MEMS分野の人材育成ワークショップ報告

　関東経済産業局の産業技術人材育成支援事業（産学人材育成パートナーシップ等プログラム開発・実証事業）として（独）産業技術総合研究所が進めている「マイクロナノ量産技術と応用デバイス製造に関する新事業開拓イノベーション人材育成」の一環として、9月28日の午後、長野県岡谷市の「テクノプラザおかや」で、「地域連携ワークショップin信州」が、地元製造業の経営者、担当者の方々、本人材育成事業の関係者など67名が参加し、開催されました。
　このワークショップは、長野県諏訪地域が精密化工業が盛んであること、信州大学が22年度から総合工学研究科博士課程専門職コースの中でMEMSの研究室を開設することになっていることから、産総研、信州大学、長野県テクノ財団の主催・連携のもとで行なわれたものです。
　ワークショップでは、産業技術総合研究所の前田龍太郎上席研究員が、「マイクロナノ量産技術と応用デバイス製造に関する新事業開拓イノベーション人材育成」の事業全体を説明した後、関東地域、関西地域、九州地域で進めている同事業の講座の例を紹介されました。
　マイクロマシンセンターからは、本人材育成事業について、各地域コンソーシアム・公設試・大学と連携して各地域の特色を活かしたカリキュラムを体系化して一体的な講座運営を行なう計画を紹介するとともに、休憩時には会場でMEMS用設計・解析支援システム「MemsONE」についてビデオ紹介もいたしました。

　　　　ワークショップ風景　　　　　　　　実証講座のポスター展示

ワークショップの詳細内容については、下の 続きを読む を左クリックしてご覧ください。

（産業交流部@マイクロマシンセンター）

１．「マイクロナノ量産技術と応用デバイス製造に関する新事業開拓イノベーション人材育成」事業について
（産業技術総合研究所　前田龍太郎上席研究員）
マイクロナノ微細加工技術は我が国の製造業の活性化に重要な分野。この微細加工については実際に体で感じる（体験）ことによる育成が必要であり、体験するには産総研などの公的機関での設備を活用する（企業の設備は生産用で教育用でない）ことがベスト。この人材育成事業は全国展開・連携を図る。

２．デバイス集積化領域　マイクロ流体デバイスの応用展開　細胞から深海まで
（東京大学　木下晴之特任教授）
マイクロ流体の計測と制御、分子エンジニアリング、セルエンジニアリングについて、化学、生化学、医療、バイオ、環境分野への応用例を紹介。チップサイズの実験室・化学工場であるμTAS、シリコンゴムの一種であるPDMSを使ったマイクロ流体デバイスの作製（ソフトリソグラフィー法）の紹介、及びマイクロ流体デバイスを応用した現場分析例（深海などの海洋環境調査での微生物遺伝子解析装置（IISA-Gene）など）が紹介された。

３．光MEMS基礎　マイクロミラー等の開発を通して学ぶ光デバイス技術（九州工業大学　伊藤高廣教授）
九州地域の実証講座「光MEMS基礎　マイクロミラー等の開発を通して学ぶ光デバイス技術」の紹介。マイクロミラー、マイクロ光センサーなどの光MEMSの設計とプロセスについて、基板製造から応用デバイスまでの設計演習と製造実習の内容など、これまでに整備した各講義項目とスケジュール（全体の流れ）について紹介された。

４．転写によるマイクロ・ナノ製造拠点　環境エネルギー分野への展開（兵庫県立大学　服部正教授）
微細金型による転写をベースとしたナノマイクロファブリケーション技術は、中小企業が参入できて、価格競争に勝てる技術を備えた人材の育成が必要。導光板や静電容量型センサ（傾斜角センサ）の技術開発例の紹介。

＜休憩：MEMS用設計・解析支援システム「MemsONE」についてビデオ紹介、関東・関西・九州地域の実証講座のポスター展示＞

５．信州大学が取り組んでいるMEMS事業の内容と柔軟接触荷重センサー（信州大学　中山昇准教授）
知的クラスター創生事業、第2期「長野・上田地域知的クラスター創生事業」の紹介。信州大学が取り組んでいるMEMS事業として、経済産業省　産学連携中核人材育成事業「諏訪圏における超微細加工活用人材育成コースの構築」で信州大学大学院の博士課程専門職コースの紹介。

６．人材育成事業の開講に向けて（マイクロマシンセンター　阿出川俊一部長）
MEMS市場規模の拡大への対応として人材確保が急務であることを受け、効果的な人材育成のための施策として、産学連携による実践的な人材育成や、社会人を対象にしたMEMS技術講座、研修コースの充実が必要であると述べた。「マイクロナノ量産技術と応用デバイス製造に関する新事業開拓イノベーション人材育成」の今後の運営については、連携を生かした運営体制と目標人物像に対応したカリキュラムの体系化（基礎から応用イノベーション）し、本事業を進めている関東、関西、九州の各地域に東北地域も加えた全国展開を進めることを紹介。

（産業交流部@マイクロマシンセンター）