TIA-NMEMS拠点の構築進む ～つくば産総研 新クリーンルームおよび最新MEMS設備のお披露目（2011年2月9日）～

　TIA-NMEMS拠点における「つくばR&Dプラットフォーム」の主要な構成要素として、産総研集積マイクロシステム研究センター（つくば東事業所）に導入された8インチを中心とする最新MEMS関連設備およびセンサーネットクリーンルームの見学会が、2011年2月9日、国際ワークショップ、GDMS2011と並行して開催されました。同じTIA-nano拠点の一つであるナノエレWGや茨城県、経産省、NEDOの皆さんなどが参加され、構築の進む、NMEMS拠点の最新状況について理解を深めていただきました。
　　

「つくばR&Dプラットフォーム」は、上記のような設備、その設備を最良の状態に立ち上げ、維持・管理する機能、およびそれらを活用して研究を遂行する知恵と経験を重ねた研究者などの研究力、で構成されます。そのベースの上で、企業や大学、産総研研究者などが集まり、様々な協業によって量産プロセスや新規デバイス、基盤技術などに関するイノベーションを創出することがNMEMS拠点の狙いであり、その仕組みとしてMEMS協議会ではマイクロナノオープンイノベーションセンター（MNOIC）を設置し、サポートする企業グループであるNMEMSアライアンスを組織化しようとしています。
　現在進行中の研究開発プロジェクトや今後予定される新規プロジェクトによって、増々、設備群が充実し、その成果が蓄積されていくことで、さらに魅力的なR&DプラットフォームとしてNMEMS拠点の価値を向上させることが期待されます。
　来年度5月にも再び見学会が企画される予定です。ご期待ください。（MNOIC検討会事務局）