人材育成プログラム 第１６回ＭＥＭS講習会開催される（２月２２日）

　マイクロマシンセンターでは、MEMS産業の裾野を広げ、その発展を促進するために、人材育成の観点でMEMS講習会を開催しています。2月22日（火）名古屋大学において第16回ＭＥＭS講習会が「MEMSプロセス技術の最新動向とアプリケーション」をテーマに開催されました。

　今回は基調講演を名古屋大学 佐藤先生にお願いし「マイクロ・ナノ理工学の深化がＭＥＭSの発展をささえる」という題で新技術の開発には科学的な現象の解明が重要であることを講演して頂きました。また最近のＭＥＭＳ技術の大きなトレンドである集積化MEMSの動向を豊橋科学技術大学 石田先生に、今後大きな需要拡大が期待されるＭＥＭＳ赤外線画像センサの動向を立命館大学 木股先生にそれぞれご講演して頂きました。開催地（愛知）の企業から主に自動車用MEMSの開発事例として（株）デンソー 竹内様より最新の自動車安全システムとそれに用いられるＭＥＭSミラーの開発状況を紹介して頂きました。豊田中研 野々村様からは、自動車用ＭＥＭSデバイス開発の経緯と最新のMEMS角速度センサ、パッケージリーク検査方法の開発事例を紹介して頂きました。産総研集積マイクロシステムセンターの高橋様より現在つくばに展開しているＴＩＡ-NMEMS８インチラインの紹介を、ファンドリーサービス委員会のメンバー企業から、各企業が保有するプロセス技術、デバイス設計技術を紹介して頂きました。

　総参加人数は５９名で、それぞれの講演に対して活発な質疑応答がなされ関心の高さが伺えました。また講演終了後は構内のレストランで懇親会が開催され、講演者を含めほとんどの方が参加されて積極的に交流を深めておられました。全体として大変盛況のうちにお終えることができて、講演者の皆様、参加して頂いた皆様にお礼を申し上げたいと思います。来年度もより魅力あるＭＥＭS講習会を企画致しますので皆様のご参加をお待ちしております。