2018年1月16日 (火)

平成30年ロボット関連3団体 新年賀詞交歓会、今年も盛況のうちに終了

 平成30年1月12日(金)12時から、(一社)日本ロボット工業会、(一財)製造科学技術センター及び(一財)マイクロマシンセンターの主催による「平成30年ロボット関連3団体 新年賀詞交歓会」を、東京プリンスホテル プロビデンスホールにて開催いたしました。


 開会にあたり3団体を代表しまして、(一社)日本ロボット工業会 稲葉会長が、3団体における本年の抱負や重点項目への取り組みなどについて挨拶を行い、引き続き、御来賓として多田経済産業省製造産業局長から、3団体の事業活動に対する期待を込めたご祝辞を賜りました。


(一社)日本ロボット工業会 稲葉会長 挨拶


来賓 経済産業省 多田製造産業局長 ご挨拶

 本年は、「Society5.0」の実現に向けて政府が打ち出した「コネクテッド・インダストリーズ」の推進に欠かせない、ロボット分野、マイクロマシン/MEMS分野に関心が寄せられていることもあり、昨年より100人以上多い535名もの大勢の業界関係者が参集する盛況な賀詞交歓会となり、出席者は時間の許す限り、交流・歓談に花を咲かせておりました。


 この機会をお借りしまして、ご参加いただきました多くの皆様方に御礼申し上げます。

一般財団法人マイクロマシンセンター 事務局一同

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2018年1月10日 (水)

IoTSWC2017参加報告

 昨年10月3日から5日にかけてIoT Solutions World Congress 2017(以下、IoTSWC2017)に参加してまいりましたので、そちらのご報告を致します。IoTSWCは、毎年10月にスペイン・バルセロナで開催されるインダストリアルIoT(以下、IIoT)に関するイベントとなります。本イベントにはインダストリアル・インターネット・コンソーシアム(以下、IIC)が関わっており、IIoTに関するリファレンス実装等が多数のテストベッド(複数社による実運用レベルに近いユースケース検証)として報告されることから、IIoTに関する様々な仕様のデファクトスタンダード形成の場として注視しております。
                  
 現在、産業機器等から吸い上げたデータの有価情報を効率よく取り出しクラウドに送信する、超高効率データ抽出機能を有する学習型スマートセンシングシステムの研究に従事しておりますが、本研究の先端技術調査として前年度にも本イベントに参加した際には、テストベッドを有する先端企業からIIoTに関する多くのヒアリングを実施でき大変有益な機会となった為、今年度も技術動向の定点的な調査を実施して参りました。
                  
                  


図 1 バルセロナの街並み
                  


[概要]
 本年度は、来場者数は114ヶ国240社から約13000人(72%が経営幹部・上位管理職)となり、会場も昨年度比1.7倍の規模で実施されました。会場ではIoTプラットフォームに関するコンセプト展示だけでなく、農業、トランスポート、そしてインダストリ分野から、Siemens社、Intel社による油入装置監視、Analog Devices社による果樹園霜被害予兆監視等、具体的なユースケース展示が多く見受けられ、特にテストベッドの約7割がインダストリ分野からの出展となるなど、IIoT分野の盛り上がりを見せておりました。
                
                  
                  


図 2 展示会場の様子
                 


                  
                  


図 3 各国の講演数(カンファレンス資料より算出)

 

 また、今年はEdgeX Foundryのようなコンソーシアムの動きも目立っており、エッジコンピューティングに関する実装例もございました。EdgeX Foundryに参画する企業によるEdgeXゲートウェイの活用例としてのデモ展示は、OPTO社のブースで風車タービンの遠隔監視デモとしてエッジ側ゲートウェイにEdgeXゲートウェイを採用する例がありました。OPTO社の場合、サーバから、WANインタフェースとなるgroov Boxを介しFAN側コントローラであるOpto 22 SNAP PACsまでの一連のデータ送受信の環境を提供できることからシステムとしては自前で完成しておりましたが、Opto 22 SNAP PACsでは吸収しきれない将来的なプロトコル等に関して相互運用性を向上させる為に、EdgeXゲートウェイを一段仲介させることでエッジ側の抽象化を実現しておりました。クラウドにおけるUIダッシュボードからのビジネスロジックを解釈し異なる装置に対して、PLCコマンドのような制御コマンドを投入するにはエッジを抽象化するインタフェースの役割が明確にする必要がありますが、従来は管理対象ごとに作りこみを行っていたダッシュボードが発行するAPIからFAN側への制御コマンドを変換するアダプタにおいてコネクティビティを持たせる為にEdgeX Foundryが行うエッジインタフェースの標準化の取り組みは、今後きわめて重要な活動になっていくのではないかと感じております。このため、こうしたコンソーシアムの動向にも注目していきたいと思います。

 反面、相互接続性を上げていくことで古い装置に対する接続性が増し、セキュリティホールを有する古い装置を入口とした他の装置への攻撃のリスクを上げてしまうことにもなりかねません。また、ゲートウェイ側で抽象化する部分がオープンソースであることを利用しソースコードから脆弱性を類推するなどといった、プロプライエタリではないことに起因するセキュリティの脅威に対しても、相互接続性を担保しながら対策していくことが今後の課題となりそうです。
                  
                  


図 4 講演会場の様子


[講演]
 講演企業の中にはIoTプロジェクトの75%程度において期待通りの価値を提供しきれていないと感じている社もありました。これは、データ収集からデータモデル構築、そして分析を行うアルゴリズムのデプロイを行う一連のサイクルの中で、広域に据え付けられる数千単位でのデバイス・ゲートウェイに対するデプロイに、概念検証の段階では見えない課題が多数あり、実運用の段階でデータ収集力に直結するスケーラビリティに制限が課せられるケースがある為です。これまで工場の単一ラインでは、データ収集から知見獲得までをオートメーション化してきましたが、IIoTはこれに加えて、広範囲のデバイスやゲートウェイに対してセキュリティパッチや特定の状況下に適する分析アルゴリズムをあまねく導入後に継続適用していくことで全体最適を行っていく必要があります。
                  
[展示ブース]
 今回、技術動向調査を行ったなかから、LbSS研究に関係がありそうな技術展示2件、ご紹介させて頂きます。
                  
 1件目は、Intel社、BOSCH社による大気モニタリングに関する共同展示になります。ダスト排出量モニタリングによる、建設現場における大気汚染防止に関する法令の遵守度を測定する環境基準トラッキングとそれに応じた建設リソーススケジューリングが特徴です。また、CO検知センサにより、例えば無煙の熱分解等を分析することで火災報知器が検知しない火災の予兆検知にも適用可能と思われます。大気モニタリングといった汎用的な技術をビルの建築・設備運用における各フェーズのユースケースに適用することで、ビルのライフサイクルの初期からシステムを提案・導入できるメリットがある為、他社と比較し競争力のあるモニタリングシステムだと感じました。尚、建設中は本システムが屋外設置となる為、デプロイを正しく機能させることで中継器の不具合によるアップデート未実施を回避しサイバー攻撃による踏み台対策を行うだけでなく、装置そのものを盗難され物理的なメモリアクセスを介して行われるリバースエンジニアリングにも対処しなければならないと思われます。
                  
 2件目ですが、昨年度に引き続き、HPE社、NI社、およびPTC社が提供する予兆保全プラットフォームが展示されておりました。既に前年度の調査で燃料ポンプに対するキャビテーション検知を行うFlowserve社の適用例として本プラットフォームのことは把握しておりましたが、本年度はDeloitte社による振動アノーマリ検知による装置故障の予兆保全にも適用されるなど、本システムが汎用的なIoTプラットフォームとして提供可能なことが示され興味深く感じました。本予兆保全プラットフォームは、NI社の制御ハードウェアからHPE社のコンバージドIoTシステムにセンサデータを送信する際に帯域を圧迫しないよう、コンバージドIoTシステム上では全データから異常と判断されるデータの範囲が分析し、NI社の制御ハードウェアが次回以降の送信時に異常値のみを送信することで転送データの大幅な削減が可能となるデータ転送制御を実装している点が特徴です。実際には、予兆保全は10秒に1回のような頻度の閾値検知で事足りると思われますが、工場のラインではリアルタイム監視による画像データでの製品判定も行うことがあり、こうしたユースケース等ではセンサのデータ転送量が課題となることから本プラットフォームが適用される場面も多そうです。
                  
 今回、会場で見られた展示では特定のユースケースに特化したプラットフォームが多く、大量のセンサ端末やゲートウェイに対してスケーラビリティを考慮しないシステムはユースケースが個別最適になりがちでした。スケーラビリティを考慮することでゲートウェイ間での接続性も増し、従来システムとは違ったIoTプラットフォーム独自のメリットを享受できると思われます。
                  
[所感]
 日本・欧米等の産業先進国では独自の古いインタフェースを持つPLCを有する工場が未だ多いなか、こうしたインタフェースを扱う為の属人的な手順・ノウハウに頼る部分に対して汎用的なIoTプラットフォームを適用するには多くの課題が残っていると感じています。欧州における本会場でも適切な専門知識やOT知見を有する技術者の不足が聞かれており、スケーラビリティやコネクティビティを向上させることで、本来の高度な技能が必要とされる知見以外でシステムが属人化しない工夫が必要です。こうした点を踏まえたうえで、より高度な解析を行うIoTプラットフォームを構築するには、概念検証の期間にデータモデルの構築に注力する必要があり、データを即日といった短期間で収集開始できるよう、下回りはビルトインのフィルタや既製のプラットフォーム・ダッシュボードを利用するのが望ましいと考えます。
                  
[次回開催]
 今回の技術動向調査で得られた結果はベンチマークとしてフィードバックし、研究開発を継続してまいりたいと思います。次回のIoT Solutions World Congress 2018は、2018年10月16日~18日に開催が予定されております。
                  
                  

           技術研究組合 NMEMS技術研究機構 相見 眞男

                  

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2018年1月 5日 (金)

「新年のご挨拶」

新年あけましておめでとうございます。

 本年はSociety5.0の実現を世界に打ち出していくための新たな産業・社会の在り方として、「コネクテッド・インダストリーズ」に大きな注目が集るとされています。特に、製造現場、自動走行、健康・医療・介護等の現実の「リアルデータ」を巡る競争が激しくなると予想されていますが、その「リアルデータ」を収集する最前線にMEMSを中心とする多様なセンサが位置しています。従いまして、ナノ・マイクロ技術分野における研究開発や普及促進等を長年担ってきた私どもマイクロマシンセンターの責任はさらに重くなっていくものと考えております。

 仏のヨール社によれば、世界のMEMS市場は消費者用や自動車用がけん引し、2017年の132億ドルから2022年には254億ドルと年率14%で伸びるとされています。MEMSデバイスとしては、スマホの4G/5G 化の進展によりMEMSフィルタの伸びが大きく、従来からの慣性センサ、圧力センサ、ジャイロなどを凌駕していくと見られます。

 このような中、当センターでは2000年代に注力したMEMS技術そのものの研究開発から、2010年代にはセンサネットワーク技術にシフトし、現在は道路やライフラインのインフラモニタリングに加えて、ファクトリやプラントのスマートセンシングの研究開発に注力しています。そして、昨年は経産省・NEDOがコネクテッド・インダストリーズの重点分野として推しているロボティクスや自動走行の鍵となるAI融合高精度物体認識システムの研究開発に着手しました。

 また、それらの研究開発を支えるMEMS試作ファンドリとして、7年前に開設したつくばの「マイクロナノオープンイノベーションセンター(MNOIC)」も今や中小・ベンチャーを含む40社以上からの研究や工程の受託により、フル稼働の状況にあります。さらに設備整備や技術向上に努めて、我が国のMEMS開発需要に応えてまいります。

 そして、上述の成果などを公開する場として、昨年、MEMSセンシング&ネットワークシステム展を刷新して、初めてCEATECと同時開催とし、5万人を超える来場者の方々にお出でいただくことができました。本年はさらにCEATECやAll about Photonics展とのシナジー効果を高め、IoTシステム、さらにはコネクテッド・インダストリーズの最先端技術展としてのプレゼンスを高めてまいります。

 当センターとしましては、本年もMEMS・スマートセンシング技術の開発や普及に真摯に取り組み、我が国のコネクテッド・インダストリーズの推進に微力ながらも貢献してまいりますので、引き続きご指導、ご鞭撻の程、よろしくお願いいたします。

 皆様方には以下の10大ニュースをご覧いただき、このような私どもの活動状況をご賢察いただければ幸いです。

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2017年12月27日 (水)

MEMS協議会 2017年度MEMS懇話会開催(2017年12月27日)

 一般財団法人マイクロマシンセンター、MEMS協議会はMEMSを中心とした我国の産業競争力の強化を目的に、12月末に「MEMS懇話会」として、MEMS協議会メンバーの委員と行政側等との情報交換や意見交換を例年実施しています。今、政府では、我が国産業が目指すべきコンセプトとして、「コネクテッド・インダストリーズ」を提唱し、「Society 5.0」の実現に向けて、「自動走行・モビリティサービス」、「ものづくり・ロボティクス」など5つの重点取組分野を定め、競争力強化を図っています。

 2017年度MEMS懇話会は、このような環境下で、昨年末の12月27日に東京・秋葉原、新テクノサロンにて開催しました。経済産業省産業機械課、研究開発課、情報産業課および新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)、産業技術総合研究所からの来賓を交えて、マイクロマシン・MEMS分野に係る今後の課題について意見交換を行いました。最初にMEMS協議会山西健一郎会長(三菱電機取締役会長)による主催者挨拶があり、「コネクテッド・インダストリーズ」の進展に呼応して、MEMSセンサやネットワークの新たな技術展開を検討する場として一昨年、本協議会の下に「スマートセンシング&ネットワーク研究会(SSN研究会)」を設置し、新プロジェクト探索に向けた活動を継続して行っていることなどが紹介されました。その後、経済産業省、NEDOから最近の経済、産業動向などの紹介後、MEMS協議会員企業から、「自社のセンサ、MEMSに対する取組み」と「経済産業省、NEDO、産総研への要望」について意見発表が行われました。それを受けて、経済省、NEDO、産総研から、MEMS人材育成や国家プロジェクトのテーマ設定などについてのコメントが出されました。


MEMS懇話会 山西会長 挨拶


産機課片岡課長による来賓ご挨拶

 懇話会終了後、会場をMMC会議室へ移し、懇親会を開き、多くの方と意見交換が出来た有意義な会合でした。
(MEMS協議会 渡辺秀明)

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2017年12月21日 (木)

【平成29年12月の経済報告】 

本項は、マイクロマシン/MEMS分野を取り巻く経済・政策動向のトピックを、いろいろな観点からとらえて発信しています。

 

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 黒潮の大蛇行や、ラニーニャ現象等の影響か、12月に入り今季最強の寒波に覆われています。日本全国で冷え込みが強まるとともに、湿度も下がってきていますので、風邪、インフルエンザ等に十分注意して下さい。今回は平成2912月の経済報告をお届けします。

業務の参考として頂ければ幸いです。  

 内容は、以下のPDFをご参照下さい。

      

    「2017.12.pdf」をダウンロード

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2017年12月13日 (水)

2017年、日本から提案の2件のMEMS分野関連規格案がIEC国際規格として発行

 IEC(国際電気標準会議)/TC47(半導体分野技術委員会)/SC47F(MEMS分野分科委員会)にて、提案を行っておりました、日本からの規格案2件が、今年(2017年)、国際規格として発行されました。

 1件目は、東京大学・大学院工学系研究科・機械工学専攻の鈴木雄二教授がプロジェクトリーダとして提案のエレクトレット振動発電デバイスの規格案「IEC 62047-28:Semiconductor devices – Micro-electromechanical devices – Part 28: Vibration-driven MEMS electret energy harvesting devices MEMS」が、2017年1月にIEC国際規格として発行されました。
 MEMS応用分野として周囲の環境に存在する微小なエネルギーを収穫するエレクトレット振動発電デバイスの特性(性能)表示とその測定法を標準化しました。


 2件目は、神戸大学大学院工学研究科機械工学専攻の神野伊策教授がプロジェクトリーダとして提案のMEMS圧電薄膜の電気機械変換特性の測定方法の規格案「IEC 62047-30:Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 29: Electromechanical relaxation test method for freestanding conductive thin-films under room temperature」が、2017年9月にIEC国際規格として発行されました。MEMS圧電薄膜のアクチュエータ応用を目的とする逆圧電特性の測定方法を標準化しました。


 マイクロマシンセンターでは、IEC(国際電気標準会議)/TC47(半導体分野技術委員会)/SC47F(MEMS分野分科委員会)において、国内審議団体として活動するとともに、国際幹事を引き受け、幹事国として、MEMS分野の国際標準化活動を推進しております。上記、2件の国際規格発行により、現在、SC47Fでの発行済み国際規格は28件となり、うち13件が日本提案となっております。引き続き、現在審議中の2件の規格案について国際規格発行に向けたフォローアップ活動を実施するとともに、新規提案規格案開発を行っていきます。
   
調査研究・標準部 大中道 崇浩

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2017年11月29日 (水)

第35先端技術交流会の報告

 平成29年11月29日(水)の午後、マイクロマシンセンター新テクノサロンで第35回マイクロナノ先端技術交流会を開催しました。

 今回のテーマは「RF-MEMS(BAW(Bulk Acoustic Wave)フィルタ)の最前線」として、太陽誘電モバイルテクノロジー(株) 取締役の上田正憲様からは「最近のRF-BAWデバイス(フィルタ)の進展と今後の展望」と題して、そして、早稲田大学 理工学術院 先進理工学部 准教授の柳谷 隆彦先生からは「最新のBAWデバイス材料の研究と応用」と題してご講演をいただきました。

 最初の上田氏からは、最初に近年、Broadcom社やQorvo社に見られる、BAWフィルタ市場の急成長の背景について説明いただきました。既にスマートフォンの中に数多くBAWフィルタが使用されていますが、今後4Gから5Gに向けて、マルチバンド化、そしてCA(キャリアアグリゲーション)やMIMOによる高速通信が進み、ますます市場が広がっていくようです。 次にBAWの技術についてご紹介いただきました。 BAWは大きくキャビティ構造を有するFBAR(Film Bulk Acoustic Resonator)と音響ミラー構造を有するSMR(Solidly Mounted Resonator)の2種類に大別されます。太陽誘電では独自のエアギャップ構造を用いるFBAR構造を採用しています。フィルタの特性向上には周波数の温度ドリフトの影響を総裁する温度補償付きのTC(Temperature Compensated)-FBARを用いて、温度特性の向上を示していました。続いて、電気機械結合係数を向上する方策として、AlNに他の材料をドープする試みを紹介いただきました。結果としてMg,Hfを一緒にドープすることで電気機械結合係数(k2)がAlN7.1%に対して、10%に向上することを示されていました。

太陽誘電 上田氏

 早稲田大学の柳谷先生からはScAlNを中心としたBAWデバイスの材料のお話をいただきました。従来の圧電材料のAlNにScを導入することで圧電定数d33が5倍向上することを産業技術研究所の秋山先生が発見したのを機に、柳谷先生がScAlNを用いた圧電トランスデユーサ、FBARの報告を世界に先駆けて報告されました。Sc組成を徐々に増やしていくとSc組成0.4ぐらいまで徐々に電気機械結合係数が上昇して、AlNではK2が6.4%だったものが、14%近くに向上することを示されていました。

 また、電気機械結合係数の小さいGaN(k2~0.4)にYbを加えることでK2が4%まで大きくなる現象を発見されました。現在、多くの研究者がScAlNの研究、実用化を進めていますが、ScAlNの成膜にはノウハウがあるようです。柳谷先生からはターゲット中のCやOの除去が重要で、ScAl合金の使用やプレスパッタを長時間行うと良いといった報告をいただきました。柳谷先生の研究室では良質の成膜ができるために、ScAlN圧膜によって18%以上の高い電気機械結合係数(K2)の実現に向けて取り込まれているようです。

早稲田大学 柳谷先生

 また、講演会後の懇親会では、ご講演いただいた先生方を囲んで、BAWフィルタの今後の展開や圧戦膜成膜についてのノウハウなど遅くまで多くの意見交換が行われていました。  

意見交換会の様子

(産学交流担当 今本 浩史)

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2017年11月25日 (土)

INDTCE2017参加報告

 インフラモニタリングセンサ用エナジーハーベスタ調査の一環として、2017年11月21日(火曜日)〜23日(木曜日)にかけて、アメリカハワイのカウアイ島で開催された、Innovative Non-Destructive Testing for Civil Engineers(INDTCE2017)に参加してまいりました。また、それとともに2017年11月20日(月曜日)にハワイ大学(オアフ島)にも訪問して来ましたので報告します。

 まず、INDTCE2017については、今回初めて開催された国際学会であり、本プロジェクトのメンバーでもある京都大学の塩谷智基教授(写真1)がチェアとして中心となって立ち上げられ開催されました。また、初開催にもかかわらず、日本をはじめ、アメリカや韓国などの大学、企業の関係者も参加し、多くの発表、意見交換がされました。特に従来の国際学会と大きく異なり、土木系とともに、我々のようなエナジーハーベスティング、物理センシングを研究している電気系、物理系なども一堂に会しており、従来では難しかったそれぞれ最新の情報交換をする場が設けられました。それによって、ある分野では常識的なことが、別の分野では新鮮であったりして、非常に有意義な試みであったと感じました。


写真1 京都大学の塩谷智基教授(チェア)

 初日、最初のキーノートスピーチは、「Development of AE and Visualized NDE for Maintenance of Concrete Structures」と題して、現在京都大学にいらっしゃる大津政康教授(写真2)によるものでした。内容は、コンクリート構造物は、従来ではメンテナンスフリーと一般的に考えられて来ていましたが、その頃から大津教授らは人体の健康診断と同様に、コンクリート構造物にも診断が必要だと考え、AE法(Acoustic Emission Method)をはじめとした、非破壊検査法の確立など様々な活動をして来られた、というもので、ご講演の中ではそれらの一つ一つを丁寧にご説明されていました。それゆえ、我々のような分野が異なる研究者にとっても、その歴史を垣間見ることができる素晴らしい内容であったと同時に、大津教授らのこの分野における貢献度に感服しました。


写真2 キーノートスピーチの大津政康教授

 その後、午前中のひとつのセッションとして、私たちの取り組みであるインフラモニタリング用のエナジーハーベスティング技術、歪みを計測する新たな物理の創出、またそれらの商品化、製品化に向けた取り組みに関して、合計3件の発表を行いました。その中で、自分はNEDOのエネルギー・環境新技術先導プログラム/トリリオンセンサ社会を支える高効率MEMS振動発電デバイスの研究として取り組み、その後、RIMS用の振動発電デバイスとして開発している、橋梁モニタリング用のMEMSエナジーハーベスタを中心に発表をしました。内容は、実際に高速道路の橋梁で振動計測をした結果や、その結果をもとにしたエナジーハーベスタの設計コンセプト、実際に製作した高効率MEMS振動発電デバイスの実験結果、デモンストレーション動画等を紹介しました。本先導研究では、学会チェアでもある塩谷教授のグループと連携して行っていたテーマでもあり、その連携による効果などを塩谷教授が土木系の方々に補足でご説明してくれた(写真3)こともあり、期待以上に成果を訴求できたと思います。また、このセッション自体も非常に盛り上がり、セッション終了後には早速、こんなことはできないか、こんなところで使えないか、など具体的な質問、意見交換を活発に行うことができました。


写真3 エナジーハーベスタの発表(三屋、塩谷教授の補足)

 2日間に渡った会議も、終始活発に同分野、異分野の垣根なく意見交換、情報交換(写真4)ができ、非常に有意義な経験になりました。また、今後実際に何件かの新たな取り組みにつながりそうな話もあり、このような機会がさらに増えると面白いのではないかと個人的には思いました。


写真4 異分野の情報・意見交換の様子

 次に、INDTCE2017に先立って訪問したハワイ大学についてご報告します。ハワイ大学マノア校は州立大学であり、土地がら海洋学、火山学、天文学などの研究が活発に行われています。今回はハワイ大学のCosmochemistry研究所(写真5)で、特に隕石などに含まれるイオンなどの分析をご専門にされているNagashimaマネージャーを訪ね(写真6)、校内、研究設備等を見学させていただいた後、実際に、イオンの分析を見せていだだきながら、我々のイオン分析手法などについて意見交換を行ってまいりました。


写真5  Cosmochemistry研究所


写真6 三屋(左)、小野さん(中)、Nagashimaマネージャー(右)

 同研究所では、世界でも数台しかない高感度2次元イオン検出による結像型SIMS(Secondary Ion-microprobe Mass Spectrometer、日本では2次イオン質量分析計)を保有しており(写真7)、その分解能はppb(parts per billion 、十億分の1)と非常に高いとのことです。また、本質量分析計の電圧や磁場は、光学顕微鏡におけるレンズの役割を担っており、細く絞ったイオンビームを試料に当ててイオン化し、その2次イオンを「レンズ」によって元の位置情報を保ったまま質量分析計の検出器へ導くことができるとのことです。また、その検出器は、独自に設計・開発したイオン撮像器で、1個~100万個の入射イオンの個数を計測出来る素子が並べられており、2次元イメージングが可能とのことでした。これにより、隕石などを分析する宇宙科学・地球科学分野において、多くの世界最先端の科学成果をあげられているとのことでした。

 
写真7 高感度2次元イオン検出による結像型SIMS

 我々が研究しているエレクトレットも、絶縁物中にイオンを含有することで形成されておりますが、その2次元分布は観察できなかったため、どのよう分布なのかわかっておりませんでした。しかしながら、条件次第ではあるが、この装置を使用すればわかるかもしれないとのことでしたので、具体的に検討していこうということになり、非常に有意義な意見交換となりました。

 今回は、(学会の分野違いと同様に、)隕石のイオン分析という、一見異分野のように感じますが、対象物が半導体と隕石と違うだけで分析方法はまさに我々と同じようなものでした。それにもかかわらず、半導体業界では知られていないが故にできないと思っていたことを、隕石の分析業界ではいとも簡単に観察されていることに非常に驚いたのと同時に、このような異分野にも目を向ける重要性を改めて実感しました。

 また、ハワイという常夏の地に冬の日本から訪れ、異分野との交流をする、という非常に非日常な体験でした。しかしながら、その中で従来の延長ではない、新たな引き出しを見つけることができ、非常に有意義であるとともに、このような交流をすることの重要性を、身をもって実感いたしました。今後も是非積極的にこのような活動をしていきたいと思います。

2017年11月25日
技術研究組合NMEMS技術研究機構 三屋裕幸

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2017年11月22日 (水)

ハイウエイテクノフェア2017出展

 2017年11月21日(火)~ 11月22日(水)に東京ビッグサイト東7・8ホールで開催されましたハイウエイテクノフェア2017に技術研究組合NMEMSが2小間出展致しました(写真1:NMEMS技術研究機構の出展ブースの様子)。

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    写真1 NMEMS技術研究機構の出展ブースの様子

 ハイウエイテクノフェア2017は公益財団法人高速道路調査会の主催、NEXCO3社の共催による高速道路を支える最先端技術を紹介する展示会です。今年は第14回目で、282の出展者が1,333の新技術等を出展し、2日間で約20,700名の来場者がありました。来場者は毎年右肩上がりで伸びており、非常に活気に溢れた展示会となっています。出展物も、ファン付の空調服から最新の道路監視システム、さらには大型のトンネル点検車に至るまで、ハイウェイに関係するものならなんでもありで、非常にユニークです。
 NMEMS技術研究機構のブースでは、今年のMEMS センシング&ネットワークシステム展で使用したパネル17枚による成果のPRに加え、新規開発のセンサ端末等の展示(写真2)とフレキシブル面パターンセンサのデモ(写真3)、さらには動画によるプロジェクトの解説により、以下の特徴を有するRIMSプロジェクトの広報を行いました。

  • 従来の点検技術を補完し、道路インフラの状態を常時モニタリング
  • 道路インフラのトータルな維持管理が可能
  • 高速道路の橋梁、道路付帯物、法面等を対象
  • センサ端末は自立電源駆動
  • 新規の小型、安価、高性能、高耐久性無線センサ
  • 多種多様なセンサからのデータを収集する無線通信センサネットワーク
  • セラミックスによる高耐久のオールインワンパッケージ
  • 粘着性を有する屋外用高耐久性機能フィルムによる端末等の容易な施工
  • 長大橋や発電所等の大規模インフラモニタリングに展開

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               写真2 展示品

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      写真3 フレキシブル面パターンセンサのデモの外観

 デモ(写真3)では、フレキシブル面パターンセンサによるひずみのリアルタイム計測を行いました。このデモは、フレキシブル面パターンセンサを貼り付けたステンレス板を押すことにより得られるひずみ量を計測し、そのひずみ量を無線通信されたノートPC上で色パターンに変換するとともに、その結果をディスプレイに表示されたセンサ画像上にリアルタイムでマッピングするというものです。ひずみを面で捉えるといったコンセプトをデモを通して分かり易くお伝えすることで、取り組みの先進性と有用性をアピールすることができました。また、フレキシブル面パターンセンサは、日本経済新聞本紙朝刊に取り上げられるなど大きな反響がありました。
 ブースにはRIMSプロジェクトに興味のある方が多数来場され、密度の濃い意見交換ができ、RIMSプロジェクトの広報もできました。
 次回のハイウエイテクノフェア2018は2018年11月28日(水)~11月29日(木)に東京ビッグサイト西3・4ホールで開催されます。
 
        (技術研究組合 NMEMS技術研究機構 中嶋 正臣)

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【平成29年11月の経済報告】

本項は、マイクロマシン/MEMS分野を取り巻く経済・政策動向のトピックを、いろいろな観点からとらえて発信しています。

 

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 11月になり天候も回復し紅葉が美しくなる季節となりました。それに伴いきかつ寒さが身に浸みるようになってきました。今回は平成2911月の経済報告をお届けします。

業務の参考として頂ければ幸いです。  

 内容は、以下のPDFをご参照下さい。

 

        「2017.11.pdf」をダウンロード

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«「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウムにMNOICの出展報告