「CNT-NMEMS-TIA共同シンポジウム」の開催

　TIA-NMEMS WGの2011年度の第一回のイベントとして、5月25日　産業技術総合研究所（つくば中央）にてCNT-NMEMS-TIAシンポジウムが開催されました。（マイクロマシンセンター・MEMS協議会は共催として参画しています。）テーマは「グリーン再生に向けて」であり、つくば研究拠点（TIA）のコア領域であるカーボンナノ（CNT）とNMEMSの合同シンポジウムです。当日は約150名の参加者があり、広い会場がほぼ満席となる盛況ぶりでした。基調講演として、ナノチューブ応用研究センター・飯島澄男センター長、東北大学・江刺正喜教授の講演がありました。主催者挨拶の中でオムロン株式会社の今仲行一執行役員常務からTIA-NMEMS研究施設を産業界にて利活用するMNOIC（マイクロナノオーポンイノベーションセンター）の力強い紹介がありました。またシンポジウム終了後に、MNOICの実施施設であるNMEMS研究施設の見学会が実施されました。東日本大震災によって配管施設等に影響はありましたが、クリーンルームや８インチ（一部12インチ）の最先端研究設備への影響は少なく、個々の装置の最終調整を現在行っている段階です。　7月以降のMNOIC運用開始後には多くの皆様にご利用頂けると考えています。（MMC　三原）

　　　写真　今仲MNOIC運営委員長によるMNOICの力強い紹介