新コンテンツ「先端技術開発プロジェクトの概観」をリリース

　このたび、マイクロマシンセンター（MMC）が携わってきた数々の先端技術開発プロジェクトの概要や変遷状況を紹介するコンテンツ「先端技術開発プロジェクトの概観」 をリリースしました。

（数々の先端技術開発プロジェクト）
　MMCは、ナノマイクロ分野の技術革新を支え、その成果を活用した産業発展に貢献すべく、以下のように長期に亘りMETI / NEDOが主導する産学連携の先端技術開発プロジェクトの推進に携わってきました。

• マイクロマシン技術研究開発プロジェクト　1992-2000
• ダイオキシン類の高速測定技術の研究開発プロジェクト　2000-2001
• マイクロ分析・生産システムプロプロジェクト　2002-2005
• MEMS-ONE 開発プロジェクト　2004-2006
• ファインMEMSプロジェクト（高集積・複合MEMS製造技術開発）　2006-2008
• BEANSプロジェクト（異分野融合型次世代デバイス製造技術開発）　2008-2012
• Gデバイス＠BEANS（高機能センサネットシステムと低環境負荷型プロセスの開発）　2009-20101
• グリーンセンサ・ネットワークシステム技術開発プロジェクト　2011-2014
• 社会課題対応センサーシステム先導研究　2013
• 次世代精密家畜個体管理システムの開発プロジェクト　2014-2018
• 道路インフラモニタリングシステム（RIMS）研究開発　2014-2018
• ライフラインコアモニタリングシステム（UCoMS）研究開発　2014-2018

（技術開発プロジェクトの変遷）
　MMCが係わってきたこれらの先端技術開発プロジェクトの変遷を振り返ってみると、その時々の産業ニーズ・社会ニーズに応じて、約10年毎にプロジェクト目標が「基礎技術の開発」から「デバイス製造基盤技術の開発」へ、さらには「応用分野としてのセンサネットワークの開発」へとシフトしてきていることが分かります。

• まず、1990年代はマイクロマシン技術研究開発プロジェクト一色でしたが、この時期はマイクロマシン基礎技術の開発が行われました。この研究成果は各企業の中で技術力・製品開発力の強化に活用されました。

• その後2000年代に入ると、マイクロマシン基礎技術を活用するMEMSデバイスが注目を浴びるようになり、第2世代MEMS、第3世代MEMS（BEANS）の製造基盤技術を開発するファインMEMSプロジェクト、BEANSプロジェクトの技術開発が相次いで立ち上がりました。

• 2010年代に入ると、MEMSデバイスの力を応用した新製品やシステムへの展開が進み、GSNプロジェクト、RIMS研究開発、UCoMS研究開発など、省エネ・社会インフラ保全などの社会課題を解決すべくセンサネットワークに焦点を当てた技術開発プロジェクトが始動しています。

（技術フロンティアへの挑戦）
　MMCはわが国経済の力強い復活やわが国が直面する社会課題解決の一助となることを念じて、今後も新たな技術フロンティアへの挑戦を続けます。皆さまの引き続きのご支援・ご協力をお願いいたします。

文責：青柳桂一＠MMC