2017年3月24日 (金)

平成29年03月の経済報告

 本項は、マイクロマシン/MEMS分野を取り巻く経済・政策動向のトピックを、いろいろな観点からとらえて発信しています。

 平成2903月の経済報告をお届けします。

 業務の参考として頂ければ幸いです。
  

 内容は、以下のPDFをご参照下さい。

「2017.03.pdf」をダウンロード

 

 

 

 

 

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2017年3月23日 (木)

MNOIC(マイクロナノオープンイノベーションセンター)の活動状況

 MNOICはTIAのMEMSオープンプラットフォーム拠点として、産総研集積マイクロシステム研究センター、筑波大学と連携して、MEMS研究の知の蓄積とMEMS試作ファンドリー活動などを幅広く行っております。事業開始後6年がほぼ経過し、この間産業界、大学等から強いニーズに加え、幅広い支持が得られております。ここではMNOICの2016年度活動状況をご報告致します。

1. 工程受託コースの増加
  産総研共用施設等利用制度を利用した工程受託コースのご利用は、
 開始した2014年度の4件から2015年度は26件、2016年度31件と順
 調に増加しています。

2.技術ノウハウの蓄積
 1)品質管理、工程管理活動
   6年間における活動の中で、品質管理、工程管理マニュアルの
   整備完了
 2)国プロ研究開発参画による新技術の蓄積  
  ・道路インフラ(RIMS):高耐久性パッケージ技術
  ・ライフラインコア(UCoMS):圧電薄膜プロセス技術
  ・IoTオープンイノベーション:段差基板上のポリイミド平坦化技術

3.人材育成・国際交流活動
 1)TIA連携大学院
  <MNOIC実習講座>
  「インフラおよび産業機器モニタに利用可能な、MEMSセンサの
   回路・システム実習」
 2)TIA-CuPAL
   (科学技術人材育成)「ナノテクキャリアアップアライアンス」
    への協力
 3)MEMS短期コース
   (タイ留学生研修)「さくらサイエンスプラン」への協力
 
4.広報・普及活動
 ・「MEMS センシング&ネットワークシステム展 2016」出展
                 2016/9/14-16(パシフィコ横浜)
  http://www.nanomicro.biz/mems/2016/09/2016916-4c83.html

 ・「センサエキスポジャパン2016」ポスター展示 
                2016/9/28-30(東京ビッグサイト)


         写真1 センサエキスポジャパン2016

 ・「TIAシンポジウム」ポスター展示 
                  2016/10/11(イイノホール)


            写真2 TIAシンポジウム

 ・「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 出展
            2016/10/24-26(長崎県平戸文化センター)
  http://www.nanomicro.biz/mems/2016/10/mnoic-1c7f.html

 ・「nano tech 2017」ポスター展示 
                2017/2/15-17(東京ビッグサイト)


           写真3 nanotech2017

 ・「微細加工ナノプラットフォームシンポジウム」ポスター展示
                   2017/3/8(東大武田先端知)
  http://www.nanomicro.biz/mems/tianmems/index.html

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2017年3月13日 (月)

第27回MEMS講習会開催の報告

 ここに記事を記入してください2017年3月9日にまちなかキャンパス長岡において、第27回MEMS講習会を開催致しました。MEMS講習会は、MEMS協議会に所属するMEMSファンドリーネットワーク企業を中心に企画され、都内と地方都市で年に1回ずつ開催しています。  

 今回は「MEMS技術を利用した地域活性化」をテーマに、長岡地区の大学や企業と連携してMEMS産業の育成に取り組まれている新潟県総合技術研究所と、にいがたナノ基盤技術実践会、との共催で、地元企業とのビジネス交流を目的として、開催いたしました。当日は、あいにくの雪となりましたが、47名もの参加者を得て、MEMS分野で最先端の研究開発をされている研究者による特別講演と、長岡地区の企業とMEMSファンドリーネットワークの双方からの報告により、MEMS技術の事業への活用について議論する貴重な場となりました。

           写真1 講演会場の様子

   写真2 にいがたナノ基盤技術実践会(共催) 明田川会長

 主催者および共催者の挨拶のあと、1件目の特別講演として、東北大学の田中秀治教授から「スマート社会5.0の鍵を握るMEMS」と題して、ご講演いただきました。IoTにより実現されるスマート社会5.0を支えるMEMS技術として、Epi-Sealプラットフォームにより生み出される様々なセンサや、音声認識やノイズカットなどでいつの間にか身近な製品に浸透しているMEMSマイクロフォンなど、様々なデバイスと、その応用例をご紹介いただきました。MEMSマイクロミラーの応用では、高速位置トラッキングやVRヘッドセットなど、様々な製品へと用途が広がっており、また、MEMSジャイロの高性能化や触覚センサなど、ロボットなど自動で動き回る機械が人と共生する上で必須となるセンサ技術や、大量のセンサを組み込んだシステムでの情報伝達のためのバスネットワークなど、スマート社会5.0を実現するための様々な技術開発が着実に進んでいることもわかりました。田中研究室では、江刺研究室時代から培われているノウハウを基に企業のデバイス開発を陰に陽に支援されており、多くの企業の事業化を実現されておられます。60分という短い時間ではありましたが、MEMS産業の発展に向けた更なるご活躍が期待されるご講演でした。

         写真3 特別講演1 田中先生

         写真4 特別講演2 河合先生

 続きまして、2件目の特別講演として、長岡科学技術大学の河合晃教授より「新潟県地場産業とMEMSデバイス産業との懸け橋」と題して、ご講演いただきました。新潟県は、非鉄金属加工が盛んな工業地帯であり、MEMSデバイスの活用による産業の更なる活性化が期待される地域であることもわかりました。また、河合研究室での研究内容として、自然災害に備えた計測技術(地震計測など)や生体燃料を用いた燃料電池、植物の成長促進に向けて開発されたバイオチップ、ナノバルブの観察手法など多岐にわたる技術をご紹介いただきました。特にバイオチップで植物のpH値を適切に制御することで成長を促進する技術は、遺伝子操作や品種改良によらず食料を増産可能な技術として期待されます。河合教授は、開発した技術の事業化を支援するベンチャーを立ち上げられており、企業と連携した研究成果の事業化が期待されるご講演となりました。

 ここでいったん休憩を挟み、休憩明けからは長岡地区の企業から3件のご講演と、ファンドリーサービス産業委員会からのファンドリーサービス内容をご紹介させていただきました。長岡地区から最初のご講演は、ナミックス株式会社の榎本利章氏より、「アンダーフィルのシミュレーションから見えるもの」と題して、フリップチップパッケージを対象としたアンダーフィルの流動・応力・疲労解析技術についてご紹介いただきました。研究開発費比率が10%弱と高く、2014年にはグローバルニッチ企業100選にも選定された企業で、技術開発力の高さを垣間見るご講演でした。

        写真5 ナミックス株式会社 榎本氏

 次にヘッドアップディスプレイ(HUD)で世界No1のシェアを誇る日本精機株式会社の中原剛氏より「HUDにおけるMEMS技術」と題して、ご講演いただきました。欧州の高級車を中心に搭載が進むHUDでは、液晶型が主流となっておりますが、将来的にはDMD(デジタルミラーデバイス)やMEMSミラーを用いたプロジェクションタイプにより視認性を改善する方向に技術開発が進むのではないかとのことで、MEMS関連企業にとっては、心強いご講演となりました。

        写真6 日本精機株式会社 中原氏

 長岡地区の企業からの最後のご講演は、コネクテックジャパン株式会社の小松裕司氏より「MEMSプロセスを用いた半導体基板配線狭ピッチ化」と題して、ご講演いただきました。LSIの多機能化により1チップ当たりの端子数が増えているが、現状の実装技術では端子ピッチとして40μmが限界であり、チップの小型化が進んでも端子ピッチの制約でパッケージサイズが律速されつつある現状と、この課題のブレークスルー技術として開発中の配線とバンプの一括転写技術について、ご紹介いただきました。この技術は、流体MEMSのチップ作製に用いられる厚膜レジストによる型作りと、PDMS(ポリジメチルシロキサン)への精密転写の技術を応用しており、PDMSの離形性の良さを活用してバンプと配線パターンを一括して基板上に転写することで、端子の狭ピッチ化を実現されておられます。開発中の技術とのことですが、スキージでクリームはんだを基板上に転写する印刷法に代わる技術として、実用化が待たれます。

     写真7 コネクテックジャパン株式会社 小松氏

 MEMSファンドリーネットワークからは、産総研、MNOIC、大日本印刷、メムスコアからMEMSの開発支援から量産までを網羅した4件の技術紹介をいたしました。最初にファンドリーサービス産業委員会の浅野委員長より、「MEMSファンドリーネットワークとサービスのご紹介」と題しまして、MEMSを開発したい企業を支援する仕組みをご紹介させていただきました。所属機関からは、産総研の高木総括研究主幹より、集積マイクロシステム研究センターで開発してきた様々なMEMS技術について、ご紹介いただき、その産総研の設備を運用してMEMS開発を支援するMNOICの紹介をMNOIC開発センターの原田氏よりいたしました。ファンドリー企業からは、大日本印刷の中本氏より「大日本印刷MEMSファンドリーご紹介」、メムスコアの慶光院氏より「メムスコアのビジネス」、と発表が続き、本講習会の最後に部屋を移動してファンドリーサービス産業委員会の企業による技術相談会を開催いたしました。別会場ではありましたが、多数の参加者に足を運んでいただき、予定の時間を過ぎても活発な議論が交わされ、MEMSデバイスの開発を目指す企業の裾野が拡がっていくことが期待できる講習会になりました。今後、講習会に参加された方々とMEMSファンドリーネットワークとのコラボによる製品開発がなされることを期待いたします。

 また翌日は、長岡技術科学大学の見学会を開催いたしました。長岡技術科学大学は、企業の人事担当者から見た大学のイメージ調査で、総合ランキング1位を獲得されており、特に学生の行動力が高く評価されているそうです。地域の高等専門学校からの編入者が多く、長期間にわたる企業での実習プログラムなどもあり、実践的な技術の開発を主眼とした教育を進めておられます。研究室の見学では、前日の講習会でご講演いただきました河合晃教授のナノマイクロ研究室と、明田川教授のピコメートル・ナノメートル研究室の見学をさせていただきました。河合教授の研究室では、デバイスの設計から試作、パッケージングまでを一貫して行える設備を揃えられており、自らの力で発想を具現化することで、実践力のある学生を育成されておられます。対象とされている分野として、原子間力顕微鏡を用いたナノスケール解析・加工技術から地震計測、燃料電池、植物育成制御用バイオチップなど、多岐にわたる技術をご紹介いただきました。研究成果の実用化に向け、企業での事業化の支援を目的としたベンチャーを設立されており、実社会への研究成果の普及に力を入れられているのが良く分かりました。また、明田川教授の研究室では、原子スケール精度の計測に取り組まれており、精度向上のための温度変動の抑制や低熱膨張率材を用いた装置など、様々な実験装置をご紹介いただきました。また、リニアスケールの格子としてグラファイト格子を利用し、その格子間隔を走査型トンネル顕微鏡で捉えたり、レーザ干渉計の波長安定化ために原子の励起周波数を利用されるなど、大変興味深い技術もご紹介いただきました。改めて、長岡技術科学大学での見学会を企画いただいた方々に感謝いたします。
                                (産業交流部 小出晃)

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2017年3月 9日 (木)

2017年 第23回「国際マイクロマシンサミット」開催のご案内

 マイクロマシンサミットは、年に1回、世界各国・地域の代表団が集まり、マイクロマシン/ナノテクノロジーに関する課題や展望につき意見交換する場です。日本の提案により平成7年3月に京都で開催されたのが始まりで、以後、各国持ち回りで開催されています。これまでオーストラリア、カナダ、中国、フランス、ドイツ、日本、韓国、シンガポール、スイス、台湾、イギリス、米国、ベネルクス、ノルディク、ラテンアメリカ、地中海沿岸地域の国々、およびロシアが参加し、各国のマイクロマシン/MEMSやナノテクの取組状況と課題、ならびに世界の産・学研究機関での最先端の研究成果等の発表がなされ、またその討議が行われました。昨年は東京で開催されて16ヵ国から51名のデリゲートが参加し、「高齢化社会におけるセンサ・MEMS」をテーマに、様々な話題が報告されました。
 
 2017年は5月15日(月)から17日(水)までスペインのバルセロナで開催されます。今回のトピックスは、” Micro and Nano Systems for Smart Cities applications”です。スペインは、関連研究所にセンサやMEMS,無線、半導体や集積回路、物性やナノ材料と言った複数の専門分野の研究者が同居する研究所が多く、多数の専門領域の融合が進んでいるのが特徴です。

 
 また今回のオーガナイザーは、CNM-CSIC(National Microelectronics Center of Barcelona)の所長Carles Cané教授で、サミットには通算で14回参加されている古参のお一人です。詳細は以下のURLを参照ください。
 http://mms2017.imb-cnm.csic.es/
 
 今回も、下山勲東京大学教授を団長として日本代表団を構成し、参加を予定しております。マイクロマシンセンターの会員の皆様はご参加いただけます。世界のマイクロマシン/MEMSやナノテクに関する情報収集や意見交換できるまたとない機会ですので、ぜひご参加いただきたくご案内いたします。

 お問い合わせ先
  一般財団法人マイクロマシンセンター/MEMS協議会事務局
   国際交流担当 三原 孝士
   〒101-0026東京都千代田区神田佐久間河岸67 MBR99ビル6階
   TEL: 03-5835-1870  FAX: 03-5835-1873
   e-mail:  t_mihara@mmc.or.jp



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「微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム シンポジウム」でMNOICを紹介

 MEMS、ナノテク、微細加工技術の情報発信と関係者の交流を目的に、文部科学省の委託事業である微細加工ナノプラットフォームについてのシンポジウムが本年3月8日(水)、東京大学 浅野キャンパス 武田先端知ビル武田ホールにて開催されました。昨年に引き続きこのシンポジウムに一般財団法人マイクロマシンセンターからMNOIC(マイクロナノ・オープンイノベーションセンター)の概要とサービスの内容についてポスター展示致しましたのでご報告します。

 この微細加工ナノプラットフォームシンポジウムは、最先端のナノテクノロジーの研究開発動向と、微細加工ナノプラットフォームを活用し産学官の緊密な協力の下で生まれた技術開発の成功事例、ならびに現在開発を進めている企業の生の声などを紹介するもので、100名を超える参加者でほぼ満席の中、開催されました。冒頭、本プラットフォームコンソーシアムの代表機関である京都大学の運営責任者、小寺秀俊教授から、開始から5年を経過し、大学等の施設の共用と蓄積された知により企業の新技術開発、課題解決を支援し、順調に利用件数が増加していることが報告されました(写真1)。

 次に、文部科学省研究振興局岡村直子参事官の来賓挨拶では、政府の総合科学技術・イノベーション会議で検討され、その後2016年1月に閣議決定されたSociety 5.0における科学技術政策に乗った試みであるとのコメントがありました。続いて、総合科学技術イノベーション会議 原山優子議員の基調講演「微細加工プラットフォームのポテンシャルを探る」の中で、MEMS発展の事例紹介的な講演がありました。

 その後特別講演として、リコー未来技術研究所山口高司顧問技師長の「リコーのナノテクノロジーを活用した新規事業への挑戦」と、産総研の原史朗ミニマルシステムグループ長から「研究->開発->生産を一体化加速する超小型デバイス製造システム・ミニマルファブ」の2件の講演ありました。

 休憩後、微細加工ナノプラットフォームの利用事例として、リオン株式会社 伊藤平 氏による 「シリコンエレクトレットマイクロホンの開発」と 獨協医科大学 清水理葉 医師から、「新しいEx vivo微小血管モデルの作成」の報告がありました。2件とも、実施者はMEMSの専門外ながらも、このプラットフォームの支援機関の強力なサポートを得て、新規なデバイス作製に成功しており、異分野融合によるイノベーションの創出モデルとして注目されます。講演会の最後に「マテリアルズインフォマティクスにおける材料データベース」と題し、情報統合型 物質・材料イニシアティブ 伊藤聡 氏の報告がありました。
 
 講演会終了後は、ポスターセッションと意見交換会が武田ホールホワイエで開かれました(写真2)。ポスター展示には、微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム16機関に加え、協賛機関7機関、協力機関3機関もセッションに参加し、各機関の特色に重きを置いた説明が各所で行われました。MNOICでは、微細加工ナノプラットフォームで開発された成果の技術移転先として注目されており、いくつかの実用化研究やサンプル作製の打診を受けました。MNOICの特色である、サンプル販売も可能なことを活かし、本コンソーシアムとの連携をさらに強化することで、研究開発から商品開発までのリードタイムを短縮し、我が国の産業競争力強化につながる活動を継続してまいります。



写真1


写真2

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2017年2月23日 (木)

内閣府SIP戦略的イノベーション創造プログラム(次世代農林水産業創造技術)「生体センシング技術を活用した次世代精密家畜個体管理システムの開発」平成28年度研究推進会議開催

 畜産センサ研究コンソーシアム(代表研究機関:国立研究開発法人農業・食品産業技術総合研究機構(農研機構)動物衛生研究部門)で実施している内閣府SIP戦略的イノベーション創造プログラム(次世代農林水産業創造技術)「生体センシング技術を活用した次世代精密家畜個体管理システムの開発」の全参画研究者が集い、その年度の研究成果を報告する場である平成28年度研究推進会議が2017年2月20日(月)につくば国際会議場中会議室201において開催されました。
 参加者は内閣府、農林水産省、経済産業省等関係省庁からの来賓および外部アドバイザー(富士通(株)とオリオン機械(株)の有識者)も含め58名が参集しました(写真1:研究推進会議の様子)。

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           写真1 研究推進会議場の様子
  
 これまでの研究推進会議では各参画研究機関から詳細な成果報告と討議を行ってきましたが、今回は来賓のご挨拶の後、各課題の推進リーダから3年間の成果まとめの報告と活発な議論がなされました。製品化という観点からすると課題間で若干の温度差はありますが、各課題とも当初予定したプロトタイプのセンサが完成し、実証試験により、有用なデータが得られたとの報告がありました。そして、最後に外部アドバイザーおよび野口PDから講評を頂きました。研究推進会議の議事次第を以下に示します。

Ⅰ.挨拶
 農研機構 動物衛生研究部門 部門長
Ⅱ.来賓挨拶
 内閣府 政策統括官(科学技術・イノベーション担当)付
 農林水産省 農林水産技術会議事務局
Ⅲ.全体説明
 新井研究代表
Ⅳ.各課題の成果説明
 1.繁殖成績向上のための精密個体管理システムの開発
  (1) 腟内及び体表温センサを用いた受胎向上技術の開発
  (2) 高機能センサを用いた周産期管理の省力化に向けた技術開発
  (3) アニマルセンシング情報の時系列解析を基にした牛の微弱発情検知
    及び周産期疾病予防システムの開発   
 2.高度飼養管理と生産病防除のための精密個体管理システムの開発
  (1) 多機能型ルーメンセンサを用いた生産病の診断及び飼養管理技術の
    開発
  (2) 体表温センサを用いた疾病診断法及び飼養管理技術の開発
  (3) 自律神経機能の乱れからストレス状態の初期の兆候を検知する技術
    の開発
  (4) 無線式pHセンサを用いたルーメンアシドーシスの病態解析と防除
    技術の開発
 3.次世代精密家畜個体管理システムの実現に向けた調査研究
  (1) 家畜管理システムに必要なセンサの現状と動向並びにビジネスモデ
    ルの調査
Ⅴ.アドバイザーコメント
 富士通株式会社 
  オリオン機械株式会社
Ⅵ.PDコメント 
 北海道大学大学院農学研究院   野口 伸
Ⅶ.意見交換会
 マイクロマシンセンターからは11県215件のユーザアンケート結果と経済効果の調査結果を報告しました(写真2)。

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       写真2 マイクロマシンセンターの報告の様子

 ユーザアンケートからはコストが安く、導入メリットが明らかでフォローアップ体制のしっかりしたセンサシステムに仕上げれば、本プロジェクトで開発中のセンサシステムを導入したいとの声が大きく、また、直接経済効果としては繁殖成績向上により513億円、高度飼養管理により2,712億円あり、産業連関分析による間接的波及効果は20分野で2,959億円であることが分りました。残念ながら、本年度でプロジェクトは終了するため、大規模実証まで実施することはできませんが、各課題とも開発した技術を元に新たなプロジェクト予算を獲得するとともに、製品化をさらに進め、農家の方の役に立つ技術に仕上げることを約束して、散会しました。

 本研究は、内閣府戦略的イノベーション創造プログラム(SIP)「次世代農林水産業創造技術:(管理法人:農研機構生研支援センター)によって実施されました。

(一般財団法人マイクロマシンセンター 武田宗久)

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2017年2月22日 (水)

【平成29年02月の経済報告】

本項は、マイクロマシン/MEMS分野を取り巻く経済・政策動向のトピックを、いろいろな観点からとらえて発信しています。

 平成2902月の経済報告をお届けします。

業務の参考として頂ければ幸いです。  

 内容は、以下のPDFをご参照下さい。

 

      「2017.02.pdf」をダウンロード

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2017年2月20日 (月)

第5回海外調査報告会を盛況に開催

   第5回MEMS協議会海外調査報告会を1月30日に新テクノサロンで開催し、約50名の方にご参加いただきました。このイベントはマイクロマシンセンター/MEMS協議会(MIF)が行っているMEMS関連の海外調査及び国際標準化の最新状況について国際交流事業の一環として報告するものです。毎年のように北米や欧州を中心に学会等のイベント、海外の大学や研究施設、関連企業の訪問見学の報告を行ってきましたが、今回は前回に引き続き、欧州の橋梁モニタリングに関連する報告を、特別報告として企画致しました。       

                   I1_2                                      
写真1 会場の様子
                  

  MEMS協議会事務局長・長谷川英一からの主催者挨拶のあと、最初の報告は特別報告として「欧州における橋梁モニタリングの現状と動向」と題して技術研究組合NMEMS技術研究機構の中嶋正臣氏から、エジンバラ大学をはじめとした研究機関やConnect  Plus Serviceといったインフラ管理のコンソーシアムとの橋梁モニタリングに関するディスカッションや、Forth Bridge及びForth  Road Bridge等の橋梁での現地調査の報告がありました。最初にNMEMS技術研究機構が中心になって推進している国家プロジェクトであるRIMS:ROAD  Infrastructure Monitoring Systemの説明がありました。これは最先端MEMS技術を駆使して開発されたスーパーアコースティックセンサと言う高周波を発するアコースティックエミッションから低振動まで広い帯域を網羅するスーパセンサや、大面積センサ等の橋梁モニタに特化したセンサデバイスを使った社会インフラモニタリングを行う活動です。 今回の目的としては、日本より先行していろいろな活動が行われている欧州(イギリス、オランダ)の橋梁モニタリングの現状を把握するため、調査団を結成して現地橋梁モニタリング現場の調査を実施するとともにRIMSプロジェクトの広報を図るとのことでした。                   

 調査場所としては、イギリス、ロンドンのConnect Plus Service(CPS)とXEIAD Ltd.、道路保守点検会社であるCPSおよび土木コンサルタント(XEIAD)、M25およびQueen Elizabeth II Bridge(QE2)、光ファイバ等センシング技術、イギリスのモニタリング技術の産業化実態調査のためのEpsilon Optics Ltd調査、エジンバラ大学(イギリス、エジンバラ)にてコンクリート等のインフラ主要構造部材の非破壊検査技術の権威であるProf.  Mike Fordeとの意見交換、イギリス、エジンバラでの代表的な橋梁であるForth BridgeおよびForth Road Bridge調査、特にForth Bridgeのモニタリング実態調査、さらにオランダ、デルフト/ロッテルダムのAEセンサを用いたAE挙動の評価のためのTNOの調査、またVan-Brienenoord Bridgeのモニタリング計測橋梁調査と極めて大規模なものになっています。          

 イギリスにおける、橋梁モニタリングの手段は、光ファイバによる歪センサ計装を使ったものです。とくに英国Epsilon Optics社は、構造設計と光ファイバ計装技術を組み合わせることで、土木、海洋、航空宇宙等の様々な分野へモニタリング技術を提供しています。同社は、光ファイバセンサ自体の開発は行っていないが、光ファイバセンサに対するパッチのアセンブリ等を様々な分野に実装することで、モニタリングに関する幅広いノウハウを有していることを強みとしているようです。その実績は、イギリス国内にとどまらずグローバルなもので、対象も橋梁やトンネルにおけるクラックのモニタリング、ヨットのキールや飛行機の着陸装置への負荷のモニタリング等幅広いようです。          

 また訪問したエジンバラ大学のProf. Mike Fordeは、コンクリートなどのインフラ主要構造部材の非破壊検査技術の権威であるとともに、超音波トモグラフィ、アコースティックエミッションの世界的先駆者とのことです。Journal                   Construction and Building MaterialsのChief Editorを務めている他、RILEM(International Union of Laboratories and Experts in Construction Materials, Systems and Structures)、BINDT(British Institute of Non-Destructive Testing)とACI(American Concrete Institute)等の重要な機関で主査を務めています。                   

 視察した英国のForth Bridge(フォース鉄道橋)は、1890年に完成した全長2530mのカンチレバートラス橋であり、包括的な構造モニタリングシステムが2002年に実装され、リニア変位変換器、回転ポテンショメータ、傾斜計、温度センサとひび割れ検知を含む様々なセンサにより、支承可動部の動きに加え、中央タワーおよびスパン接続部の3軸方向(垂直・水平方向および回転)の動きを検知できるとのことです。               

 最後に中嶋氏のまとめとして、「イギリス、オランダでは幹線道路の長大橋を中心に複数のセンサを用いた常時モニタリングを実施して、メンテナンスの効率化を図っている。但し、使われているセンサは有線のセンサであり、膨大な配線が施設されていた。既存のセンサ生データをそのまま常時モニタリングしているため、データ量が膨大になる、信頼性のある無線システムがないことから確実な有線センサを用いているのが現状であり、無線化や自立電源化に関しては、現場では未だ適用されていない。日本視察団を代表して下山教授からRIMSの概要を説明したところ、RIMSプロジェクトで開発しているセンサに関しては訪問したすべての機関で非常に興味をもって頂けた。」と報告を終えました。

                   

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写真2 中嶋氏から報告
                            

 続いて、「米国のMEMS産業動向」と題してMEMS協議会 今本氏から10月31日~11月2日に米国・フロリダで開催されたIEEE Sensors 2016、また米国MEMS & Sensors Industry Group主催で、2016年11月9日(水)~11月11日(金)に米国カリフォルニア州スコッツデールにて開催されたMEMS & Sensors Executive Congressへの参加報告がありました。この会議は毎年開催され講演やパネルディスカッションといったフォーマルな行事と、休憩時間等の空き時間でのインフォーマルな会話を通して、情報交換や人的なネットワークを形成することにより、MEMS関連産業のネットワーク構築が可能であることが特徴です。研究開発そのものの発表は少なく、事業化をどう促進するかが主題の会議となっている真に産業化のために推進会議になっています。

 またこの2つの大きな会合の間に、フロリダ大学(Yoon教授)・ジョージア工科大学(Ayazi教授・Tentzeris教授)・BSAC(Pister教授)にも訪問し、専門的な領域に踏み込んだ報告になっています。                

 まずIEEE Sensors 2016 参加報告では、日本からの発表が急増し、日本からの参加人数も 2013年の8人程度から2016年では30人                   以上、特にEnergy Harvesterのセッション追加されたこと、また企業からの発表が非常に少ないと言う特徴を持っています、                   

 MEMS & Sensors Executive Congress では、Trillion Sensorを巻き込み、途中でパラレルセッションになったためか、大学や国の研究機関が増えた感じがするが、一方しか聞けないのが残念とのことです。2013年には日本から2名の参加であったが、IoTの影響か日本からの参加が年々増加しているようです。またIoT関連の話題は以前から多いが、今回自動車関連(自動運転・新興国での新たな安全性や排ガス規制)が増えたようです

                  

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写真3 今本氏から報告
     
        
 

次は「マイクロマシンサミット2016と題してMEMS協議会・国際交流担当の三原が報告しました。マイクロマシンサミットは毎年、各国のMEMS関連状況をそれぞれ報告し、意見交換する場として開催され、今回は3回目(初回:京都、第6回:広島)となる日本・東京での開催で、マイクロマシンセンターが事務局を務めました。今回のテーマは「高齢化社会におけるセンサ・MEMS」、オーガナイザーは東京大学・下山勲教授でした。参加者は16の地域,から51人のデレゲイトであり、今回のテーマである健康・医療やライフスタイル・バイオ関連に対応するマイクロシステムに関する話題が多く出されました。発表数は約47件、Delegatesの多い国は、日本14名、ドイツ 6名、イタリア 4名、スイス 4名の順でした。        

 最後は「MEMS国際標準化に関する活動状況]と題して調査研究・標準部長の坂井氏より報告がありました。最近は、センサに無線システムが搭載され、更にエネルギーハーベストに対しての取り組みも強化されており、マイクロマシンセンターでもSSN(スマートセンシング&ネットワーク)研究会を設立して、その活動を強化しています。この分野は、応用分野別にセンサ・無線・エネルギーハーベスト・電源管理、実装と言った要素デバイスや技術の評価を含む国際標準化が必要ですが、特に無線等ではデファクトスタンダードに頼っている側面もあります。このような背景からMEMSの国際標準化はIECを舞台に、更に進められるように「プロダクトアウト/プロセス重視型」のアプローチから「マーケットイン/結果重視型」へと転換が進められています。IECから発行済みのMEMS関連規格は27件で日本提案が12件、韓国提案が13件、中国1件、ドイツ1件となっており、現在審議中が7件あります。審議中の案件には日本・韓国が2件づつ、中国3件となっています。

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写真4 熱心な議論
                                 

 最後に懇親会での乾杯の挨拶 として、マイクロマシンセンター副理事長の青柳桂一氏から熱心にご参加、ご議論して頂いた方々へのお礼、また中締めのご挨拶として、毎回ご参加頂き、熱心に議論して頂いているSPPテクロノロジーズのエグゼクティブシニアアドバイザーの神永氏から国際的な視野でのコメントがありました。(MEMS協議会 国際交流担当 三原 孝士)

                  
 

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2017年2月15日 (水)

第33回先端技術交流会の報告

 2月14日(月)の午後、マイクロマシンセンター新テクノサロンで第33回マイクロナノ先端技術交流会を開催しました。

 今回のテーマは「グリーンIoT 社会に向けたMEMS の新たな取組み」として、東北大学 多元物質科学研究所の教授 栗原一恵先生からは「ナノトライボロジーによるMEMSへの新たな期待」と題して、そして、東京工業大学 科学技術創世研究院院長である、教授 益 一哉先生からは「IoT社会に向けた、異種集積MEMS技術の新展開」と題してご講演をいただきました。
 
 最初の栗原先生からは、従来マクロスケールで議論してきた巨視的な物理現象から、ナノスケールの表面物理を考慮すると新しい可能性があることが示されていました。例えば、異種の物体の間に液体を挟んだ構造で、数nmのギャップでは斥力が極単に強くなったり、あるいは接着力になったり従来、議論されてこなかった新たな現象が現れることを示されていました。その他、イオン液体中へのシリカ分散や、化粧品の感触を決める表面状態、ナノインプリントのより精細な精密転写に向けた樹脂材料の最適化等、ナノ材料・ナノトライボロジーによって新たな可能性を示していただきました。今後のMEMSの特性改良だけ出なく、新たなデバイスの展開の繋がる可能性を示していただきました。


講演を行う栗原先生

 東京工業大学の益先生からは、IoT社会に向けたMEMSデバイス、MEMS集積技術についてご講演をいただきました。最初にAuを錘に用いた加速度センサの内容について説明をいただきました。Auは柔らかいイメージがあるが、単位体積当たりの重さが大きく、小型、低ノイズに向いている構造であることが示され、また、カンチレバーの梁を10ミクロン以上のAuで形成することで高い安定性を示されていました。Auは柔らかい材料ではあるが、MEMSの錘や梁としても設計に応じて十分良い特性が得られることが分かりました。
 そして、CMOSプロセス後にAuの錘を用いた1チップの加速度センサモジュールを示されていました。

 

講演を行う益先生

 ご講演後には両先生ともに、活発な質問が多くありました。特に印象に残ったのはIoT社会に向けての振動発電の考え方についてでした。“最適な振動発電はどれですかと良く聞かれるが、そのようなものはない。振動周波数や、加速度、あるいは連続振動やインパルス振動。環境によって使い分けが必要である。” とお考えを示されました。

 また、東京大学先端技術研究所の年吉教授も出席されており、IoT社会についてご研究の内容をもとにアドバイスをいただきました。

 また、講演会後の懇親会では、ご講演いただいた先生方を囲んで、栗原先生の回りでは、ナノトライボロジーやイオン液体について、そして、益先生の回りではIoT社会に向けたセンサ端末や自立電源について、夜遅くまで多くの意見交換が行われていました。


講演後歓談する両先生

(産学交流担当 今本 浩史)

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2017年1月30日 (月)

IEEE MEMS2017への参加報告


 2017年1月22日から28日まで、米国ラスベガスで開催されたMEMS2017に参加したので、その第1報を取り纏めましたので報告します。

 MEMS2017開催期間中、参加者は704名、オーラルは86件・ポスターは261件(合計367件)で、採択率40%でした。昨年のMEMS2016と比較していずれも微増にとどまっていました。参加国数は25ヶ国ありました。採択数は米国が約100件、次いで日本が約64件、中国が約46件、韓国が約38件の順でした。

 発表分野においては、エナジーハーベスタやガスセンサに関するセッションもあり、IoT関連デバイスの最新技術動向を広く把握できる学会でした。

 参加者にの傾向は、大学や研究機関が約8割と多くを占め、他が企業からの参加でした。代表的な大学や研究機関は、わが国からは東京大学・京都大学・立命館大学・神戸大学から参加しており、海外ではベルギーのIMEC、米国のMIT・Georgia Institute of Technology School・University of California, Berkeley・Stanford University・CALTEC、ドイツのFraunhofer 、スイスのCSEM・ETHZurich、韓国のKAIST、中国のShanghai University等であった。代表的な企業は、Apple・Intel・TSMC・Robert Bosch GmbH・Hitachi・Toshiba・InvenSense, Inc.・LG Electronics・Qualcomm ・Tanaka Precious Metals・Azbil Corporation・NXP・Texas Instruments・Analog Devices, Inc.等であった。IoTセンサネットワークにおけるクラウド層から、個別センサの分野まで、広範囲に渡っていた。

 Student Awardのノミネートは14件(オーラル13件、ポスター1件)あり、3件が受賞(①3D PRINTED THREE-FLOW MICROFLUIDIC CONCENTRATION GRADIENT GENERATOR FOR CLINICAL E. COLI-ANTIBIOTIC DRUG SCREENING,E.C. Sweet, J.C.-L. Chen, I. Karakurt, A.T. Long, and L. Lin, University of California, Berkeley, USA、②64-PIXEL SOLID STATE CMOS COMPATIBLE ULTRASONIC FINGERPRINT READER,J.C. Kuo, J.T. Hoople1, M. Abdelmejeed, M. Abdel-moneum, and A. Lal Cornell University, USA and Intel Corporation, USA、③ENVIRONMENTALLY ROBUST DIFFERENTIAL RESONANT ACCELEROMETER IN A WAFER-SCALE ENCAPSULATION PROCESS,D.D. Shin, C.H. Ahn, Y. Chen, D.L. Christensen, I.B. Flader, and T.W. Kenny Stanford University, USA, InvenSense Incorporated, USA, and Apple Incorporated, USA)

 IEEE Fellowsには、Christofer Hierold,ETZ Zurich, Gwo-Bin Lee,Ntional Tsing Hua University,Olav Solgaard,Stanford University,Xin Zhang Boston Universityの4名が選ばれた。

 Bosch Awardには、Clark C,-T. Nguyen,University of California ,Berkeley, USA が選ばれた。 

 次回のMEMS2018は、BELFAST、NORTHERN IRELENDにて開催。 

MEMS2017のロゴ


 赤外線アレーセンサに関する技術動向としては、オーラル1件、ポスター1件の発表があった。いずれもサーモパイル型で、新規の画素構造により高感度化している。しかしながら、従来研究と比較して感度は同等であるため、NMEMSの赤外線アレーセンサの開発において、これらの研究が脅威になる可能性は低いと思われる。


セッションの座長を務められる年吉先生


 IoTにおけるデバイスに関して、広い範囲で質の高い発表を聴講する事ができ、非常に有意義な学会であった。また、他の研究者と交流を深める事ができ、ネットワーク作りの場としても非常に有益であった。したがって、来年度もLbSSプロジェクトとして参加すべきだと思った。 




ラスベガスの街並み

             

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