第9回MEMS標準化ワークショップ（6月6日）

　IEC SC47F/WG1国際標準化アドホック会議に引続き、6月6日に中国・広州で第9回日韓中MEMS標準化ワークショップが開催されました。MEMS関連の研究開発状況について日本及び韓国より各々1件、最近注目されているエネルギーハーベスティングに関連するトピックが日本、韓国及び中国より各々1件ずつ紹介され、それぞれの発表に対して活発な質疑応答・議論が行われました。出席者は日本4名、韓国6名、中国7名の計17名でした。各発表の概要を以下に示します。

［セッション１（MEMS)］
（１）Assessment of super-long-term fatigue reliability of silicon MEMS structures – a possible strategy（名古屋工業大学・神谷庄司教授）
　シリコンMEMS構造体の超長期信頼性評価に関する考察について説明が行われ、MEMS構造体の疲労・寿命予測の合理的な方法について考え方が示されました。
（２）Eutectic bonding and reliability test for sensors and MEMS devices（韓国・Sekwang Park, Kyungpook National Univ.）
　MEMSデバイスにおける共晶（共融）接合に関する信頼性試験について考察が示されました。韓国は接合の信頼性に関して近い将来規格提案を行う意向で、内容充実化のため日韓中3カ国の協力が必要との考えが示されました。

［セッション２（エネルギーハーベスティング）］
（１）Vibration Driven Energy Harvesting Devices and Commercialization（韓国・Jae Y. Park, Kwangwoon Univ.）
　世界各国で注目されている振動発電デバイスの研究開発状況について紹介が行われました。韓国も日本のエネルギーハーベスティングコンソーシアムと同様、企業、大学及び国研からなる連絡会を立ち上げて、関連技術及び事業に関する意見交換を始めているとのことです。
（２）Update of Discussion on Energy Harvesting in Japan（マイクロマシンセンター・出井敏夫）
　エネルギーハーベスティングに関連する日本国内の最近のトピックについて紹介しました。また、振動発電デバイスの特性測定方法に関して規格提案準備中であることをあらためて示しました。

（３）Implementation and validation of energy extraction optimization techniques for solar energy harvesters（中国・ Jiang Shaobo, Peking Univ.：代理発表Zhou Zaifa, Southeast Univ.）
　太陽電池パネルの出力最大化制御（MPPT： maximum power point tracking）の一手法について紹介が行われました。時々刻々変化する日照に対して追従しながら制御する方法をフローチャートを示しながら説明がなされました。