行うための検討を続けてまいります。

＜調査研究・標準部　出井敏夫＞