平成24年度産業動向調査報告書を公開

 平成24年度を中心に調査を進めてきた「マイクロナノ革新デバイス産業動向調査」の結果をまとめ、以下の要約をMMCのホームページに掲載しました。

MEMSは、半導体微細加工技術やレーザ加工技術を応用し、微小な3次元構造の電子／機械素子をSi基板上に組み込んだセンサ、アクチュエーター等のデバイスとして発展してきた。MEMSの応用は圧力センサ、加速度センサ等の既存部品を小型化した単機能MEMSから、MEMSと半導体電子回路の集積化や異種MEMSの複合化による多機能MEMS、さらには圧電材料、バイオ材料等の機能材料やカーボンナノチューブのようなナノ材料を活用したナノ融合MEMSへと進展している。

MEMSデバイスが組み込まれた応用製品は、自動車のエンジン制御やエアバッグシステムから始まり、その後インクジェットプリンタ、プロジェクタ、ゲーム機と次々と新しいアプリケーションが広がり、最近では携帯電話に多数のMEMSが採用されるに至ってその市場規模は急速に拡大している。今後はスマートフォン、タブレットなどの民生機器への応用がさらに増大するとともに医療や環境分析などの分野で多くの高付加価値型MEMSが開発されていくものと考えられる。

注目される最近のアプリケーションとしてワイヤレスセンサネットワークシステム（WSNS）があり、ここではMEMS技術の活用によりWSNSに適した小型高感度で低消費電力なセンサと高効率なエネルギーハーベスタの創出が期待されている。WSNSは、ビルや工場の省エネルギーシステム、公害防止のための環境管理システム、橋梁やトンネル等社会インフラの安全維持管理システム、農場や植物工場の育成管理システム等、幅広い応用が期待されている。

一方少子高齢化社会を迎え、医療費削減、予防医療の促進、Quality of Lifeの向上等が叫ばれており、生化学分析を行う医療機器や健康管理のための非侵襲、低負荷な身体モニタリングシステムが必要で、ここでもMEMS技術の活用による小型高機能なセンサの創出が期待されている。

以上のように、既存システムの高付加価値化や新産業の創出においてMEMSはキーデバイスであり、国内外の関連企業は今後どのようなMEMSがどのような分野で求められているのか高い関心を寄せている。

本年は以上のような将来大きな成長が期待できるMEMS分野（マイクロナノデバイス分野）でどのような革新デバイスが今後有望とされているかを調査して、同分野に携わる企業の開発戦略策定や大学での研究の方向性の検討に参考にして頂けるような報告書を目指した。また調査結果より日本のMEMS関連産業の今後の課題と方策をまとめた。

詳細は賛助会員ページに掲載しております。

　　　http://mmc.la.coocan.jp/member/contents/micronanodb/member_report/index.html

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　（産業交流部　今本）