第 15 回 MEMS 講習会（10/27）のご案内

　第15回 ＭＥＭＳ講習会（10月27日開催）の内容が確定したのでご案内させて頂きます。皆さまには奮ってのご参加をお願いいたします。（9月6日の概要紹介により既に申込された方は再度の申込は不要です。）

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第15回 MEMS講習会・先端アプリ講座
（マイクロナノイノベーター人材育成プログラム）
◇◇◇◇グリーンイノベーションに向けたMEMSの新技術と応用製品◇◇◇◇

主催：
　（財）マイクロマシンセンター
　 　ファンドリーサービス委員会・人材育成委員会

開催趣旨：
　半導体微細加工技術を応用して、微小な電気要素と機械要素を１つのデバイスに組み込んだMEMSは、情報通信、自動車、ロボット、医療・バイオ、環境・エネルギーなど多様な分野におけるキーデバイスとしてさらなる市場拡大が期待されています。（財）マイクロマシンセンターでは、MEMS産業の裾野を広げ、その発展を促進するために、マイクロナノイノベーター人材育成プログラム事業の一環としてMEMS講習会を開催しています。

講演会内容：
　本年度は、昨今の環境・エネルギー問題に対応して「グリーンイノベーションに向けたMEMSの新技術と応用製品」をテーマに、基調講演を東京大学 藤田先生に、グリーンイノベーションに向けた技術動向を東京大学 下山先生に、ＭＥＭＳ振動発電を京都大学 神野先生にそれぞれご講演して頂きます。またグリーンデバイスの開発に取り組んでいる代表的な研究機関、企業からプロセス技術、応用製品の開発事例を紹介して頂きます。

日時：
　2010年 10月 27日（水）　13:00～17:45
　講演終了後懇親会有り

場所：
　中央大学駿河台記念館　6F会議室（お茶の水駅より徒歩3分）　　　　http://www.tsukyo.chuo-u.ac.jp/access/route_tokyometro_ochanomizu.html

プログラム：

◇◇◇◇◇◇　プ ロ グ ラ ム　◇◇◇◇◇◇

13：00～　　ご挨拶
　（財）マイクロマシンセンター専務理事　青柳桂一
13：05～　「ＭＥＭＳ研究開発 最新動向と将来展望」
　　東京大学生産技術研究所副所長　藤田　博之
13：50～　「アンビエントデバイスが拓くグリーンイノベーション」
　　東京大学情報理工学系研究科教授　下山　勲
14：25～　「圧電薄膜を用いたＭＥＭＳ振動発電技術」
　　　京都大学マイクロエンジニアリング専攻
　　　准教授　神野　伊策
15：00～　「ナノインプリントによる低コストナノ構造形成技術」
　　　産業技術総合研究所
　　　集積マイクロシステムセンター
　　　副センター長　高橋　正春
15：25～　◇休憩◇
　この間、ＭＥＭＳ協議会ファンドリー委員企業パネル展示、技術相談
16：00～　「マイクロ流体デバイスと水質分析への応用」
　　　日立製作所機械研究所主任研究員　小出　晃
16：20～　「ＭＥＭＳ技術を用いた低消費電力型ガスセンサ」
　　　富士電機システムズ　鈴木　卓弥
16：40～　「薄膜Si太陽電池作製プロセスと製造装置」
　　　アルバック技術開発部
　　　ＭＥＭＳ/真空計測研究部　部長　不破　耕
17：00～　「集積化ＭＥＭＳ技術とセンサネットワーク」
　　　オムロンコアテクノロジーセンタ
　　　技術専門職　佐々木　昌　
17：20～　「次世代ＭＥＭSの設計・解析を支援するＭＥＭＳＯＮＥ」
　　　みずほ情報総研
　　　シニアコンサルタント　岩崎拓也
17：35～　「ＭＥＭＳファンドリーサービス」
　　　ファンドリーサービス委員会委員長　佐藤文彦
17：45～　　懇親会

（講演題名は当日変更されることがありますがご了承願います。）
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参加申込受付け：

　下記申込欄をコピーして頂き、メール本文中に貼り付け、必要事項をご入力のうえ、ご送信下さい。
又は下記申込欄を印刷して頂き、必要事項をご記入のうえ、FAXして頂いても結構です（受付後、登録通知メールを送付致します）。なお、会場の都合により定員（80人）に成り次第締め切りさせて頂きます。

　申込締め切り：10月15日（金）
　申込用E-mail： mems-ws@mmc.or.jp
　 （申込はこちらのメールアドレスへお願いします。）
　TEL : 03-5835-1870
　FAX ： 03-5835-1873
　担当：(財)マイクロマシンセンター 阪井、酒向

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お申込は下記の申込欄の部分を送信して下さい。
【申　込　欄】
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第１５回 ＭＥＭＳ講習会「グリーンイノベーションに向けたＭＥＭＳの新技術と応用製品」2010年10月27日
　　申込者氏名
　　氏名フリガナ
　　会社・団体名
　　所属部署
　　役職
　　勤務先
　　〒番号
　　勤務先住所
　　ＴＥＬ
　　Ｅmail
　　：参加費（資料代、懇親会費含む）
　　　　①一般　(１０,０００円)
　　　　②MEMS協議会メンバー　(８,０００円)
　　　　どちらか一方を残してください。========================================================================
　　　　　(財)マイクロマシンセンター 阪井、酒向