第14回MEMS講習会の開催報告（2010年2月5日）

　マイクロマシンセンター・ファンドリーサービス産業委員会（委員長：オムロン(株)佐藤文彦氏）主催の第14回MEMS講習会「MEMSの新技術(設計・加工・評価)と応用製品」を、2月5日（金）に、兵庫県神戸市の兵庫県民会館で、参加者総勢37名で開催致しました。

　今回は、MEMSデバイス製造技術にスポットを当て、設計・加工技術だけでなく、製品開発において重要な第3のキーテクノロジーである評価技術も含めたプログラムを編成しました。さらに、(財)新産業創造研究機構の御協賛により、兵庫地区近県のMEMS関連企業の御講演と技術相談会でのカタログ展示をいただき、盛り沢山のプログラムで実施致しました。

プログラム詳細はここから

　冒頭、青柳専務御挨拶に続いて、基調講演として杉山先生からMEMS応用システム・デバイスの最新動向についてお話しいただきました。そのあと、服部先生からテーマ講演「MEMSデバイスのマイクロナノ成形加工技術」があり、MEMS技術応用製品市場の隆盛には製造プロセスの大幅なコストダウンと人材育成が必要と指摘され、そのキーテクノロジーとして微細金型による成型加工技術についてご説明いただきました。

　テーマ講演のあと、ファンドリーサービス産業委員会プレゼンテーションに続いて、ゲスト講演として、シリコン深堀りドライエッチング技術を主力とした加工装置・ファンドリーサービスと、MEMSデバイス評価技術に関する御講演がありました。特に、MEMSデバイス評価技術は、半導体デバイス評価技術に比べて評価手法の確立・標準化が遅れている分野ですが、MEMS応用製品開発においては最も重要ともいえる要素技術であり、試作デバイスの評価結果を設計にフィードバックすることによって信頼性に優れたMEMSデバイス・製品が実現されることになります。微細なデバイス周辺の局所的な環境を高精度に制御する技術・装置とMEMS特有のプロセス診断・故障モード解析技術・サービスに関して貴重な御講演をいただきました。

　講習会のあとの技術相談会では、ゲスト出展者も含めた熱心な技術交流が行われ、会場を移しての懇談会では、ファンドリーサービス産業委員会委員、講師の方々、及び参加者の皆様との間で、くつろいだ雰囲気のなか、活発な情報交換が行われ、有益な講習会になりました。本講習会を盛り上げていただいたご関係各位に厚く御礼申し上げます。


　　講演会場風景　　　　　技術相談会風景　　　　　懇談会風景

普及促進部@マイクロマシンセンター