つくばイノベーションアリーナ TIA-NMEMS 検討進む

　つくばイノベーションアリーナ（TIA）は、世界水準の先端ナノテク研究設備・人材が集積するつくばにおいて（独）産業技術総合研究所、（独）物質・材料研究機構、筑波大学が中核となって世界的なナノテク研究拠点を形成することを目指すものです。そのために経済産業省と文部科学省が一体となって協力し、主要企業・大学との連携網を広げ、産学官に開かれた融合拠点としてナノテクの産業化と人材育成を一体的に推進しようとしています。

　その中にあって６つのコア研究領域の一つ、NMEMSに関しては、TIA-NMEMSワーキンググループとして、国内MEMS産業の国際競争力を強化するためにどのような拠点とすればいいか、検討しています。MEMS協議会では今年度「マイクロナノオープンイノベーションセンター（MNOIC）検討会」を設置して、全体会および幹事会を開催し、実際に国際競争力を強化したい産業側の意見集約を進めています。上述のTIA-NMEMSワーキンググループは、MNOIC検討会に学官の委員を加えた形で構成されており、２つの活動は実際上、重なっています。

　MEMS市場については、ゲーム機やデジタルカメラ、スマートフォンなど、コンシューマーエレクトロニクスへの応用が急拡大しており、コンパクト、低価格、大量供給が求められています。欧州のSTマイクロエレクトロニクス、米国のSiTimeやInvensenseなどが大きくシェアを伸ばした一方、国内のデバイス企業も最近になって巻き返しに出ています。そこでは国境を越えた協業が普通のことになっており、まさにオープンイノベーションが求められています。

　産総研　集積マイクロシステム研究センター（つくば東）には、8インチ対応製造装置や評価装置など最先端のMEMS関連設備が集積されつつあります。これらの研究インフラを継続的に活用し、オープンイノベーションを基本理念にして国内産業の国際競争力を強化するにはどのような機能、組織が必要で、それをどのような戦略の下、実現していくか、が上記検討会、ワーキンググループの基本命題です。低価格化に対応した量産技術の開発、いち早く市場ニーズに対応するための長期的な基盤技術や新規デバイスの共同開発、アプリケーション開拓を積極的に推進するためのファンドリー機能、産業規模の拡大を人材面で支える計画的な人材育成など、期待したい機能を、要員や資金面に関する課題も含め、解決するための検討を進めています。