第20回MEMS講習会「MEMSデバイス/プロセス技術の最前線」＠岡谷市 盛況の中で開催される

　2013年3月5日に長野県岡谷市にあるテクノプラザおかやで第20回MEMS講習会が開催されました。
今回は長野県工業技術総合センター様に共催者としてご参加頂き、講習会の案内、会場の準備、ご講演他多大なご協力を頂き、約80名の参加者のもと盛況の中で開催することができました。 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　

　　　　　　　　　　　　　　　　　　テクノプラザ　おかや　外観

今回の全体テーマは「マイクロナノデバイス及びプロセス技術の最前線」として主にMEMSデバイス／プロセスの開発で活躍しておられる研究者の方や企業の方、日本を代表するMEMSファンドリーの方からご講演を頂きました。　
　また休憩時間を活用してMEMSファンドリー企業のパネル展示説明会が行われ、多数の聴講者の方にその活動を知って頂きました。

　　　　　　　　　　　　　　　　　熱心に講演を聞き入る聴講者

主な講演内容を以下に紹介します。

○【基調講演】「マイクロナノデバイスの可能性とベンチャー企業」
　　　　　　　　　東京大学　IRT研究機構　機構長　教授　下山　勲
　下山研究室で開発された多くのMEMSデバイスやそれらの応用例について講演して頂きました。カンチレバー型の超高感度圧力センサは1cmの高度差（気圧差）を識別することが可能で、階段を一段一段登って行く時の気圧の変化をセンシングできることを示されていました。また3軸方向の力のかかり方が識別できる触覚センサとそれらのデバイスを基に起業されたベンチャー企業について苦労話を紹介して頂きました。

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　東京大学　下山先生

○【特別講演】「MEMS技術の展開及びMEMS製造装置の最新動向」
　　　　　　　　　住友精密工業　相談役　神永　晉
　MEMSプロセスにおいてシリコン深堀りエッチングは欠かせない装置です。住友精密工業の関連会社は深堀りエッチング装置で世界で最も高いシェアを誇る代表的な企業です。神永様は装置の開発や企業のM&Aを社長として引っ張ってこられて世界のMEMS産業の発展に多大な貢献をして来られました。
　最初にMEMSデバイスの開発の歴史を紹介して頂き、次にいかにして会社を成長させてきたか苦労話を聞かせて頂きました。また今後どのようにMEMS産業を発展させていくべきか神永様のお考えを聞かせて頂きました。

　　　　　　　　　　　　　　　　　住友精密工業　神永　様

○【特別講演】「福祉介護用柔軟接触型センサーの開発」
　　　　　　　　　信州大学　工学部　機械システム工学科　准教授　中山　昇
　中山研究室ではボールの変形を応用したユニークな柔軟型触覚センサを開発しておられています。これは垂直方向の力とともにせん断方向の力も計測可能な3次元触覚センサでかつフレキシブルな面状の触覚センサを構成することができます。応用例として介護ロボットのハンドがあり、人と接するところに柔らかくて微妙な力加減を計測することができる触覚を持つロボットハンドとして大きな期待が寄せられています。その他にもスポーツ器具やゲーム等幅広い応用が考えられます。当日はデモンストレーション用のシステムを持ち込まれ実演して頂き、多くの方が関心を持って質問されていました。

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　信州大学　中山先生

その他の講演を簡単に紹介しますと、共催の長野県工業技術総合センターの水嵜様より同センターで開発されたMEMSデバイスの例と主に中小企業を対象とした開発サポートシステムについてご講演して頂きました。
　地元企業を代表してオリンパス㈱の網倉様よりオリンパスで開発しているMEMSデバイスとして特にカンチレバー型のデバイスの製法、応用についてご講演して頂きました。
　MEMSファンドリー企業の代表として大日本印刷㈱の鈴木様より世界のファンドリーの動向と大日本印刷のファンドリー事業、MEMSプロセス技術についてご講演して頂きました。
　その他にマイクロマシンセンター　ファンドリーサービス委員会メンバー企業である数理システムからMEMSの設計ツールであるMemsONEの紹介、マイクロマシンセンターが一昨年設立したマイクロナノオープンイノベーションセンターの紹介がありました。
　お忙しい中を集まって頂いた聴講者の皆様にはお礼を申し上げますとともに、今後も魅力あるMEMS講習会を企画していきますのでまたのご来場をお待ちしております。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　阪井　淳